国内外超净高纯氢氟酸产能调研

书号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS1.浙江巨化集团凯圣氟化学有限公司凯恒电子材料公司3•••自创2011年6月已进行年产3万吨电子级氢氟酸扩建项目环境影响报告书审批前公示。在现有万吨/年的电子级氢氟酸基础上，再新建万吨/年电子级氢氟酸装置。计划于2011年新建一套万吨/年电子级HF生产装置，配套建设2万吨/年的无水氟化氢装置；2013年新建一套万吨/年UP-S级HF生产装置。2012年初已发布了巨化股份关于凯圣公司年产6000吨ppt电子级氢氟酸固定资产投资项目的投资公告。项目采用引进技术，包括原料供应系统、HF纯化系统、稀释循环过滤系统、成品过滤系统和成品贮梢系统等内容。项目固定资产投资8300万元，表1国内外超净高纯电子级氢氟酸产能调研表（2012-7)

字号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS预计2012年10月建成投产。（注：70%勺ppt电子级氢氟酸主要用于LED晶圆生产，目前ppt级产品国内基本靠进口。）2.■浙江蓝苏氟化有限公司•••苏浙江蓝苏氟化有限公司由浙江蓝天环保高科技股份有限公司、苏威氟控股（亚太）有限公司合资建立的中外合资企业，注册资金4000万元。公司于2006年11月19日开工建设2万吨/年无水氟化氢项目，2007年9月16日投产。选址在衢州高新技术产业园区华阳路39号。电子级氢氟酸项目引进苏威公司的先进生产技术，总投资3500万元，其中环保投资170万元。公司于2010年4月开工建设，2011年12月投入试运行。产品用于太阳能行业。苏威Solvay在华氢氟酸企业。根据2012年浙江省工业转型升级财政专项资金项目汇总表（衢州市区）

字号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS列，项目总投资2838万元，审计后投资额1106万元，2012年正在申请省工业转型升级财政专项资金项目补助资金64万元。项目为年产5000吨电子级氢氟酸项目，可生广UP级、UPS级电子级氢氟酸。现有电子级氢氟酸等级有四级（从低到高分别为AR级、EL级、UP级、UPS级），现国内自有技术为AR级和EL级，蓝苏公司生产的电子级氢氟酸为UP级和UPSa。项目各项配套条件均落实，并已完工投产，质量已达到设计标准。3.浙江瑞星氟化工业有限公司日本Stella在华氢氟酸企业。4.浙江森美化工有限公司•••2003年11月成立（金华市武义县青年胡处工业区），日本森田化学工业株式会社（MoHtaChemical）在华氢氟酸企业。

字号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS无水氟化氢产能15000吨。并于2004年12月取得ISO19001-2000、于2005年1月取得ISO14001认证。2009年2月森田化学半导体级氢氟酸增产设备完成。森田化学还与住友合资在张家港有限公司建有800吨/年的六氟磷酸锂厂。5.6.江苏苏州晶瑞化学公司•••苏位于苏州市吴中经济开发区澄湖东路，是一家生产销售微电子业用超纯化学材料和其他精细化工产品的中港合资企业。品种包括氢氟酸、过氧化氢、异丙醇、氨水、硝酸、氟化镂等。目前主要量产品种的纯度为单项金属杂质含量小于1ppb。产品广泛应用于超大规模集成电路和TFT-LCD面板制造过程中的蚀刻与清洗。总体产能2万吨，公司产品包括光刻胶和超净试

书号生产厂家产能（万吨/年）品等技备注Jp合计已建在建拟建ELUPUPS源剂，高纯氢氟酸产能7000多吨，占其利润一半，产品处于中高端水平，在行业中有较好口碑。其产品80%ffl于太阳能领域，20海于半导体、TFT-LCD领域。2011年在建1万吨氢氟酸生产线，还计划在苏北建立1条万吨级的生产线，开拓北方市场。UP-S级微电子用高纯度氢氟酸2008年获奖2007年中国半导体创新产品和技术项目。2009年度苏州市科技发展计划各类项目，经专家评审，公告确定了该公司UP-SS级微电子用超纯氢氟酸获得苏州市科技型企业技术创新资金专项项目。7.江苏江阴市润玛电子材料有限公司••总产能约2500吨，产品包括硫酸、氨水、氢氟酸等，产品95%针对太阳能市场，仅5%十对半导体市场，公司总体路线是低价路线。

