扩散操作规程

扩散操作屏作业磷扩散工艺过程清洗饱和装片送片回温扩散关源，退舟方块电阻测量卸片清洗初次扩散前，扩散炉石英管首先连接TCA装置，当炉温升至设定温度，以设定流量通TCA6h清洗石英管。做TCA前先要确认管路的正确.清洗开始时，若在手动状态下要先开O2，再开TCA；清洗结束后，先关TCA，再关O2。清洗结束后，进行饱和，待扩散。饱和每班生产前或长时间不生产时，须对石英管进行饱和。炉温升至设定温度时，以设定流量通小N2（携源）和O2，使石英管饱和，约60分钟后，关闭小N2和O2。初次扩散前或停产一段时间以后恢复生产时，需使石英管在1050℃通TCA2小时后通源饱和1小时以上。(2+1)装片戴好防护口罩和干净的乳胶手套，将清洗甩干的硅片从传递窗口取出，放在净化装片台上。用石英吸笔依次将硅片从硅片盒中取出，插入石英舟。每一槽装2片,若发现硅片表面脏将干净的一面做扩散面.送片用舟叉将装满硅片的石英舟放在碳化硅臂浆上，保证平稳，缓缓推入扩散炉。注意不要把扩散和钝化的石英制品混用.回温打开适当的工艺号进行扩散，石英浆暴露在空气中的时间尽量短。扩散注意监视屏幕上的气体流量图,发现异常第一时间通知相关人员处理.关源，退舟扩散结束后，计算机自动关闭小N2和O2，将石英舟缓缓退至炉口，降温以后，用舟叉从臂桨上取下石英舟。并立即放上新的石英舟，进行下一轮扩散。如没有待扩散的硅片，将臂浆推入扩散炉，尽量缩短臂桨暴露在暴露在空气中的时间。卸片等待硅片冷却后，用石英吸笔均匀的取5片进行方块电阻的测试.将合格的硅片从石英舟上卸下并放置在硅片盒中，放入传递窗。将返工的硅片单独放置下班后一起交清洗间处理.一.监控程序的操作2.1程序启动在扩散炉的层电源启动的情况下，启动工业控制计算机电源开关，计算机启动进入WINDOWS2000操作系统，驱动触摸屏。在系统未完全启动完毕的情况下，请勿触摸屏幕，以避免触摸屏驱动程序报错。系统自动启动执行文件，自动装载所需数据文件及驱动文件，并显示登录界面。2.2登录在登录界面中，有0-9及A-Z字符键允许作为密码字符，箭头为退格键，ENTER为回车键。本监控程序的初始密码为“AAAAA”。如果要修改密码，则先输入原来的密码，再在相应的输入框中输入新的密码，然后按“确定”按钮即可。输入请牢记修改后的密码，以避免无法进入程序进行工作。本窗口为登录窗。二.温度设置在手动操作屏的中上部有三个模拟温度控制器的图形。根据温度控制器图形上的“RKC”、“REX-F400”、“RKC”字符，可以知道分别对应本层扩散/氧化炉的三个控制温度的温控仪。温控仪的型号分别为“CD401”，“F400”。温度控制器图形中，三个绿色的“850”分别表示左、中、右三个温区的控温热偶的测量值。三个红色的“850”分别表示左、中、右三个温区的温度控制器的温度设定值。通过这三个温度控制器的复杂控制，能实现恒温区所要求的控制精度。在手动操作屏中，三点的SV值可以单独设置，主要为提供维护与测试所用。在下面将提到的自动运行屏中，SV值由自动程序自动设置，不能够手动修改。温度设定值可在手动操作屏中进行手动修改。修改方法：点击温度控制器图形上的SET方形按钮，桔红色的“850”将变色，通过“+1”等按钮进行修改数值，最后再次点击SET方形按钮，本端点SV温度设定值将得到修改（要求在通讯正常情况下）。本窗口为手动操作屏三.手动状态实时温度曲线和流量曲线显示在手动操作屏的中下部，有一个记录并描述温度的曲线图。提供记录的温度范围为0～1300℃，曲线走势从左往右，记录的时间轴能实现自动调整。从图上可以看到，记录从11点13分45秒开始（这即是启动进入程序的时间），到12点13分45秒，为1个小时时间长度。当记录到12点13分45秒的时候，程序自动将时间区域长度翻倍，如此类推。实时温度曲线在程序运行期间将一直记录，在两种情况下将自动停止：点击“恒温区”按钮，程序进入恒温区调整屏；进入工艺自动运行屏（此时将启动自动运行状态下的温度曲线记录）。三.手动状态实时温度曲线和流量曲线显示温度曲线是由计算机读回的扩散氧化炉的控制热偶的测量值进行绘制的，左端温度记录曲线显示为白色线条，中点温度记录曲线显示为洋红色线条，右端温度记录曲线显示为绿色线条。本屏顶部有实时时间显示。建议隔一个月左右将所有的计算机时钟参照一个标准时钟作一次调整，因为计算机的实时时钟作为长时间计时是不太准确的。本操作界面还有流量曲线显示，操作同温度曲线显示，通过手动操作屏的“温度曲线/流量曲线”进行温度曲线显示和流量曲线显示的转换。四.气体流量、阀门及开关量控制在手动操作屏右侧，有“气体流量控制”和“阀门及开关量控制”两个区域，在这两个区域可对电磁阀状态、气体流量大小以及其它一些开关量状态进行设置。设置键为右侧下面的“+1”等按钮。在设置各路气体的流量时，相应气路的电磁阀或气动阀将自动打开（后阀除外）。在“气体流量设置”区域的右侧有一个测量值区域，显示气路中的实际流量。流量的设定值和显示值的单位均为mL/Min。在手动操作屏、自动运行屏和恒温区调整屏的转换中，气体流量、阀门及开关量的设置状态将得到保持。五.推舟控制推舟控制”区域的右侧为推舟控制的测量值区域。在测量值区域，有舟前进、舟后退状态显示，当舟前进时，舟前进显示为“TRUE”；当舟后退时，舟后退显示为“TRUE”。在测量值区域，还有前限位、后限位状态显示，当舟到达前限位时，前限位状态显示位“TRUE”；当舟到达后限位时，后限位装态显示“TRUE”。在手动操作屏中进行推舟控制只需设置舟速度并选择前进或后退即可实现推舟的自动运行。操作过程如下：五.推舟控制点击设置值区域中的“舟速度”按钮，使其选中为有效，然后通过软键盘设置推舟速度。推舟速度设置范围为0～500，单位为mm/Min。速度设置为零时表示舟为停止状态，数值越大速度越快，但高速状态不利于舟的运行平稳，建议将舟速设置在200到300之间。点击设置值区域中的“舟前进”或“舟后退”按钮，使其选中为有效，此时已红色突出显示。通过b)的速度设置，已经启动舟的运行。在舟的运行移动中，如果需要手动停止推舟的运行，可以通过点击设置区域的“舟停止”按钮，也可以将舟速设置为零，推舟将立即停止运行。在推舟的运行期间,如果计算机判断到推舟的限位检测开关被压住，推舟将立即停止运行。六.手动操作屏报警显示

