标准解读

《GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板》作为一项关于硬面光掩模基板的技术标准，规定了此类基板的性能要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和储存要求。然而，您未提供与之对比的另一个具体标准或版本，因此直接比较其变更内容是不可能完成的任务。但可以一般性地说明，当一个标准被更新或替代时，常见的变更可能涉及以下几个方面：

  1. 技术指标的调整：新标准可能会根据行业技术进步和材料科学的发展，对基板的尺寸精度、平整度、清洁度、热稳定性、抗蚀性等关键性能指标提出更严格或适应新技术的要求。

  2. 测试方法的改进：随着检测技术的演进，新标准可能会引入更精确、更高效的测试手段来评估基板的各项性能，确保测试结果的准确性和可重复性。

  3. 环保和安全要求的增加：考虑到环境保护和生产安全的全球趋势，更新的标准可能会加入更多关于原材料使用、生产过程控制、废弃物处理等方面的环保和安全规范。

  4. 术语和定义的统一：为了与国际标准接轨或国内行业共识的变化，新标准可能会对一些专业术语进行修订或新增，以增强标准的通用性和理解性。

  5. 包装、运输和储存要求的细化：为减少运输过程中的损坏风险和确保基板的长期存储质量，新标准可能会对包装材料、包装方式以及储存条件提出更细致的要求。

  6. 信息化管理要求：随着信息技术的应用，新标准可能要求在产品标识、追溯系统、数据交换等方面采用电子化、信息化手段，提高管理效率。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 1995-12-22 颁布
  • 1996-08-01 实施
©正版授权
GB/T 15871-1995硬面光掩模基板_第1页
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文档简介

ICs31.030L97中华人民共和国国家标准GB/T15871-1995硬面光掩模基板Hardsurfacephotomasksubstrates1995-12-22发布1996-08-01实施国家技术监督局发布

GB/T15871-1995前本标准非等效采用SEMI标准SemiP1一92《硬面光掩模基板》。本标准基板技术要求全部按SemiP1-92中第4章至第8章制定。本标准附录A是提示的附录、本标准由中华人民共和国电子工业部提出。本标准由电子工业部标准化研究所归口。本标准起草单位：长沙韶光徽电子总公司、电子工业部标准化研究所。本标准主要起草人：吴保华、王亦林、赵雨生、谈仁良。

中华人民共和国国家标准GB/T15871-1995光面一板Hardsurfacephotomasksubstrates1范围本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容.本标准适用于硬面光抢模用玻璃基板(以下简称基板)。2引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB191—90包装储运图示标志GB2828—87逐批检查计数抽样程序及抽样表(适用于连续批的检查)GB2829—87周期检查计数抽样程序及抽样表(适用于生产过程稳定性的检查)GB3102.3-93力学的量和单位GB7238-87玻璃及铬板表面平整度的测试方法GB9622.2-88电子玻璃平均线热膨胀系数的测试方法SJ/T10584-94微电子学光掩蔽技术术语3定义本标准采用SJ/T10584规定的定义。4要求4.1外形尺寸“.1.1方形基板的外形尺寸应符合表1和图1的规定。表表1方形基板的外形尺寸mm边长（L）厚度(T)格垂直度mirminmax63.5X63.562.7063.500.05/25：401.401.600.05/25.4076.201.4076X7675.401.6088.9×88.988：1088.900.05/25.401.40.601.401.60100×100100.80101.600

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