电子元件失效分析技术课件

电子元件失效分析技术聪明出于勤奋，天才在于积累电子元件失效分析技术电子元件失效分析技术聪明出于勤奋，天才在于积累电子元器件失效分析技术令1.1、失效分析的基本概念1.2、失效分析的重要意义1.3、失效分析的一般程序÷1.4、收集失效现场数据÷1.5、以失效分析为目的的电测技术÷1.6、无损失效分析技术1.7、样品制备技术1.8、显微形貌像技术19、以测量电压效应为基础的失效定位技术1.10、以测量电流效应为基础的失效定位技术÷1.11、电子元器件化学成份分析技术1.1失效分析的基本概念令目的:确定失效模式和失效机理,提出纠正措施,防止这种失效模式和失效机理重复出现令失效模式:指观察到的失效现象、失效形式,如开路、短路、参数漂移、功能失效等。令失效机理:指失效的物理化学过程,如疲劳、腐蚀和过应力等农村初三下学期学生的学习进入了关键时期，学生成绩差距较大，教学任务非常艰巨。因此，要完成初三中考复习的教学任务，必须紧扣教学大纲，结合教学内容和学生实际，把握好重点、难点。如何提高数学复习的效率，是每位毕业班数学教师必须面对的问题。以下就结合农村初三学生数学的实际情况，谈几点个人的小做法。一、把握中考方向，重点夯实学生的基础研究中考指导书，要梳理清楚知识点，把握准各个章节的了解、理解、掌握、灵活和综合运用四个层次。要关注中考指导的有关变化，内容方面有课题学习和数学活动经验；考查要求方面有运算能力、代数推理、提出问题的能力、开放性、探究性。结合中考指导书研究每个知识点市中考的考查要求，根据要求选题，要把握好题目的难度，控制好复习的深度。要研究评价示例的导向，研究课程目标考查的内容要求、中考评价的趋势。二、分析学情采取切合实际有计划地进行复习培养学生学习数学的兴趣，特别要关心数学学习困难的学生，制定分层教学目标，激发学习热情和潜能，使学生积极参与到数学学习活动中。（1）要认真分析近年区、校中考中存在的学生答题问题及相关教学问题，要将区、校的薄弱环节及存在的问题记熟于心，并落实到复习的计划、讲义的编制与平时的课堂教学之中。（2）要对整个中考复习过程作整体安排，计划要安排到每一课时（包括每课时基础训练题与作业题选择与编制），安排要具体到日。（3）一轮复习的教学用时，备课，辅导安排，练习、测试的编制与安排。每周安排周练，安排单元过关测试。特别是遇到一些比较难的章节或者是知识点，需要教师灵活地增加一些课时和增加一些复习的时间还有题目的精选。三、课堂中注重对重点题型解题策略的讲解和应用（1）引导学生学会审题。采用“读读、想想、画画、做做”读题方式，就是当一个数学问题抛出来后，可以先让学生读一句或一段，然后根据这句话联想会有哪些结论，接下来再让学生读下一句或下一段，在这一句中又能联想到哪些结论，再让他们前后联系思考（有时需要学生画画），这样下去，就能引导学生积极思考题目中的每一句话，每一个信息，并能把综合性的问题逐步分解，逐步解决。（2）规范学生的书写表达。示范与比较是提升表达规范的重要途径，教师要做好：①应用知识的规范；②语言的规范；③板书的规范。教学过程中，教师要通过暴露学生的做法、比较学生的做法规范学生的表达，确保中考不因书写表达不规范而失分。（3）例题教学中，要在教师的主导下充分发挥学生的主体作用。例习题的解决要让所有学生都能亲历亲为，提出各自解决问题的策略，并引导学生在与他人的交流中选择适合的策略，丰富数学解题的经验。发挥例题的功能，让学生经历思考、解决问题的全过程。解题前慢审题，解题后多反思是提高解题效益的重要手段。（4）课内要针对学生课堂复习的真实情况及时进行训练与反馈、补偿，这些环节要在课堂中进一步加强。很多学生的学习更多地在课堂中抓好反馈和补偿效果明显比下课后好得多。四、掌握学生的学习练习状态，对典型错题要进行多反馈和归纳教师要在做题、选题、讲题、编题诸方面多下功夫，特别要提高讲题的水平。要引导学生自主审题，讲清拿到题后是如何想的，有些什么可能的思路，尝试求解找到解法。在学生思考求解的过程中，要充分展示学生的不同解法及在思维、运算上的错误，引导学生对不同的方法进行比较、优化。题后教师要用简洁的语言对题目代表的一类问题的解法规律、注意点等进行概括性总结提炼。重视学生的做题反馈，以一种题型，或者是学生的错题进行拓展和加强学生的巩固。学生是教学主体，教师要通过课堂观察、作业检查、考试成绩、个别交流等多种形式了解学生学习情况，培养学生学习数学的兴趣，特别要关心数学学习困难的学生，制定分层教学目标，制定符合学生实际的练习题和考试卷。