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文档简介

国产化进程持续加快一、电子气体概况电子气体是超大规模集成电路、平面显示器、化合物半导体器件等电子工业生产中不可或缺的基础原材料,广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。一般在集成电路领域可以将电子气体分为大宗气体和特殊气体两类,而根据电子特殊气体的不同用途分类,可以分为化学气相沉积气、离子注入气、外延晶体生长气、发光二极管气、刻蚀气、掺杂气等。其原料主要为空气分离气体、石油化工和煤化工生产过程中产生的低纯度原料气及废气和其它基础化工原料。主要原材料来源广泛,市场供应充足,较容易从相关原材料供应厂家获得。特别是在微电子领域和集成电路领域随着制程节点的不断减小,特种气体作为集成电路制造的关键材料,伴随着下游产业技术的快速迭代,特种气体的精细化程度持续提高,特别是在纯度和精度方面,对特气的要求持续提高。因此整体上电子气体行业的市场壁垒特别是技术壁垒很高,其他企业进入市场的难度非常大。随着近年来半导体行业在全球范围内的蓬勃发展,同时也带动了电子气体行业的市场销售。电子气体是晶圆制造过程中的重要材料,广泛应用于成膜、刻蚀、掺杂、气相沉积等工艺环节中,在半导体工业中应用的有110余种电子气体。据估计电子气体在晶圆制造中的成本占比约为13%。而我国电子气体市场近年来发展迅速,2018年我国电子特气市场规模达121.56亿元,占全球市场比重的44.4%,随着半导体产业向中国大陆逐渐转移,未来的市场比重还将不断增加。二、行业竞争格局全球市场的电子气体行业市场集中度较高,美国空气化工、美国普莱克斯、德国林德、法国液化空气和日本大阳日酸控制;了全球市场85%以上的市场份额。而由于长期以来我国半导体产业发展落后且电子气体行业市场壁垒较高,因此过去很长一段时间内国内半导体企业主要依赖进口电子气体,目前全球主要电子气体企业在中国均已基本设厂。相比之下,国内电子气体企业规模较小且一般为区域性企业,缺乏领军型企业,产品种类也不够丰富。部分电子气体企业是从大化工行业或工业气体行业转型而来,在产品质量控制、安全管理等方面缺乏经验,售后服务等方面也与国外公司存在差距,因此主要市场为中低端。但是目前国内企业一方面依靠通过产能优势快速切入半导体刻蚀气体,部分含氟气体已经实现国产替代,如三氟化氮、六氟化硫。国内企业的优势主要在于利用产能优势实现低价切入市场,且近年来政府对半导体行业扶持力度大大加强,相关企业能够享受到更多的政策补贴。三、下游市场蓄势待发随着半导体集成电路行业的发展,以及液晶面板行业的发展,对于大宗气体及特种气体的需求都将逐步增长。特别是以长江存储,合肥长鑫存储等新晶圆厂和以中芯国际、华虹为代表的老牌晶圆厂正处于产能扩张期,未来3年将迎来密集投产。在液晶显示领域,由于人工成本以及土地厂房等方面具有优势,我国在近年来承接日本韩国等地转移的显示设备产能成效明显,截至2018年中国已经成为全球第二大半导体设备及材料市场。特别是近几年将是5G技术全面推广的关键阶段,因此视频分辨率将会出现飞跃式的发展,从而拉动显示设备的替代需求。四、行业标准仍需完善近年来,从中央到地方再到企业,对行业标准越来越重视,对产品检测方法、安全生产指南、应用规范、检测认证平台建设等标准化相关技术也日益重视。随着经济全球化进程的不断加快,我国面临着更加激烈的国际竞争环境,技术标准更是国际竞争中最重要的领域之一。在电子气体产品标准的品种与品质上,我国处于世界一流水平,但是在部分环节依然不完善,与SEMI标准相比,我国电子气体相关标准在设备、安全环保、节能减排及产品包装等方面暂时存在标准空白。因此要尽快建立和健全含氟电子气体领域的标

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