字号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS8.江苏江阴江化微电子材料股份有限公司••生产微电子化学品一一紫外负性光刻胶及其紫外正、负性光刻胶配套试剂、超净高纯试剂、通用化学试剂系列以及其它专用电子化学品5000吨能力，产品类型与晶瑞相似，但技术水平低于晶瑞。9.江苏江阴化学品有限公司总体产能3000吨，主要产品是CMO皱、MO激和低颗粒高纯试齐11。10./工苏昆山金城试剂有限公司即金城试剂厂，还包括金城精细化工厂、精细化工二厂和金城公司昆山分公司等，是江苏最大的专业生产化学试剂产品的企业之一。高纯试剂：包括高纯无机酸类（盐酸、硫酸、硝酸、氢氟酸等）及部分有机溶剂（醇、酮、酯及苯类），纯度为4N、5N（%%的金属氧化物（韧、铅、硫、鸨、铝、错）。

字号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS11.江苏苏州旭昌化学科技（昆山）有限公司•苏州市发展和改革委员会2012-1-30发布新建项目核准的批复，该项目位于昆山市千灯镇精细化工区，其中电子级氢氟酸清洗剂8000吨。12./工苏昆山市富乐化工有限公司专业生产工业级氢氟酸、电子级、分析纯、超高纯氢氟酸、氟硼酸、氟硼酸亚锡、氟硼酸铅、氟化镂、氟化氢镂等氟化物产品及硝酸、盐酸、硫酸、无水乙醇、氢氧化钠、双氧水、丙酮等。年总产量达到10000多余吨，年产氢氟酸为5000吨、氟硼酸为1000吨、双氧水为800吨硝酸为3000吨，盐酸为150c吨等。氢氟酸产品为试剂级、电子级、mos级。13.江苏三美化工股份有限公司1••江苏南通2011-07对江苏三美化工有限公司（在如东洋口化学工业园如东）年产6万吨ODSt代品（包括年产1万吨二氟甲

字号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS烷、1万吨五氟乙烷、1万吨三氟乙烷、2万吨四氟乙烷及1万吨五氟丙烷）、5万吨无水氟化氢、1万吨高纯电子级氢氟酸、3万吨偏二氯乙烯、3万吨三氯乙烯、万吨聚偏二氟乙烯树脂；联产19万吨石膏、17万吨盐酸、万吨40%K氟酸、万吨氟硅酸、万吨四氯乙烯及850吨六氟丙烯项目进行了审批公示。14.江苏海安南通明鑫化工有限公司最专业的高活性氟化钾设计制造商：南通市明鑫化工有限公司专业生产结晶氟化钾、无水氯化钙。生产氢氟酸、氯化钾、氯化钙、钝化液，同时经营硫酸、硝酸、盐酸、氟化氢镂、氟化氢钾等。15.江苏南京苏纯化工科技有限公司南京苏纯化工科技后限公司『家领先的超净身纯电子化学品与水处理化学品提供商。具超净高纯-氢氟酸（40%/49%纯

字号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS度规格EL级/UP级/UP-S级，16.工苏阿科玛（常熟）氟化工有限公司道达尔集团阿科玛Arkema在华氢氟酸企业。1996年6月成立的中国第一家致力于拓销无水氢氟酸及氟利昂替代品的外商投资企业。目前拥启二个项目：分别为生产销售HF及F22的氟化工项目，生产共聚酰胺类的热熔胶项目，以及有机过氧化物项目，总投资超过六千万美元。公司于2000年5月正式投产，目前生f水氢氟酸20000吨、FORANE22±35000吨，并正在为增产建设。17.福建邵武永飞化工有限公司•••2009-9月下旬，项目破E工，2010-5月底完成。生产厂房采用钢架结构以及采用普通优等品AHF为生产原料。9月15日公司顺利完成“15000吨/年高纯超净氢氟酸（电子级氢氟

