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SEMLabTraining02操作规程简介操作流程简介不同方向的不同关注开机顺序装(换)样顺序配电箱电源循环（冷却）水SEM主机（钥匙）(10秒)SEM电脑EDAX分析器能谱电脑SEM主程序能谱主程序能谱分析Vent装样（换样）EavcReady2min后开“HT”形貌分析关“HT”一切复位等够2min关机顺序关高压复位并等够2min关能谱主程序关能谱电脑关EDAX分析器Vent并取出样品台Evac到Ready关SEM主程序关SEM电脑关SEM主机等15~30min关配电箱电源关循环水开关工作条件室温：15℃~25℃湿度：≤70%RTZ束斑加速电压样品高度信号种类原始值0050~603020KV30SEISEM各参数初始值（复位）形貌分析步骤选择信号SEI或者BEC扫描1聚焦，更高倍聚焦。扫描2移动，寻找目标。移动有三种方式扫描3检查，看有没有问题。定格，保存，取消，下一个。能谱分析一般能谱步骤元素面分布扫描（面扫描）步骤元素线分布扫描（线扫描）步骤一般能谱步骤CPS=1200~3000,DT%=10~40,Amptime=51.2或102.4CollectimageClearspectrum或者“雷达”Star/stopEDScollection或者“秒表”Lsec=20~50s后，“秒表”HPD或者直接Q，看“绿色线”和“峰位”啮合是否完美W保存“EXT/XY”下一个样面扫描步骤CPS>5000,Amptime=25.6Map/line选择感兴趣的元素和区域,collectimage点掉“quant”，点上“live”(还有全谱面扫，需2h以上)Collectmaps保存Fileprint！注意不是我们教的方法，而在我们的设备上使用的。若有万一，后果自负。有好的方法可以跟我们交流，好的方法我们会推荐给大家。例如线扫描步骤CPS>5000,Amptime=25.6Map/line选择感兴趣的元素和区域,collectimage点掉“live”，点上“quant”,可以选择数据类型划线Collectline保存Displaylinescandataimageshowimagesave不同方向的不同关注形貌相能谱形貌例1纯铝阳极氧化S2006C6选择条件：喷金光栅2无其他要求海水腐蚀的铝青铜外委阳极氧化Al合金缺陷工作条件：5KV光栅3SS=201005断口相例22026例5汽车板两种信号结合来确定“是相还是缝？”能谱前面的工作做好（样品放对，图像找好，目标找准）——45%理解原理，选好工作条件——45%大胆怀疑和尝试——10%简言之了解SEM两种信号和能谱的能力了解关注的重点，以选择合适的工作条件

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