标准解读

《GB/T 13387-1992 电子材料晶片参考面长度测量方法》是一项由中国发布的国家标准，旨在规定电子材料领域内晶片参考面长度的测量原则、程序和要求，以确保测量结果的准确性和可比性。该标准适用于半导体材料、集成电路基板等电子材料晶片参考面长度的测定。以下是该标准的主要内容概述：

  1. 范围：明确了本标准适用的对象为电子材料晶片，特别是其参考面上的长度测量。参考面通常指晶片加工或特性评估中作为基准的平面。

  2. 术语和定义：对涉及的术语进行了明确界定，如晶片、参考面、长度等基本概念，确保了在执行测量时各方有统一的理解基础。

  3. 测量原理：介绍了采用光学、电子显微镜或其他合适手段进行长度测量的基本原理，这些方法需保证非接触、高精度且不对晶片造成损伤。

  4. 测量设备：详细说明了用于测量的仪器设备应满足的要求，包括但不限于分辨率、精度、重复性等技术指标，确保测量工具的可靠性。

  5. 样品制备与处理：规定了晶片在测量前的准备步骤，如清洁、固定等，以避免外部因素干扰测量结果。

  6. 测量步骤：详细阐述了测量过程中的具体操作步骤，包括如何定位参考点、选择合适的测量区域、实施测量以及数据记录等，确保测量流程的标准化。

  7. 数据处理与误差分析：提供了数据处理的方法，如平均值计算、异常值剔除及测量误差的评估准则，帮助用户正确分析测量结果并合理评估不确定性。

  8. 质量控制：强调了实施质量控制的重要性，建议通过定期校准测量设备、比对实验等方式来监控和保证测量结果的准确性。

  9. 安全与环境保护：简要提及了在测量过程中应注意的安全措施和环境保护要求，确保操作人员安全及环境不受损害。


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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 13387-2009
  • 1992-02-19 颁布
  • 1992-10-01 实施
©正版授权
GB/T 13387-1992电子材料晶片参考面长度测量方法_第1页
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文档简介

UDC669.782-172-415：531.71H21中华人民共和国国家标准GB/T133877—92电子材料晶片参考面长度测量方法Testmethodformeasuringflatlengthonslicesofelectronicmaterials1992-02-19发布1992-10-01实施国家技术监督局发布

中华人民共和国国家标准电子材料晶片参考面长度测量方法GB/T13387-92Testmethodformeasuringflatlengthonslicesofelectronicmaterials主题内容与适用范围本标准规定了电子材料品片参考面长度的测量方法。本标准适用于测量各种直径的硅抛光片、研磨片和切割片的参考面长度。i。也适用于测量砷化镖、蓝宝石和乳镖石榴石等材料品片的参考面长度。2引用标准GB2828逐批检查计数抽样程序及抽样表(适用于连续批的检查）3方法提要利用光学投影仪，把品片参考面投影到显示屏上，使参考面一端与显示屏上的基准点对准,记录测微计读数。然后调节载物台，使参考面另一端与基准点对准，再次记录测微计该数。两次读数之差即为晶片的参考面长度。4测量仪器4.1光学投影仪，由以下几部分构成4.1.1光学系统，放大倍数为20倍。4.1.2载物台.X轴行程应大于品片的参考面长度，Y轴行程为0～25mm，X轴测微计精度优于2S：m4.1.3显示屏，最小直径为254mm。“.1.4轮廊板，由半透明材料制成,板上有两条相互垂直的基准线相交于中央，在垂直基准线的中心上下,各有10个1mm间隔的刻度，

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