标准解读
《GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范》作为一项技术标准，为圆形石英玻璃光掩模基板的生产、检验及应用提供了详细要求和指标。然而，您提供的对比项似乎不完整，没有明确指出要与哪个具体的标准或版本进行比较。因此，直接列出该标准的具体变更内容而不涉及对比的情况下，可以概述其主要规定和要求，但无法直接阐述相对于某一特定标准的差异。
《GB/T 16523-1996》主要涵盖了以下几个方面的内容：
- 尺寸与外形：规定了圆形石英玻璃光掩模基板的直径、厚度及其公差范围，确保了产品的一致性和互换性。
- 材料与制造：明确了基板使用的石英玻璃类型及其纯度要求，同时对制造过程中的平整度、内部应力等有严格规定，以减少缺陷和提高光学性能。
- 光学性能：包括透光率、均匀性等关键指标，确保光掩模在半导体制造过程中的精确曝光。
- 表面质量：详细描述了表面粗糙度、洁净度等要求，避免污染物影响集成电路图案的转移精度。
- 机械强度与稳定性：规定了基板需承受的机械应力测试条件及其合格标准，保证其在使用过程中的稳定性和耐久性。
若要了解与另一具体标准相比的具体变更，需要提供该对比标准的详细信息。例如，如果比较的是新旧两个版本的标准，通常变更可能涉及技术指标的更新（如更严格的尺寸公差、更高的光学性能要求）、新增测试方法、环保要求的加入或是生产流程的优化指导等。
如需获取更多详尽信息，请直接参考下方经官方授权发布的权威标准文档。
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- 现行
- 正在执行有效
- 1996-09-09 颁布
- 1997-05-01 实施
文档简介
ICS31.200L90中华人民共和国国家标准GB/T16523一-1996圆形石英玻璃光掩模基板规范Specificationforroundguartzphotomasksubstrates1996-09-09发布1997-05-01实施国家技术监督局发布
GB/T16523-1996本标准等效采用SEMI标准的SEMIP4-92《圆形石英玻璃光掩模基板规范》。本标准第3章要求全部按SEMIP4-92制定，标准格式按GB/T1.1一1993《标准化工作导则标准编写的基本规定》编制。SEMI标准是半导体设备和材料国际标准，具有较高的科学性和先进性，内容全面，标准配套。本标准与已经转化为我国标准的SEMIP1-92《硬面光掩模基板》(GB/T15871一1995)、SEMIP2-86《硬面光掩模用铬薄膜》(GB/T15870－1995)、SEMIP3-90《硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范》GB/T16527一1996)、SEMIP6-88《光掩模对准标记规范》GB/T16524一1996)及准备转化为我国标准的SEMIP21—92《掩模瞬光系统准确度表示准则》SEMIP22—93《光掩模缺陷分类和尺寸定义的指南》、SEMIP19一92《用于集成电路制造技术的检测图形单元规范》等项标准形成一个微型构图标淮系列。本标准附录A是提示的附录本标准由中华人民共和国电子工业部提出。本标准由电子工业部标准化研究所归口。本标准起草单位：长沙韶光微电子总公司，电子工业部标准化研究所。本标准主要起草人：谈仁良、吴保华、王亦林、韩艳芬，
中华人民共和国国家标准GB/T16523-1996圆形石英玻璃光掩模基板规范Specificationforroundquartzphotomasksubstrates范围本标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板的技术要求、试验方法等内容。本标准适用于圆形石英玻璃光掩模基板、2引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性.GB191—90包装储运图示标志GB2828—87逐批检在计数抽样程序及抽样表(适用于连续批的检查)GB2829—87周期检查计数抽样程序及抽样表(适用于生产过程稳定性的检查)GB7238—87玻璃及铬版表面平整度的测试方法GB9622.2-88电子玻璃平均线热膨胀系数的测试方法要求和测量方法3.1外形尺寸3.1.1圆形石英玻璃光
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