2022年行业分析光刻机行业现状_第1页
2022年行业分析光刻机行业现状_第2页
2022年行业分析光刻机行业现状_第3页
全文预览已结束

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

光刻机行业现状光刻机从2022年到2025年的复合年增长率将达到为15.8%。目前光刻工艺是IC制造中最关键也是最简单步骤，光刻机是目前成本最高的半导体设备，光刻工艺也是制造中占用时间比最大的步骤。以下对光刻机行业现状分析。

光刻机设备市场龙头集中，EUV光刻机被ASML垄断。全球光刻机出货量99%集中在ASML，尼康和佳能。光刻机行业分析指出，其中ASML份额最高，达到67.3%，且垄断了高端EUV光刻机市场。ASML技术先进离不开高投入，其研发费用率始终维持在15%-20%，远高于Nikon和Canon。

光刻机厂商市场份额

光刻机用途广泛，除了高端大气上档次的前道光刻机之外，还有用于LED制造领域投影光刻机和用于芯片封装的后道光刻机，虽然在前道光刻机上国内厂商和ASML差距犹如鸿沟，但后道光刻机和封装光刻机国内厂商不仅都能制造，还占据了不低的市场份额。现从三大市场状况来分析光刻机行业现状。

上海微电子的90nm光刻机：目前我国能整机制造光刻机的只有上海微电子，2022年起家开头做这方面的讨论，从零起步，目前其制造工艺已经能达到90nm，2022年时上海微电子产的光刻机已经完成验收。光刻机行业现状根据科技领域的研发状况，使用一代，研发一代，再预备一代，上海微电子基本上也是这个流程，搞定90nm工艺后，现阶段已经完成了65nm工艺的研发和验证，已经再预备后续28nm的工艺了。另有消息称我国已经在加紧研制14nm的制造工艺，前期预备工作(相关技术)已经通过验证和审核。

上海微电子只是系统制造商：虽然上海微电子能做光刻机整机设备，但并不意味着这家企业能自己独立生产光刻机中的全部零配件，它只是一个系统制造商。光刻机行业现状分析，想要制造一台完整的光刻机需要全球选购零配件，尤其是核心精密零部件更是依靠国外厂商，比如的光栅、德国镜头、瑞典轴承等等。当然，全球选购是目前光刻机厂商通用的做法，也是很无奈的做法，由于没有任何一家企业有实力完成全部零配件的生产，能独立完成光刻机的制造。荷兰ASML也一样全球选购然后生产制造。

提高光刻机技术核心是材料学：前面说了制造光刻机需要各种精密配件，上海微电子仅的光刻机就得几万的配件。光刻机行业现状分析，想要提高我国光刻机的整体工艺水平，光靠上海微电子一家厂商是不行的，需要全国整体的制造业水平上去，能够制造出我国自己的光栅、镜头、轴承、阀件等等。而想要制造出高质量的配件，最终又将归结于材料学的讨论，许多东西目前其实我们能造，但是使用的材料不过关，精度和质量达不到国外厂商的水准。因此，这就需要我国全部相关企业都能努力提高。

作为集成电路产业的核心装备，有人称光刻机为“人类最精密简单的机器”。工件台系统是光刻机的重要子系统，工件台系统的运行速度、加速度、系统稳定性和系统的定位建立时间对光刻机的生产精度和效率起着至关重要的作用。本次“光刻机双工件台系统样机研发”项目验收

人人文库> 全部分类> 应用文书 > 研究报告

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论