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文档简介
光电检测器件第一节第二节第一页,共二十九页,2022年,8月28日3.1光电器件的类型与特点3.2光电器件的基本特性参数3.3半导体光电器件光电导器件—光敏电阻光伏器件光电池光电二极管/三极管3.4真空光电器件光电管光电倍增管3.5热电检测器件热敏电阻热电偶和热电堆热释电探测器件第二页,共二十九页,2022年,8月28日3.1 光电器件的类型与特点光电效应:光照射到物体表面上使物体的电学特性发生变化。光电子发射(外光电效应):物体受光照后向外发射电子——多发生于金属和金属氧化物。光电导效应:半导体受光照后,内部产生光生载流子,使半导体中载流子数显著增加而电阻减少。光生伏特效应:光照在半导体PN结或金属—半导体接触面上时,会在PN结或金属—半导体接触面的两侧产生光生电动势。第三页,共二十九页,2022年,8月28日(一)光电检测器件的类型光电检测器件是利用物质的光电效应把光信号转换成电信号的器件。光电检测器件分为两大类:光子(光电子)检测器件热电检测器件第四页,共二十九页,2022年,8月28日光电检测器件光子(光电子)器件热电器件真空器件固体器件光电管光电倍增管真空摄像管变像管像增强管光敏电阻光电池光电二极管光电三极管光纤传感器电荷耦合器件CCD热电偶/热电堆热辐射计/热敏电阻热释电探测器第五页,共二十九页,2022年,8月28日(二)光电检测器件的特点光子器件热电器件响应波长有选择性,一般有截止波长,超过该波长,器件无响应。响应波长无选择性,对可见光到远红外的各种波长的辐射同样敏感响应快,吸收辐射产生信号需要的时间短,一般为纳秒到几百微秒响应慢,一般为几毫秒返回第六页,共二十九页,2022年,8月28日3.2器件的基本特性参数响应特性噪声特性量子效率线性度工作温度返回第七页,共二十九页,2022年,8月28日一、响应特性1.响应度(或称灵敏度):是光电检测器输出信号与输入光功率之间关系的度量。描述的是光电检测器件的光电转换效能。响应度是随入射光波长变化而变化的。响应度分电压响应度和电流响应度。第八页,共二十九页,2022年,8月28日电压响应度
光电检测器件的输出电压与入射光功率之比。电流响应度
光电检测器件的输出电流与入射光功率之比。第九页,共二十九页,2022年,8月28日2.光谱响应度:检测器在波长为λ的单色光照射下,输出的电压或电流与入射的单色光功率之比。它的值越大意味着检测器越灵敏。3.积分响应度:检测器对各种波长的光连续辐射量的反应程度。第十页,共二十九页,2022年,8月28日4.响应时间:响应时间τ是描述光电检测器对入射光响应快慢的一个参数(如图)。上升时间:入射光照射到光电检测器后,光电检测器的输出从10%上升到稳定值的90%所需要的时间。下降时间:入射光遮断后,光电检测器的输出从90%下降到10%处所需要的时间。第十一页,共二十九页,2022年,8月28日光电探测器的响应度与入射光的调制频率的关系
为调制频率为f时的响应度 为调制频率为零时的响应度 为时间常数(等于RC)
5.频率响应:光电探测器的响应随入射光的调制频率而变化的特性称为频率响应。由于光电探测器信号产生和消失存在着一个滞后过程,所以入射光的调制频率对光电探测器的响应会有较大的影响。第十二页,共二十九页,2022年,8月28日:放大器的上限截止频率时间常数决定了光电探测器频率响应的带宽返回第十三页,共二十九页,2022年,8月28日二、噪声特性噪声就是指你不期望接收到的信号,是相对于你所期望的接收信号而言的,即无用的电信号。白噪声是指功率谱密度在整个频域内均匀分布的噪声。即所有频率具有相同能量的随机噪声称为白噪声。与之相对的是有色噪声,是指功率谱密度在整个频域内不均匀的噪声。
