标准解读
《GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢》相比于《GB/T 14851-1993 电子工业用气体 磷化氢》, 主要存在以下几个方面的更新与调整:
-
范围和适用性:2009版标准可能对磷化氢气体的应用领域、适用条件或测试范围进行了细化或扩展,以适应电子工业技术的发展和市场需求的变化。
-
技术要求:新标准在磷化氢气体的纯度、杂质含量、物理及化学特性等方面可能提出了更严格或更具体的要求,以确保其在电子工业应用中的性能和安全性。
-
检测方法:随着分析技术的进步,2009版标准可能引入了新的检测技术和方法,用于更准确、高效的测定磷化氢及其杂质含量,提高了检测的可靠性和精确度。
-
包装、标志与储存:针对产品的包装材料、标识信息、储存条件及运输安全要求,新标准可能给出了更为详细的规定,以保障产品在流通和使用过程中的质量稳定性和操作安全性。
-
环保与安全:鉴于对环境保护和职业健康安全的日益重视,2009版标准可能加入了更多关于磷化氢气体在生产、使用及废弃处理过程中的环保要求和安全措施。
-
术语和定义:为了提高标准的清晰度和国际兼容性,新标准可能对相关专业术语进行了修订或增补,使其更加准确和规范。
-
标准结构与格式:根据国家标准制定的最新规定,2009版标准在文档结构、表述方式、引用标准等方面可能进行了优化,以符合现代标准化的要求,便于使用者查阅和执行。
如需获取更多详尽信息,请直接参考下方经官方授权发布的权威标准文档。
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- 现行
- 正在执行有效
- 2009-10-30 颁布
- 2010-05-01 实施
![GB/T 14851-2009电子工业用气体磷化氢_第1页](http://file4.renrendoc.com/view/7f26b0e31c2b9dc15e485852299dd838/7f26b0e31c2b9dc15e485852299dd8381.gif)
![GB/T 14851-2009电子工业用气体磷化氢_第2页](http://file4.renrendoc.com/view/7f26b0e31c2b9dc15e485852299dd838/7f26b0e31c2b9dc15e485852299dd8382.gif)
![GB/T 14851-2009电子工业用气体磷化氢_第3页](http://file4.renrendoc.com/view/7f26b0e31c2b9dc15e485852299dd838/7f26b0e31c2b9dc15e485852299dd8383.gif)
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文档简介
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犌86
中华人民共和国国家标准
犌犅/犜14851—2009
代替GB/T14851—1993
电子工业用气体磷化氢
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20091030发布20100501实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
书
犌犅/犜14851—2009
前言
本标准代替GB/T14851—1993《电子工业用气体磷化氢》。
本标准与GB/T14851—1993相比主要变化如下:
———修改规范性引用文件(GB/T14851—1993的第2章,本版的第2章);
———修改技术指标内容(GB/T14851—1993的第3章,本版的第3章);
———增加电子工业用磷化氢采样安全要求(本版的4.1.2);
———增加尾气处理的要求(本版的4.3);
———修改砷化氢、氮、氧(氩)组分的分析方法(GB/T14851—1993的4.2、4.5、4.6,本版的4.3);
———删去氢的分析方法(GB/T14851—1993的4.4);
———修改二氧化碳、总烃含量的分析方法(GB/T14851—1993的4.3,本版的4.5、4.6);
———增加一氧化碳的分析方法(见4.5);
———增加标准样品的规定(见4.7);
———修改水分的分析方法(GB/T14851—1993的4.7,本版的4.8);
———修改标志、包装、贮运及安全(GB/T14851—1993的第6章、第7章,本版的第5章);
———删去GB/T14851—1993的附录A;
———增加规范性附录A,并把采用氦离子化气相色谱法测定电子工业用磷化氢中的砷化氢、氮、氧
(氩)组分的方法写入该附录(见附录A)。
本标准的附录A为规范性附录。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口。
本标准起草单位:中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、大连光明化工研究院。
本标准主要起草人:周泽义、孙福楠、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
———GB/T14851—1993。
Ⅰ
书
犌犅/犜14851—2009
电子工业用气体磷化氢
1范围
本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢
产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。
分子式:PH3。
相对分子质量:33.99758(按2005年国际相对原子质量计算)。
2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有
的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
GB190危险货物包装标志
GB/T3723工业用化学产品采样安全通则
GB5099钢质无缝气瓶(GB5099—1994,neqISO4705:1993)
GB7144气瓶颜色标志
GB/T8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法
GB11640铝合金无缝气瓶
GB14193液化气体气瓶充装规定
气瓶安全监察规程
3技术要求
电子工业用气体磷化氢的质量应符合表1的要求。
表1技术指标
项目指标
-2
磷化氢(PH3)纯度(体积分数)/10≥99.999799.99999.99
-6
砷化氢(AsH3)含量(体积分数)/10<0.1210
-6
氮(N2)含量(体积分数)/10<1350
-6
氧(氩)(O2/Ar)含量(体积分数)/10<0.515
一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6<0.50.51
-6
二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/10<0.5110
总烃(以甲烷计)含量(体积分数)/10-6<0.214
-6
水分(H2O)含量(体积分数)/10<111
杂质总含量(体积分数)/10-6≤310100
金属离子
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