激发学习热情和潜能，使学生积极参与到数学学习活动中。复习课中教师要多些提炼归纳，增加学生参与。复习以演绎的方式进行，虽然知识容量大，教学效率高，教师也易于控制教学过程，完成教学后教师自有评价，但这类课，学生参与度低，不能自主，缺少创新，也缺少问题暴露和思维交流，对提高数学解决问题的能力存在瓶颈，需要在复习教学中引入些“归纳”的课，给学生面对问题运用知识，调整方法的机会，给学生以思维成果交流的机会，这有助于培养解决数学问题的能力。总之，复习阶段要通过各种形式多样的教学方式，适当进行测试和练习增强学生学习的自信心，发挥考试的激励功能，调动学生的学习积极性，关注学生学习过程中成绩变化情况。同时教师要及时调整好学生在复习中暴露出来的各种消极因素。老师课堂的高效复习就是要求教师把握中考方向与要求，认真地了解学情并以学定教，应用合理安排精心设计的练习，对学生进行有效指导与管理，以达到提高复习阶段的效率。【在高中教学中，每一年都会有一些关于教学方面的改革，特别是针对语文教学的改革逐年增多，从对历年的高考试题中不难看出现代文阅读已经慢慢的渗入了语文学习中，每年的高考试题都会有一段现代文阅读，有一段三四百字的文章，文章涉及的方面很广，让人摸不着头脑，由于文章命题的理论部了解，就使学生对文章有一定的发蒙的感觉，这样这段现代文阅读就成了丢分点，五个选择题，共十分。一般的学生都不会得分，所以这就成了语文丢分点。一、高中语文现代文阅读教学的现状1.高中现代文阅读发展状况。随着现代文阅读在高考中考察能力不断凸显，引起了广大语文老师的重视，在这种情况下，就使高中语文教学发生了改变，以往的语文教学就是书本，老师讲学生记，考试的时候只注重书本的知识，更不注重学生的素质培养，而现在的语文考试已经打破了以往的考试方式，注重的学生的应用能力和素质培养。这一方面高中语文现代文阅读就成了素质培养的一个重点，随着广大授课教师的不断改进授课方式，一定能慢慢解决现代文阅读丢分率高的这种状况。2.高中语文现代文阅读学生误区。第一点，学生总是凭借自己的主观意识审题，造成审题的意思不能准确把握，答非所问。这种情况是很容易出现的，答题的原则是回归原文，从文本中来，到文本中去，不能主观臆断。另外要认真审题，不能犯低级错误。要弄清有些题目问的是怎样写，还是问为什么要这样写，题目主要问的是导致这一结果的原因还是要求推导出事情的必然结果，回答的方向是不一样。因此要认真的读题目的题干，这样就能明确解答的内容。第二点，有些学生在读题的时候总是只看到了题目的表面，题目的内涵还没有看清楚就答题造成之只回答出了表面的意思，深层次的意思没有回答到，这样得分点就低了。所以学生在答题的时候要把握文章的主要内容，整体把握作者的思路。不能只关注文章的某一个语句，要整体把握思路，进行前后对照分析，有的时候还需要学生对文章的背景有一定的了解，这样才能保证把握到全文。第三点，学生在做现代文阅读的时候总是会丢三落四，这样就不能把握住文章的主题，每个题目的答题方向其实不止一个，要坚持对文章字字理解的习惯，一般的主观性试题都具有一定的突出特点就是容量特别大、概括性很强、内容非常丰富、知识点很复杂，每个知识点之间联系都很紧密，因此，答题要灵活、全面。当题目要求回答文章中某一内容的作用或好处时就应该从三方面考虑：内容方面，如深化主题方面、强调感情方面等；答题结构方面要求文字要能够过渡、前后呼应（照应），语言要生动活泼，有一定的吸引力等。第四点，一般的学生在回答问题的时候总会照抄原文的一些文字，自己不能概括，反复的重复一些话，不能综合的说明问题，这样就造成了阅卷老师有一种厌倦感。这就要求学生在答题组织答案的时候首先要在原文中找出相关段落或相关句子，例如文章每段中心句、每段关键句、承接上文过渡句、发表议论感叹句、议论句等，尤其要关注文中段首的中心句、段末的总结句和段中的过渡句。但并不是意味着直接摘抄就可以，要根据题目要求进行总结或摘取词语，或提取句子主干，或抽取文章的要点，或重新组织成连贯的语句来答题。有时要以文章中的词或句为基础自己进行改变，有时要求综观全文，从各段中提取相关信息自己总结。总之，在高中现代文阅读教学中要注重综合能力的培养，现代文阅读的范围很广，要鼓励学生多读一些课外的刊物，在读刊物的同时学会思考文章的主题，另外在现代文阅读教学中选取先进的教学方法，老师要设计出良好的教学过程，增加教学活力，既注意教学目标的层次性.