字号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS酸）项目”福建省外经贸区域协调发展促进资金的申报工作。供货于日本关东电化。18.福建顺昌富宝腾达化工有限公司1•福建南平市顺昌县埔上镇，无水氟化氢3万吨/年，氟化盐系列产品8千吨/年、氟表面活性剂20吨/年。拟投资6亿以上，开发电子级氢氟酸、电子级双氧水等7个以精细化工产品为主的项目。2010年已环评公示。计划2011年建成投产。超纯电子级氢氟酸工艺流程简述：经的的氢氟酸及电子级纯水进入蒸发器，加热汽化，然后进入精储塔，塔顶汽体经冷凝器冷凝成超纯氢氟酸，放至超纯氢氟酸贮梢。未冷凝气体再经尾气吸收塔吸收处理。超纯有水氢氟酸的制备：超纯氢氟酸储梢为高浓度超纯氢氟酸，需经稀释到不同要求浓度的超纯有水氢氟

书号生产厂家产能（万吨/年）品等技备注Jp合计已建在建拟建ELUPUPS源酸，稀释用水必须是电子级用纯水，稀释后的超纯有水氢氟酸必须经过严格的质量检测，其阳性金属离子含量，阴性离子含量，尘粒直径及颗粒数，需用先进的分析仪器，作超痕量检测，合格后在洁净环境卜进行包装（i万级洁净区）。电子级纯水制备：原水经初级物理性去杂质过滤，再经RO逆渗透膜去除阴阳离子，得到初级纯水，再经最先进的EDI膜去除痕量的阴阳离子，得到电子级纯水。19.福建邵武华新化工有限公司11••公司成立于2004年，是一家外商独资企业，公司总占地面积约240亩，拥有员工超过400多人，其中技术人员100余名。下属有邵武华新化工有限公司、厦门美迪化工有限公司、光泽美迪化工有限公司、邵武华孚新材料发展有限公司四家公司。

字号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS公司生产基地地处福建北部，有丰富而优质的萤石资源，成立以来致力于氟化工系列产品的研发和生产销售。目前已建成无水氟化氢万碗、氟化氢镂（氟化镂）10000吨、干法氟化铝3万吨、氟碳表面活性剂系列80吨、优级纯氢氟酸6000吨的生产线。2011年5月电子氢氟酸项目环评，厂址定在金塘氟化学分公司现有厂区内邵武金塘工业园区。扩建1套10000t/a超纯电子级氢氟酸生产线和1套电子级纯水制备装置，新*座成品仓库及罐区。主要生产工艺：（1）纯净水制备工艺：原水经初级物理性去杂质过滤，再经RO逆渗透膜去除阴阳离子，得到初级纯水，再经最先进的EDI膜去除痕量的阴阳离子，得到电子级纯水。（2）高纯氢氟酸制备工艺：氢氟酸与电子级纯

字号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS水进入蒸发器加热气化后，以蒸汽形式进入精储塔，釜底主要为少量的残渣；塔顶生成为低沸点的HF,经过冷凝后部分回流到精储塔内，部分做为产品，保存到成品储罐内。冷凝器内少量的HF气体挥发到尾气吸收塔，用电子级水吸收生成高纯有水氢氟酸，再少量的HF气体经过二级水吸收和碱液吸收生产氟化钙石膏。建设期2011-2012年。20.福建省建阳山水化工有限公司公司主要化工产品有：工业氢氟酸、无水氟化氢、化学试剂氢氟酸、电子级氢氟酸、氟化氢镂、氟化镂、氟硼酸、氟硅酸、氟硼酸钠、氟硅酸钾、氟化氢钾、氟硅酸钠、氟硼酸钾、氟化钠等，公司主要矿产品有：酸级萤石精粉、冶金级萤块矿、粒矿、萤石烘干粉等。