第十四页,共二十九页,2022年,8月28日噪声特性在一定波长的光照下光电探测器输出的电信号并不是平直的,而是在平均值上下随机地起伏,它实质上就是物理量围绕其平均值的涨落现象。用均方噪声来表示噪声值大小第十五页,共二十九页,2022年,8月28日噪声在实际的光电探测系统中是极其有害的。由于噪声总是与有用信号混在一起,因而影响对信号(特别是微弱信号)的正确探测。一个光电探测系统的极限探测能力往往受探测系统的噪声所限制。所以在精密测量、通信、自动控制等领域,减小和消除噪声是十分重要的问题。噪声的危害第十六页,共二十九页,2022年,8月28日光电探测器常见的噪声热噪声散粒噪声产生-复合噪声1/f噪声第十七页,共二十九页,2022年,8月28日1、热噪声或称约翰逊噪声,即载流子无规则的热运动造成的噪声。导体或半导体中每一电子都携带着电子电量作随机运动(相当于微电脉冲),尽管其平均值为零,但瞬时电流扰动在导体两端会产生一个均方根电压,称为热噪声电压。热噪声存在于任何电阻中,热噪声与温度成正比,与频率无关。返回第十八页,共二十九页,2022年,8月28日2、散粒噪声散粒噪声:入射到光电探测器表面的光子是随机的,光电子从光电阴极表面逸出是随机的,PN结中通过结区的载流子数也是随机的。散粒噪声也是白噪声,与频率无关。散粒噪声是光电探测器的固有特性,对大多数光电探测器的研究表明:散粒噪声具有支配地位。例如光伏器件的PN结势垒是产生散粒噪声的主要原因。返回第十九页,共二十九页,2022年,8月28日3、产生-复合噪声半导体受光照,载流子不断产生-复合。在平衡状态时,在载流子产生和复合的平均数是一定的。但在某一瞬间载流子的产生数和复合数是有起伏的(变化)。载流子浓度的起伏(变化)引起半导体电导率的起伏(变化)。返回第二十页,共二十九页,2022年,8月28日4、1/f噪声(频率反比噪声)或称闪烁噪声或低频噪声。噪声的功率近似与频率成反比多数器件的1/f噪声在200~300Hz以上已衰减到可忽略不计。第二十一页,共二十九页,2022年,8月28日5、信噪比S/N信噪比是判定噪声大小的参数。是负载电阻上信号功率与噪声功率之比若用分贝(dB)表示,为第二十二页,共二十九页,2022年,8月28日6、噪声等效功率(NEP)定义:信号功率与噪声功率比为1(SNR=1)时,入射到探测器件上的辐射通量(单位为瓦)。这时,投射到探测器上的辐射功率所产生的输出电压(或电流)等于探测器本身的噪声电压(或电流)一般一个良好的探测器件的NEP约为10-11W。NEP越小,噪声越小,器件的性能越好。第二十三页,共二十九页,2022年,8月28日噪声等效功率是一个可测量的量。设入射辐射的功率为P,测得的输出电压为U0然后除去辐射源,测得探测器的噪声电压为UN则按比例计算,要使U0=UN,得辐射功率为第二十四页,共二十九页,2022年,8月28日7、探测率与归一化探测率探测率D定义为噪声等效功率的倒数经过分析,发现NEP与检测元件的面积Ad和放大器带宽Δf乘积的平方根成正比。归一化探测率D*,即D*与探测器的敏感面积、放大器的带宽有关。探测率与归一化探测率差一个系数,差的是NEP与面积和放大器的乘积的平方根的系数。返回第二十五页,共二十九页,2022年,8月28日三、量子效率()量子效率:在某一特定波长上,每秒钟内产生的光电子数与入射光量子数之比。对理想的探测器,入射一个光量子发射一个电子,=1实际上,<1量子效率是一个微观参数,量子效率愈高愈好。第二十六页,共二十九页,2022年,8月28日量子效率与响应度的关系:I/q:每秒产生的光子数P/hυ:每秒入射的光子数返回第二十七页,共二十九页,2022年,8月28日四、线性度线性度是描述光电探测器输出信号与输入信号保持线性关系的程度。在某一范围内探测器的响应度是常数,称这个范围为线性区。非线性误差:
δ=Δmax/(S2–S1)Δmax:实际响应曲线与理想的拟合曲线之间的最大偏差;S2和S1:分
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