六.手动操作屏报警显示上图中共有两项报警，一项是“控制热偶短路或温控仪温度显示异常报警”，另一项是“扩散小N2检测值与设定值偏差大于20%”。图中这里项前面的灯均为绿色表示未出现报警状态，如果出现相应的报警，则相应的项的灯变为红色。如果出现扩散小N2检测值与设定值偏差大于20%”的报警，则系统自动关闭扩散小N2，且系统自动将该报警显示出来。如果出现“控制热偶短路或温控仪温度显示异常报警”，系统也自动显示报警窗口，只需单击“报警窗口”按钮就可解除该报警状态。七.工艺编辑七.工艺编辑点击手动操作屏左侧的“数据编辑”按钮，程序进入集成工艺编辑屏。据体操作如下：打开工艺：从手动操作界面进入编辑界面后，若想打开其它已经编辑的工艺，只需在“打开工艺号”下拉框中选择所需工艺号即可。打开其它工艺时，当前编辑的工艺不保存。编辑工艺：编辑工艺数据时，先用鼠标点击想要编辑数据的位置，此时该位置的按钮被按下，然后用鼠标点击程序自带软键盘上相应的按钮，即可编辑数据。本程序的工艺最多为30步，每次显示15步，可以按“下一页”和“上一页”按钮进行工艺的前15步和后15步的切换。编辑时最好从第一步开始，首先编辑每步的工艺时间，只有工艺步的时间不为零，才可编辑该步的其它工艺数据。如果工艺步的时间为零，则该步及以下步均不执行。设置推舟状态时，0表示停止，1表示前进，2表示后退。八.工艺保存编辑完工艺以后，用户应仔细检查各步工艺的合理性；然后在“编辑工艺号”下拉框中选择希望保存的工艺号，最后点击“存盘退出”按钮，则该条工艺编辑完毕。如果不想保存，则点击“不存盘退出”按钮，程序回到手动操作界面。在编辑工艺的过程中也可点击“存盘”按钮来保存工艺。在工艺编辑中，可实现对恒温及升降温斜率的设置。具体设置方法如下介绍。一般建议如下例设置工艺升温过程：第一步为初始设置步，温度设置40度，时间为1分钟。即设备在常温停留1分钟。第二步升温，温度设置1000度，时间设置160分钟，升温斜率6度/分钟。以下各步的工艺参数根据需要进行设置。另外，该界面还设有“插入步”和“删除步”按钮，方便工艺编辑。点击“插入步”按钮后界面将出现一个“插入步号”的下拉框以及“确定”、“取消”按钮，选择好要插入的步号后点击“确定”按钮即实现了插入操作，可连续插入，点击“取消”则回到正常编辑状态。点击“删除步”按钮后界面将出现一个“删除步号”的下拉框以及“确定”、“取消”按钮，选择好要删除的步号后点击“确定”按钮即实现了删除操作，可连续删除，点击“取消”则回到正常编辑状态。八.工艺曲线历史记录九.工艺曲线历史记录在打开历史记录屏中，不可自行选择盘符及目录，系统默认当前执行文件的盘符及目录。历史记录文件的命名方式为“年月日-工艺号.本日第n次运行此工艺号”则为工艺自动运行时的历史记录文件。历史记录文件的命名方式为“年月日-HD.顺序号”则为手动运行时的历史记录文件在该界面的下方有相应的文件信息，可供查看。点击“删除”按钮，将删除选中的文件。使用时间越长，文件越多，建议定期删除不需要的工艺记录文件。点击“返回”按钮，退出本窗口。十.工艺曲线历史记录点击“历史数据”按钮，将打开以下工艺运行历史记录屏，但如果文件比较大，则打开时间会比较长，请稍作等待。在工艺运行历史记录屏中，可以对应查看历史时间点的温度及气体流量、时间信息。记录一般以10秒钟为一个间隔。在此屏中可直接进入工艺运行历史温度曲线屏。点击“温度曲线”，将打开以下工艺运行历史温度曲线屏，如果文件比较大，则打开时间会比较长，请稍作等待。在工艺运行历史温度曲线屏中，图中显示的是三点历史温度曲线。在此屏中可直接进入工艺运行历史记录屏。十一.历史数据屏十一.历史数据屏在历史曲线记录屏中纵轴为温度轴，横轴为时间轴。温度的最大允许显示1300℃，时间区域根据记录的情况自动调整。可以通过屏幕选择区域来放大曲线，在放大之前，选择左端温度、中部温度、右端温度，可以分别查看温度曲线。放大后需要回到原始曲线，请点击“曲线还原”按钮。如果需要打印温度曲线走势图，请点击“打印曲线”按钮。另外在打开历史记录屏中还有“转换文件”按钮，点击该按钮将把选定的历史记录文件转换成同名的Excel文件。注意在未安装Office2000及以上版本的计算机中不可使用该功能。十一.历史曲线记录屏十二.工艺运行点击手动操作屏的“工艺运行”按钮，进入操作人员运行登录屏：系统默认启动步为第一步，跳步执行工艺时请选择启动步号。十三.自动运行屏所有信息项正确无误填写完毕后，点击“确定”按钮，可进入以下工艺运行窗口；点击“取消”按钮，回到手动操作屏。如果工艺曲线没有可运行参数，程序将自动回到手动操作屏。程序进入工艺运行后，将在每步开始时刷新温度设置、阀门动作、气体流量、舟动作。a)