字号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS21.河南多氟多化工股份有限公司••2011-2-2-11河南省环境保护厅对锂离子电池用电解液及六氟磷酸锂、电池级氟化锂、电子级氢氟酸项目环境影响报告书进行了批复［豫环审〔2011〕35号］。多氟多拟投资亿元实施2万吨锂离子电池用电解液及2000吨六氟磷酸锂、400吨电池级氟化锂、5000吨电子级氢氟酸的新建项目。计划2012-2013年首先一期建设2500吨/年电子级氢氟酸线，产能预测200c吨/2012年，2500吨/2013年，4500/2014年，5000吨/2015年。22.河南焦作市氟源化工有限公司•即原焦作市氟化盐厂，又名焦作市晟铝氟化盐有限责任公司。公司于2006年改制为股份制企业，为使公司快速发展先后建成年产冰晶石10000吨，氟化铝30000吨，氢氟酸24000吨的

字号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS先进生产线。电子氢氟酸项目于2012年2月焦作市企业投资项目备案（豫焦沁北工[2012]00003）,总投资力元。2011年8月16日，在沁北产业集聚区签曙年产4千吨电子氢氟酸项目入驻。23.■河南焦作市增氟科故有限公司年产5万吨无水氢氟酸，河南省企业投资项目备案情况已公示。建设地点：博爱县柏山镇焦克路北。总投资：10000万元。计划建设起止年限：2011-6〜2012-12。年产5万吨无水氢氟酸，共两条生产线（单条万吨），分二期建设，一期万吨工程计划2012年5月完工，二期计划2012年底完工投产。采用国内先进技术，以硫酸、萤石为原料，通过反应炉加热-吸收-冷凝-精储的工艺进行生产，主要装备有反应炉、冷冻机、吸

字号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS收塔、冷却器等。产品用于清洗不锈钢、氟化盐行业、玻璃行业等。■24.:河南焦作市冰晶科皮公司年产3万吨氢氟酸项目，目前已投资3000万元，开始生产。25.安徽宣城（鹰鹏）亨泰化工科技有限公司•••万吨/年项目2009年11月环评首次公不。宣城市环保局2011-9-8再次公不，选址变更在亨兀化工科技有限公司预留场地内进行建设。2011年5月可研评审宣州通过。投资1.4亿元，项目采用工业无水氟化氢为原料，经过氧化、蒸储、分离等工艺过程生产电子级氢氟酸产品。第一期已建成了电子级氢氟酸生产线，年产电子级氢氟酸万吨，各项指标均已达到设计水平。拥有一套年产6000吨高纯电子级氢氟酸生厂装置。

字号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS产品技术指标已达到单个金属离子含量W1ppb,具有自主研发的知识产权优势。期工程预计九月份就能建成，预一期工程6000吨电子级氢氟酸，2012年7月正在招聘员工。鹰鹏集团公司拥有年产能12万吨工业无水氟化氢生产线，确保电子级氢氟酸和工业氢氟酸原料优质稳定供应。26./工西赣州华星氟材料有限公司•中国华星氟化学投资集团有限公司（以下简称中氟公司）全资子公司。成立于2011年3月31日，注册资本5000万元人民币，注册地为江西省赣州开发区。2011-10-10公司对年产5万吨无水粼化氢、年产2万吨熟化氢镂、年产5000吨电子级氢氟酸建设项目环境信息进行了公告。项目环评报告于2012年3月16日通过市环保局审批（赣市环审字【2012】36号。

字号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS项目建设地点：赣州开发区香港工业园北区。5000t/a电子级氢氟酸项目2011年6月核准批复。项目主要建设内容及规模：新建电子级氢氟酸车间、原料综合仓库、成品仓库、变配电间、冷冻空压站、锅炉房、循环水池、消防池、事故池、污水处理系统、办公楼、研发楼、倒班宿舍、食堂、门卫及道路、绿化等配套设施，总建筑面积25780m2;购置预处理梢、精储塔、吸收塔、蒸储塔、冷凝器、自动包装机等设备；形成年产500c吨电子级氢氟酸的生产能力。总投资12000万元，其中固定资产投资8000万元，流动资金4000万元。项目装置工艺系统招标丁已2012年6月5日开标。27.江西英腾化工有限年产4万吨高纯无水氢氟酸。2008年底建成投产，产品50%

