扩散操作规程讲解课件

扩散操作屏作扩散操作屏作1磷扩散工艺过程清洗扩散饱和关源,退舟回温装片卸片送片方块电阻测量磷扩散工艺过程2清洗■初次扩散前,扩散炉石英管首先连接TCA装置,当炉温升至设定温度,以设定流量通TCA6h清洗石英管。做ICA前先要确认管路的正确清洗开始时,若在手动状态下要先开O再开TCA;清洗结束后,先关TCA,再关清洗结束后,进行饱和,待扩散清洗3饱和每班生产前或长时间不生产时,须对石英管进行饱和。炉温升至设定温度时,以设定流量通小N(携源)和O2,使石英管饱和,约60分钟后,关闭小N和O2。初次扩散前或停产一段时间以后恢复生产时,需使石英管在1050℃通CA2小时后通源饱和1小时以上。(2+1)饱和4装片戴好防护口罩和干净的乳胶手套,将清洗甩干的硅片从传递窗口取出,放在净化装片台上用石英吸笔依次将硅片从硅片盒中取出,插入石英舟。每一槽装2片,若发现硅片表面脏将干净的面做扩散面装片5送片用舟叉将装满硅片的石英舟放在碳化硅臂浆上,保证平稳,缓缓推入扩散炉注意不要把扩散和钝化的石英制品混用送片6回温打开适当的工艺号进行扩散,石英浆暴露在空气中的时间尽量短。回温7扩散注意监视屏幕上的气体流量图,发现异常第时间通知相关人员处理扩散8关源,退舟■扩散结束后,计算机自动关闭小N2和O2,将石英舟缓缓退至炉口,降温以后,用舟叉从臂桨上取下石英舟。并立即放上新的石英舟,进行下一轮扩散如没有待扩散的硅片,将臂浆推入扩散炉尽量缩短臂桨暴露在暴露在空气中的时间。关源,退舟9卸片等待硅片冷却后,用石英吸笔均匀的取5片进行方块电阻的测试■将合格的硅片从石英舟上卸下并放置在硅片盒中,放入传递窗将返工的硅片单独放置下班后一起交清洗间处理.卸片10扩散操作规程讲解课件11扩散操作规程讲解课件12扩散操作规程讲解课件13扩散操作规程讲解课件14扩散操作规程讲解课件15扩散操作规程讲解课件16扩散操作规程讲解课件17扩散操作规程讲解课件18扩散操作规程讲解课件19扩散操作规程讲解课件20扩散操作规程讲解课件21扩散操作规程讲解课件22扩散操作规程讲解课件23扩散操作规程讲解课件24扩散操作规程讲解课件25扩散操作规程讲解课件26扩散操作规程讲解课件27扩散操作规程讲解课件28扩散操作规程讲解课件29扩散操作规程讲解课件30扩散操作规程讲解课件31扩散操作规程讲解课件32扩散操作规程讲解课件33扩散操作规程讲解课件34扩散操作规程讲解课件35扩散操作规程讲解课件36扩散操作规程讲解课件37扩散操作规程讲解课件38扩散操作规程讲解课件39扩散操作规程讲解课件40扩散操作规程讲解课件41扩散操作规程讲解课件42扩散操作规程讲解课件43扩散操作屏作扩散操作屏作44磷扩散工艺过程清洗扩散饱和关源,退舟回温装片卸片送片方块电阻测量磷扩散工艺过程45清洗■初次扩散前,扩散炉石英管首先连接TCA装置,当炉温升至设定温度,以设定流量通TCA6h清洗石英管。做ICA前先要确认管路的正确清洗开始时,若在手动状态下要先开O再开TCA;清洗结束后,先关TCA,再关清洗结束后,进行饱和,待扩散清洗46饱和每班生产前或长时间不生产时,须对石英管进行饱和。炉温升至设定温度时,以设定流量通小N(携源)和O2,使石英管饱和,约60分钟后,关闭小N和O2。初次扩散前或停产一段时间以后恢复生产时,需使石英管在1050℃通CA2小时后通源饱和1小时以上。(2+1)饱和47装片戴好防护口罩和干净的乳胶手套,将清洗甩干的硅片从传递窗口取出,放在净化装片台上用石英吸笔依次将硅片从硅片盒中取出,插入石英舟。每一槽装2片,若发现硅片表面脏将干净的面做扩散面装片48送片用舟叉将装满硅片的石英舟放在碳化硅臂浆上,保证平稳,缓缓推入扩散炉注意不要把扩散和钝化的石英制品混用送片49回温打开适当的工艺号进行扩散,石英浆暴露在空气中的时间尽量短。回温50扩散注意监视屏幕上的气体流量图,发现异常第时间通知相关人员处理扩散51关源,退舟■扩散结束后,计算机自动关闭小N2和O2,将石英舟缓缓退至炉口,降温以后,用舟叉从臂桨上取下石英舟。并立即放上新的石英舟,进行下一轮扩散如没有待扩散的硅片,将臂浆推入扩散炉尽量缩短臂桨暴露在暴露在空气中的时间。关源,退舟52卸片等待硅片冷却后,用石英吸笔均匀的取5片进行方块电阻的测试■将合格的硅片从石英舟上卸下并放置在硅片盒中,放入传递窗将返工的硅片单独放置下班后一起交清洗间处理.卸片53扩散操作规程讲解课件54扩散操作规程讲解课件55扩散操作规程讲解课件56扩散操作规程讲解课件57扩散操作规程讲解课件58扩散操作规程讲解课件59扩散操作规程讲解课件60扩散操作规程讲解课件61扩散操作规程讲解课件62扩散操作规程讲解课件63扩散操作规程讲解课件64扩散操作规程讲解课件65扩散操作规程讲解课件66扩散操作规程讲解课件67扩散操作规程讲解课件68扩散操作规程讲解课件69扩散操作规程讲解课件70扩散操作规程讲解课件71扩散操作规程讲解课件72扩散操作规程讲解课件73扩散操作规程讲解课件74扩散操作规程讲解课件75扩散操作规程讲解课件76扩散操作规程讲解课件77