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文档简介

FilmIssuesDougPelleymounter&KenNauman高级应用工程师1薄膜问题和其它系统的最优方案用于反应溅射的闭环控制Lambda探测仪残余气体分析仪(RGA)等离子体发射监控器(PEM)外部电压控制新的Crystal®

电压控制带有多倍射频供应的公共激励振荡器(CEX)和相移交流阳极下降气流均匀性薄膜应力和粘着力溅射速率SiO2二氧化硅结晶控制厚度AZO氧化锌铝vs.ITO氧化铟锡vs.CdSte每种陶瓷的成本(合金,联合溅射,等等.)2薄膜问题

提问与解答时间3

Nasdaq®GM:AEIS

ENG-FilmIssues-150-039/24/2008Specificationsaresubjecttochangewithoutnotice.AdvancedEnergy®,Crystal®,FlatPanelFocusSM,PVSunTimesSM,andSputterSpotlight®areU.S.trademarksofAdvancedEnergyIndustries,Inc.2008AdvancedEnergyIndustri

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