仪器使用者手册

儀器使用者手冊98年04月10日製作目錄相關網址-------------------------------------P.3相關事項聯絡人-------------------------------P.3新手上路-------------------------------------P.5線上開課注意事項-----------------------------P.5收費標準-------------------------------------P.6付款方式-------------------------------------P.7對外開放服務時間預約時段---------------------P.7無塵室一般守則-------------------------------P.8相關網址實驗室網址：.tw/Physics/ncf/線上註冊網址：39:81/nano/ncf/facilities.asp?TP=6儀器預約及課程報名系統：39:81/nano/ncf/facilities.asp?TP=4工安及自行操作訓練認證通過名單查詢：.tw/Physics/ncf/order.php?TP=6最新消息及儀器運轉狀況公告：39:81/nano/ncf/ncfindex.asp實驗室負責人員聯絡一覽表中山大學總機：(07)525-2000服務專線：(07)525-3708姓名主要負責項目分機e-mial陳惠華預約系統及網站管理/帳號、識別證、磁卡申請審核/開課管理、FIB、工安課程收費/儀器使用費月結通知及收費、實驗室參觀申請安排3702lychen@.tw陳彥文FIB機台委託操作、維護、使用時數登錄及教育訓練、耗材購買、現場參觀解說3746ahbay@.tw陳韋銘無塵室磁卡開通及門禁管理、假日及夜間進入申請審核、工安訓練、廠務機台維護管理、現場參觀紀錄3748cum@.tw賴新枝無塵室自行操作認證通過機台開通、上課通知及收費、儀器使用時數記錄登錄及現金收費、臨時證申請、現場參觀解說、耗材購買、機台維護處理3746vickylai@.tw機台負責人員聯絡一覽表中山大學總機：(07)5252000機台簡稱姓名分機連絡手機e-mialCVD楊伯鈞37080955131359blades-y@.tw戴志豪37080958720271m953050006@.tw陳敏甄37080933685522sogaha@.twICP張冠張37080922146578doubleccc@.tw黃正杰37080921641037m952030007@.tw徐詠恩37080960161600syu.yong.en@Sputter曹書瑋37080939890087d943050011@.tw陳敏甄37080933685522sogaha@.twE-beam郭原瑞37080927106596d943050018@.tw林佳盛37080988321611uk0601@楊伯鈞37080955131359blades-y@.twRTA黃正杰37080921641037m952030007@.tw徐詠恩37080960161600syu.yong.en@WetBench張冠張37080922146578doubleccc@.tw黃正杰37080921641037m952030007@.twMask-Aligner曹耀中37220919682808eddy0715@葉向榮37220932562091S919094@林政邦37220928772266chengpanglin@.twLaserAnnealing楊恭尚37220937404992m972030020@.tw黃文宏37220933073619m972030031@.tw黃伽佳37220937399366ada1112@LaserAblation黃伽佳37220937399366ada1112@楊恭尚37220937404992m972030020@.tw黃文宏37220933073619m972030031@.twFIB陳彥文37460958537538ahbay@.tw4pointprobe黃正杰37080921641037m952030007@.tw徐詠恩37080960161600syu.yong.en@N&K戴志豪37080958720271m953050006@.tw黃正杰37080921641037m952030007@.twAlpha-Step徐詠恩37080960161600syu.yong.en@黃正杰37080921641037m952030007@.tw新手上路本共同實驗室儀器已全面開放使用，校內與校外一般人士均可申請使用。

新申請者請先至《線上註冊》建立新帳號，輸入基本資料，以方便建檔之用。在您建立新帳號之後，系統會自動寄發審核確認信到您的E-mail，因此請確實填寫有效的E-mail。完成線上註冊，委託操作者與儀器負責人員聯絡後可逕行上網預約儀器(FIB首次委託須列印委託操作申請表)。自行操作者請至本單位網站線上報名參加各項《工安及儀器訓練》與《儀器檢定》，並列印申請表單

(1)FIB須列印自行操作訓練申請表

(2)無塵室機台須列印(a.使用者基本資料表b.實驗室使用者安全承諾切結書及健康告知)，資料準備齊全(如下所列)後，請至物理系D4009室物理系辦繳交資料及報名費。識別證及磁卡申辦請於儀器認證通過主動告知助理辦理，請務必配合及遵守本無塵室一切規定(附件一)，如有任何問題，請電(07)525-2000#3702#3746(07)525-3708，或E-mail:lychen@.tw謝謝。

