标准解读
GB/T 14851-1993 是一项中华人民共和国国家标准，全称为《电子工业用气体 磷化氢》。该标准主要规定了电子工业中使用的磷化氢气体的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和储存要求，旨在确保磷化氢气体的质量满足电子工业应用的需求，保障生产安全与产品质量。
标准内容概览：
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范围：明确了本标准适用的磷化氢气体种类及其在电子工业中的具体应用范围。
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引用标准：列出了实施本标准时需要参考的其他相关国家标准和行业标准，这些标准通常涉及气体检测、分析方法及安全规范等。
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定义：对磷化氢气体及其相关术语进行了界定，确保标准执行过程中的一致性和准确性。
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技术要求：
- 纯度：规定了磷化氢气体的最低纯度要求，通常以体积分数或质量分数表示，确保其在电子元件制造等过程中不会引入杂质。
- 杂质含量：详细列出了可能存在的杂质种类及其最大允许含量，如水分、氧含量、酸性或碱性物质等，以防止这些杂质对半导体材料或电路造成损害。
- 物理性质：可能包括气体的压力、温度条件下的物理状态要求等。
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试验方法：描述了用于测定磷化氢气体纯度、杂质含量等关键指标的具体测试步骤和方法，确保检测结果的可靠性和可重复性。
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检验规则：规定了产品出厂前的检验程序、取样规则、合格判定准则等，以保证每批次产品的质量符合标准要求。
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包装、标志、运输和储存：
- 包装：要求气体容器应符合安全标准，能有效防止泄漏，并标注有明确的产品信息和警示标志。
- 标志：需清晰标示气体名称、纯度、批号、生产日期、有效期、生产商信息等，便于追溯和安全使用。
- 运输：提供运输过程中的安全措施和注意事项，确保气体在搬运过程中的安全性。
- 储存：说明了适宜的储存条件，如温度、压力、避光、通风等要求，以防气体变质或发生危险。
实施意义：
该标准为电子工业中磷化氢气体的生产、检测、销售及使用提供了统一的标准依据，有助于提升产品质量，促进安全生产，同时也为相关企业的产品出口和国际贸易提供了技术支撑。通过遵循此标准，可以有效减少因气体质量问题导致的电子元器件失效或生产事故，保障电子产品的性能和可靠性。
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文档简介
UDG661.637：621.3G87中华人民共和国国家标准GB/T14851-93电子工业用气体磷化氢Gasforelectronicindustry-Phosphine1993-12-30发布1994-10-01实施国家技术监督局发布
中华人民共和国国家标准电子工业用气体磷化氢GB/T14851-93Gasforelectronicindustry-Phosphine主题内容与适用范围本标准规定了磷化氢产品的技术要求、试验方法、检验规则、安全要求以及包装、标志、运输与财存。本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。麟化氢是一种剧毒、可燃、具有腐鱼味的无色气体,在空气中高浓度时能自燃。分子式：PH：相对分子质量：33.9975(按1989年国际原子量）引用标准GB190危险货物包装标志GB4845氨气检验方法GB5099钢质无缝气瓶GB5274气体分析校准用混合气体的制备称量法GB5832.11气体中微量水分的测定电解法GB7144气瓶颜色标志GB7445氢气GB8980高纯氮GB9721化学试剂分子吸收分光光度法通则(紫外和可见光部分)3技术要求薛化氢的质量应符合表1的技术要求。表1技术要求电子级发光二极管级磷化氢纯度,10-99.981999.9828砷化氢含量,10-4VY102二氧化酸含量,10-10氢含量,10-°包含量，10-氧含量，10-总烃含量,10-水含量,10
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