在运行窗口左上侧，是本步工艺信息：“03号，01步”：表明当前运行03号工艺，当前运行步号为01步；“本步倒计时00：05：15”：表明本步还有0小时5分15秒将结束；“总倒计时03：42：15”：表明本工艺正常运行还有3小时42分15秒的工艺时间；十三.自动运行屏““已运行总时间00：01：45”：表明工艺从启动到今已运行0小时1分45秒；本步设定时间00：07：00”：表明本步设定有0小时7分钟0秒的时间长度；“结束步07”：表明本工艺共有7步；“目标温度850/850/850”：表明本步左中右温区的目标温度均为850℃。b)

点击正“运行...”按钮，将切换为保持状态，程序运行的所有倒计时停止，其它一切如常。点击“已保持…”按钮可以再次切换至正运行状态，程序运行的倒计时重新启动十四.工艺在线编辑屏十四.工艺在线编辑屏c)

点击“在线编辑”按钮，将进入运行工艺编辑屏。在此窗口里，可以对当前运行步以后各工艺步的参数进行修改,但是编辑工艺号下拉框不可用，且插入步操作和删除步操作只能对当前运行步以后的步才有效。其它操作同工艺编辑屏。d)

点击“报警窗口”按钮，与手动操作屏的按钮使用结果一致。e)

在运行过程中，可以根据需要调整设置区域内的阀门状态和流量。f)

在运行过程中，温度设置由计算机程序自动完成，无法通过SET键设置温度。g)

舟动作的操作与手动操作屏中的操作方法与结果一致。在自动运行屏中，如果在工艺参数中设置了退舟的工艺步，则开始执行该工艺步后的15秒内有推舟音乐提示。h)

点击“返回”按钮，程序将提示是否退出，如果确认，将结束工艺自动运行而回到手动操作屏。阀状态将得到保持，三点温度将保持为现有设置温度。运行超过1分钟以上，程序即会自动生成工艺记录文件，运行完毕后，可以进入打开历史记录屏查看历史工艺记录。十五.断点启动十五.断点启动屏本监控程序在工艺自动运行时如果中途退出或者因断电、死机等原因而未能正常完成设定的工艺，将生成断点信息。在手动操作屏中点击“断点启动”按钮即进入断点信息屏，在该屏中可查看发生断点时的各种工艺参数。文件建立时间为发生断点的那次工艺自动运行开始时间。点击启动“启动断点运行”按钮后将直接进入自动运行屏，继续运行余下的