字号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS公司出口。江西英腾化工有限公司是英国英力士集团氟化工有限公司和浙江星腾公司共同投资建立的，公司总投资亿人民币，主要从事绿色制冷剂、含氟高分子材料、含氟精细化学品的生产、经营与研究开发。该公司将为英力士在日本Mirara的工厂提供原材料，同时也将为星腾化工有限公司位于金华的工厂提供生产氟化物所需的原材料。英国英力士Ineos在华氢氟酸企业。英力士氟化工业务已转墨西哥化学。28.江西大唐化学有限公司总投资亿元人民币的5万t/a无水氢氟酸装置于10月29日在庐山区姑塘化纤基地开动建设。大唐氟化工项目是江西省与日本大金株式会社合作的项目。日本大金株式会社在世界500强企业中列280位，主要从事特种产品制冷制热、半导体、液压

字号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS机械、电子及微米级特殊机械生产加工、氟化工等现代制造业。由日本大金株式会社和中萤集团联合投资的大唐氟化工项目2006年12月签约，目前启动的一期工程将新建5条年产1万吨氢氟酸生产线，2009年1月一期工程将试车投产。项目全部建成后，可年产5万吨无水氢氟酸，年产值可达亿元，年纳税4000万兀。日本人金Daikin在华氢氟酸企业。29.江西中氟化工有限公司江西中氟化工有限公司是中美合资企业，位于江西省玉山县，该县境内及周边地区蕴藏有丰富的莹石资源，为氟化工的生产提供了充裕的基础原料。有2万吨/年氢氟酸生产线一条合4万吨/年。30.天津科密欧精化学是天津市化学试剂标准化成员单位，天津市首批科技型中小企

字号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS武剂开发中心业，2011年国家科技部科研用试剂研发第三大任务的牵头单位。目前公司生产卡尔费休、对照品、标准品、色谱纯（含离子对试剂）、高纯MO激、电子纯、低浓残检测、环保、基准、特效、分析纯、优级纯、标准溶液、消毒剂、药用辅料、等15个系列，3000多个品种。31.天津市光复精细化工研究所•电子纯氟化氢溶液40%（50%）。规格/包装单位：MOS/500mb32.北京兴青红精细化学品科技有限公司•33.北京化学试剂研究听•是中国超净试剂研究的发源地，完成了Mosa、BV-I、H、m级超净试剂的研究和生产，并与上海华谊一起主导的国家

字号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS863计划ULSI用超净高纯试剂研究。量是近年来在技术上没有太大的突破，目前主要生产MO激超净高纯试剂。34.••东营耐尔科技有限公司是一家中外合作的局新技术公司，研发生产高纯材料，特别是应用于电子工业的高纯材料，为集成电路、平板显示器、光伏电池、制药、化工、科研等行业提供各种特种气体、湿化学品以及特种气体包装输送柜等产品及服务。产品有超纯I（EL）、II级（UP）。山东东营耐尔科技有限公司35.FormosaDaikinAdvancedChemicalsCo.,Ltd.（台湾台塑大•••日本大金Daikin在华氢氟酸企业。台塑大金精密化学股份有限公司成立於1999年12月，2002年03月正式量产，结合台塑公司在氟化学工业多年的管理经验以及日本大金工业的先进精密技术，生产半导体用湿式蚀刻剂，目前年产电子级氢氟

字号生产厂家产能（万吨/年）产品等技源备注合计已建在建拟建ELUPUPS金精密化学股份有限公司）酸16,700吨、氟化镂5,200吨、缓冲级氢氟酸1,800吨。地址：（105）台北市敦化北路201号彳爰栋10楼445室；电话：（02）分机：7404;传真:（02）;E-mail:。36.IndustrialCo.,Ltd.（台湾台硝集•••IC、TFT级产品：IC半导体与TFT-LCD光电产业用之清洗剂与蚀刻液49常氟酸；EL级产品：4〜5”晶圆与FPD光电产业用之清洗剂与蚀刻液49泡氟酸。电子化学品：连络人盛副理；电话886-3