a.「使用者基本資料表」

b.「實驗室使用者安全承諾切結書及健康告知」

c.學生證或身分證影本乙份

d.學保或一般保險或勞保證明影本乙份

e.識別證申請須附相片2吋2張

f.磁卡申請須支付押金300元(已有物理館磁卡者不須再支付)若要取消預約，請於2天前設定，違者使用費照預約時間全額收費(FIB半價)。自行操作儀器滿15小時且領卡滿30日才可預約非上班日時段(FIB不在此限)工安與機台訓練考核通過者若連續3個月無自行操作紀錄，則取消其自行操作資格。日後若需自行操作，需另行申請、訓練、考核，費用以半價計。實際使用時數未達預約時數，而兩者間時數相差超過1小時，其餘時間以單價之50%計算。線上開課注意事項請先上網註冊取得帳號、密碼始能預約工安及各課程。每一課程開課前二天下午12:00時為報名截止時間，該課程之線上報名及取消系統將自動關閉，若有疑問請洽本單位助理賴小姐:(07)525-2000#3746。本單位每月二十日將公佈下月課表，請密切注意本網站儀器預約及課程報名系統資訊。上課前請先至奈米中心櫃檯賴小姐處繳費，並領取收據。若臨時有事請於二天前上網取消課程報名。若您有報名本實驗室課程、檢定或儀器訓練課程，而未至本實驗室上課，本單位將不予以退費。通過認證人員名單將公佈於網頁上，請上網查詢。收費標準

製程機台優惠25折(最低收費375元/時)，訓練認證費5折，FIB機台4hr送1hr，

工安訓練認證：600元(3.5hr含WetBench訓練認證)。

機台名稱自行操作收費

(元/hr)委託操作收費(元/hr)包含上課+儀器工程師，(需另外練習操作，依委託操作費率計)陪同練習校內外校/研究單位營利單位訓練/認證(時數)訓練費認證費高密度電漿化學氣相沉積系統(HDP-CVD)

HighDensityPlasmaChemicalVaporDeposition1,5001,8002,4002,7003/0.53,0001,200感應耦合式電漿蝕刻系統(ICP-Etcher)

InductiveCouplePlasmaEtcher1,5001,8002,4002,7003/0.53,0001,200多靶磁控濺鍍系統(Sputter)

Multi-TargetSputter1,0001,2001,5001,8002/0.52,000750雙電子束蒸鍍系統(E-Beam)

DualE-BeamEvaporator1,0001,2001,5001,8003/0.52,000750雷射退火系統

LaserAnnealingsystem1,0001,3001,5002,0003/12,0001,500雷射濺鍍系統

LaserAblationsystem1,5002,0002,2003,0003/0.752,0001,650快速退火系統(RTA)

RapidThermalAnnealingSystem5006007509001/0.5500500光罩對準機(MaskAligner)

MaskAlignerandExposureSystem5008001,0001,5003/0.5500500薄膜特性分析儀(N&K)

N&Kanalyzer200/15min250/15min300/15min400/15min1/0.5500600三維輪廓儀(Alpha-Step)

3DAlpha-StepProfilometer200/15min250/15min300/15min400/15min1/0.5500600四點探針(4PointProbe)

4PointProbe0不受理不受理不受理1/0.25500500聚焦離子束(FIB)

FocusedIonBeam2,2503,0003,000/5,0007,00036/47,0003,000繳款方式：月結

校內：1.現金2.計畫轉帳

校外：1.現金2.電匯3.開票

研究單位及營利事業單位請當日繳交現金或即期支票

繳款帳戶：戶名：國立中山大學校務基金401專戶

帳號：011036032059(台灣銀行高雄分行)

備註欄請註明「奈米核心設施分機3702」

支票抬頭：國立中山大學(即期支票)對外開放服務時間預約時段：委託操作開放時間為非假日白天時段:09:00~17:00。自行操作儀器滿15小時且領卡滿30日才可預約非上班日時段(FIB不在此限)

