标准解读

GB/T 25755-2010《真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量》是一项国家标准，旨在规范溅射离子泵性能参数的测量方法。该标准适用于各类溅射离子泵，包括但不限于二极型、三极型和四极型等，主要针对其抽气速率、极限压力等关键性能指标进行规定。

根据标准内容，首先定义了溅射离子泵的基本术语与定义，明确了不同类型泵的工作原理及其应用范围。接着，详细描述了测试条件的要求，比如环境温度、湿度以及电源电压等参数都需控制在特定范围内以确保测试结果的一致性和准确性。此外，还特别强调了测试前对设备状态的检查，确保泵体清洁无污染，并且处于良好工作状态。

对于具体的测量方法，标准中给出了详细的步骤说明。例如，在测定抽气速率时，需要使用标准漏孔作为气体源，通过监测系统内压力变化来间接计算出单位时间内能够抽取的气体量；而在评估极限压力方面，则是通过长时间运行后观察到的压力最低值来进行判定。每一步骤都有严格的操作规程和技术要求，以保证数据的有效性。

此外，本标准还提供了关于如何处理实验数据的方法，包括但不限于平均值计算、不确定度分析等内容，帮助用户更科学地理解和利用测试所得信息。同时，也对报告编写格式提出了建议，确保不同实验室之间可以相互比较结果。

最后，标准还附有相关参考资料列表，为读者进一步了解溅射离子泵及其测量技术提供了便利。通过遵循这些规定，不仅能够提高溅射离子泵的质量控制水平，还能促进该领域内技术交流与发展。


如需获取更多详尽信息，请直接参考下方经官方授权发布的权威标准文档。

....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2010-12-23 颁布
  • 2011-10-01 实施
©正版授权
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文档简介

ICS23160

J78.

中华人民共和国国家标准

GB/T25755—2010

真空技术溅射离子泵性能参数的测量

Vacuumtechnology—Sputter-ionpumps—Measurementofperformance

characteristics

2010-12-23发布2011-10-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T25755—2010

前言

本标准由中国机械工业联合会提出

。

本标准由全国真空技术标准化技术委员会归口

(SAC/TC18)。

本标准起草单位北京中科科仪技术发展有限责任公司沈阳真空技术研究所

:、。

本标准主要起草人邹蒙张勤德朱国精马殿理李春影

:、、、、。

Ⅰ

GB/T25755—2010

真空技术溅射离子泵性能参数的测量

1范围

本标准规定了溅射离子泵以下简称离子泵性能参数的测量方法

()。

本标准适用于名义体积流率大于的离子泵

10L/s。

本标准测量体积流率的压力范围从-3到-7

1.5×10Pa1×10Pa。

注本标准保证了离子泵性能参数的测量在相同的条件下按相同的方法进行由此做到由各制造厂家或各实验室

:。

所作的测量与制造厂家在样本中给定的资料是可比的

。

2规范性引用文件

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款凡是注日期的引用文件其随后所有

。,

的修改单不包括勘误的内容或修订版均不适用于本标准然而鼓励根据本标准达成协议的各方研究

(),,

是否可使用这些文件的最新版本凡是不注日期的引用文件其最新版本适用于本标准

。,。

真空技术术语

GB/T3163(GB/T3163—2007,ISO3529:1981,MOD)。

3术语和定义

确立的以及下列术语和定义适用于本标准

GB/T3163。

31

.

极限压力ultimatepressure

测试罩中逐渐趋近的压力值

。

注它是泵能获得的最低压力

1:。

注建议制造厂的说明书不要给出极限压力值本标准中不给出极限压力的测量程序但如果制造厂列出极限

2:。。

压力则应当说明完成测量的工作条件

,。

32

.

最低工作压力minimumoperationalpressure

p0

泵在关闭进气阀烘烤过程结束后内在测试罩中逐渐接近的最低压力

、48h。

体积流率volumeflowrate

qV

在理想条件下单位时间从测试罩流过离子泵入口的气体体积

,。

注出于实际测量的原因离子泵对给定气体的体积流率通常约定为等于该气体的流量与给定点的平衡压力之

1:,

商体积流率采用的单位为立方米每秒3或升每秒

,(m/s)(L/s)。

注有时用术语抽速和符号来代替体积流率

2:“”“s”。

33

.

名义抽速nominalpumpingspeed

S

n

对饱和的离子泵所测得的体积流率的最大值称作名义抽速

。

注应给出在测此名义抽速时所测得的压力p

1:。

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