附註：若內部維護或技術發展與訓練則不接受預約。時間星期一星期二星期三星期四星期五星期六星期日09:00-12:00自行操作/

委託服務

自行操作/

委託服務

自行操作/

委託服務

自行操作/

委託服務

自行操作/

委託服務

自行操作

自行操作12:00-17:00

自行操作/

委託服務

自行操作/

委託服務

自行操作/

委託服務

自行操作/

委託服務

自行操作/

委託服務

自行操作

自行操作17:00-09:00

自行操作

自行操作

自行操作

自行操作

自行操作

自行操作

自行操作附件一國科會高屏地區奈米核心設施共同實驗室一般守則中華民國95中華民國96年一、人員進入潔淨室資格二、進入潔淨室前之注意事項三、進入潔淨室之程序四、潔淨室危害預防五、離開潔淨室之程序六、其他相關規定一、人員進入潔淨室資格：(一)、申請人需具備以下資格，且經核心設施設備使用資格審核查檢核可及安全衛生教育訓練合格、並附上投保證明單，始得進入潔淨室：1：奈米核心設施相關指導教授及研究助理。2：奈米核心設施技術人員及工作人員。3：領有識別證的學生及其他研究單位之研究人員、工作人員。(二)、未經認可、但需進入潔淨室者(如廠商、儀器工程師…等)，應先於研究助理處取得臨時證，配掛於胸前；並有合格人員陪同在場(一名具識別證人員至多伴隨兩名臨時證人員，並需負責其安全及行為)，於本潔淨室上班時間內始得進出。(三)、嚴禁將潔淨室磁卡轉借他人、或夾帶未經核准的人員進入潔淨室。二、進入潔淨室前之注意事項：(一)、人員方面：1：進行實驗前，需熟讀所使用化學品之MSDS(物質安全資料表)，了解其危害、及應變處理方法…等相關內容，以人員安全為最高原則。2：學生出入本實驗室進行各項作業，均須登記起訖時間及使用機台。(二)、行為方面：1：在實驗室工作時，必須確切的了解每一個動作可能發生的危險，及應採取之安全防護工作。2：潔淨室內外均為禁煙區，吸煙者須於抽後30分鐘後，並漱口方可進入潔淨室。3：進入潔淨室應保持身體潔淨，頭髮應常梳洗，長髮請綁好、並無掉落之虞，並禁止使用香水及化粧品。4：嚴禁劇烈運動後，立刻進入潔淨室，需待呼吸平穩、及不再流汗後，方得進入潔淨室。5：在潔淨室內不得飲食、嘻鬧、閒逛、奔跑、團聚聊天，並不得使用銼鋸、砂紙及修正液…等工具，或從事其他與實驗無關事項。6：實驗室內不得穿著短褲、裙子及拖鞋，並應穿著乾淨襪子後著無塵鞋。7：勿在潔淨室內踏步來回走動，非必要勿停留在潔淨室內，並隨時保持潔淨室之整潔。8：請勿擅自切換各項開關，以免影響其他用電。9：嚴禁各種會影響潔淨室潔淨度之動作及行為。(三)、物品方面：1：不可攜入潔淨室的物品：手提袋、書籍、報紙、紙類製品(除實驗記錄本外)、食物、飲料、口香糖、各類罐頭瓶子、有煙物質、打火機、收音機、CD音響、隨身聽、行動電話、呼叫器、鉛筆、橡皮擦、皮包、錢包…等，和其他類似物品。2：個人物品請放置於室外置物櫃、鞋櫃中，請勿放貴重物品，本中心不負保管責任；並於每週進行置物櫃、鞋櫃清理，實驗完畢離開前請帶走個人物品。3：非經奈米核心設施助理同意，不得將私人物品及非潔淨室所使用的工具攜入潔淨室，若有特殊需求，如施工器具、機台、設備零件…等較大型物品，各項化學品或必須進入潔淨室之物品，請填寫物品攜入潔淨室申請單及切結書，待核准、並先進行清潔除塵後，方可搬運；維修用的手冊及工具，在使用完畢後應立即收拾歸位。4：攜帶化學品至潔淨室內使用儲存時，化學品外觀需有中文標示，並至奈米核心設施助理處登記，領取化學品儲存標籤，張貼於化學品容器上；並存放於指定位置，嚴禁隨處放置。三、進入潔淨室之程序：(一)、踏入實驗室前，先脫掉外鞋置於室外鞋櫃。每個人均須刷卡進入，以維護個人權利與義務。(二)、進入實驗室，於準備室登記個人資料及使用機台，依序穿戴無塵衣帽。1：無塵衣穿著順序：(1)髮套，(2)口罩，(3)無塵帽，(4)無塵衣，(5)無塵鞋，(6)手套。2：頭髮必須能蓋在無塵帽之內，必要時使用髮套。3：口鼻必須蓋在口罩之內；口罩手套不可重覆使用。4：無塵帽下擺須完全紮入無塵衣之衣領內。5：穿上無塵衣時，識別證必須掛在無塵衣外；不可將衣袖捲起。6：穿戴手套前須先充氣測試，確定無漏方可使用。7：手套穿戴後，手腕部份應藏於無塵衣袖內，使用後即應丟棄，不可重覆使用。(三)、依規定進入空氣洗淨室做空氣浴：1：進入潔淨室之前，必須先經過空氣洗淨室吹洗。2：空氣洗淨室內，不可超過2人同時進入。3：為避免影響空氣正常循環及除塵效果，人員不可倚靠在空氣洗淨室的門或牆上。4：人員必須站於空氣洗淨室中央，輕微搖動雙手、雙腿以幫忙灰塵掉落。5：風嘴方向正常應為向下吹氣，勿隨意撥弄風嘴方向。四、潔淨室危害預防：(一)、化學品對人體的危害：1：在實驗室中，嚴禁抓頭、抹臉或搓手，手套若有破損應即換新。2：使用配置各類液體時，需配戴安全眼鏡，並請於抽氣櫃中進行，儘量減少人員吸入揮發性液體。3：遭化學品噴濺時，應依各化學品特性，進行大量沖水、清洗…等適當急救。(二)、預防汙染樣品：1：嚴禁在設備上書寫及刻劃。2：在潔淨室中使用專用紙筆。3：勿用手觸及晶片，勿對晶片呼氣、咳嗽及說話。4：使用氮氣槍時，必須低於工作桌之桌面，以免灰塵汙染晶片。5：勿觸動別人的儀器、樣品，勿任意扳動任何開關。(三)、其他：1：避免在儀器上使用膠帶黏貼紙張。2：為避免危險，有機溶劑不得與一般酸鹼或強氧化劑一同放置儲存。3：實驗上有特殊要求，須