突出训练的重点，培养现代文阅读能是高中现代文阅读教学的一个重点。电子元件失效分析技术聪明出于勤奋，天才在于积累电子元件失效分1电子元器件失效分析技术令1.1、失效分析的基本概念1.2、失效分析的重要意义1.3、失效分析的一般程序÷1.4、收集失效现场数据÷1.5、以失效分析为目的的电测技术÷1.6、无损失效分析技术1.7、样品制备技术1.8、显微形貌像技术19、以测量电压效应为基础的失效定位技术1.10、以测量电流效应为基础的失效定位技术÷1.11、电子元器件化学成份分析技术电子元器件失效分析技术21.1失效分析的基本概念令目的:确定失效模式和失效机理,提出纠正措施,防止这种失效模式和失效机理重复出现令失效模式:指观察到的失效现象、失效形式,如开路、短路、参数漂移、功能失效等。令失效机理:指失效的物理化学过程,如疲劳、腐蚀和过应力等1.1失效分析的基本概念3引起开路失效的主要原因今过电损伤、静电击穿(SEM、图示仪)、金属电迁移、金属的化学腐蚀、压焊点脱落、闩锁效应。其中淀积A时提高硅片的温度可以提高A原子的晶块体积,可以改善电迁移。引起开路失效的主要原因4典型的闩锁效应电源对地的|一V曲线典型的闩锁效应电源对地的|一V曲线5引起漏电和短路失效的主要原因:φ颗粒引发短路、介质击穿、PN结微等离子击穿、Si一A互溶AI穿钉引起漏电和短路失效的主要原因:6正常PN结反向曲线微等离子击穿PN结反向曲线V正常PN结反向曲线7引起参数漂移的主要原因:今封装内水汽凝结、介质的离子粘污、欧姆接触退化、金属电迁移、辐射损伤令例Pad点处无钝化层,有水汽的话,会导致短路,水汽蒸发后又恢复绝缘性,表现为工作时参数不稳定。引起参数漂移的主要原因:8令失效物理模型:1、应力一强度模型(适于瞬间失效)失效原因:应力>强度例如:过电应力(EOS)、静电放电(ESD)、闩锁(Latchup)等。φ2、应力一时间模型(适于缓慢退化)令失效原因:应力的时间积累效应,特性变化超差。令例如:金属电迁移、腐蚀、热疲蒡等。令失效物理模型:93、温度应力一时间模型反应速度符合下面的规律dMAe分(M是温度敏感参数,E是与失效机理有关的激活能)积分MA右*十度法则:从室温开始,每提高10度,寿命减半)3、温度应力一时间模型10产品平均寿命的估算dL×CdtL=AeEBlnL=B+二kT产品平均寿命的估算11电子元件失效分析技术课件12电子元件失效分析技术课件13电子元件失效分析技术课件14电子元件失效分析技术课件15电子元件失效分析技术课件16电子元件失效分析技术课件17电子元件失效分析技术课件18电子元件失效分析技术课件19电子元件失效分析技术课件20电子元件失效分析技术课件21电子元件失效分析技术课件22电子元件失效分析技术课件23电子元件失效分析技术课件24电子元件失效分析技术课件25电子元件失效分析技术课件26电子元件失效分析技术课件27电子元件失效分析技术课件28电子元件失效分析技术课件29电子元件失效分析技术课件30电子元件失效分析技术课件31电子元件失效分析技术课件32电子元件失效分析技术课件33电子元件失效分析技术课件34电子元件失效分析技术课件35电子元件失效分析技术课件36电子元件失效分析技术课件37电子元件失效分析技术课件38电子元件失效分析技术课件39电子元件失效分析技术课件40电子元件失效分析技术课件41电子元件失效分析技术课件42电子元件失效分析技术课件43电子元件失效分析技术课件44电子元件失效分析技术课件45电子元件失效分析技术课件46电子元件失效分析技术课件47电子元件失效分析技术课件48电子元件失效分析技术课件49电子元件失效分析技术课件50电子元件失效分析技术课件51电子元件失效分析技术课件52电子元件失效分析技术课件53电子元件失效分析技术课件54电子元件失效分析技术课件55电子元件失效分析技术课件56电子元件失效分析技术课件57电子元件失效分析技术课件58电子元件失效分析技术课件59电子元件失效分析技术课件60电子元件失效分析技术课件61电子元件失效分析技术课件62电子元件失效分析技术课件63电子元件失效分析技术课件64电子元件失效分析技术课件65电子元件失效分析技术课件66电子元件失效分析技术课件67电子元件失效分析技术课件68电子元件失效分析技术课件69电子元件失效分析技术课件70电子元件失效分析技术课件71电子元件失效分析技术课件72电子元件失效分析技术课件73电子元件失效分析技术课件74电子元件失效分析技术课件75电子元件失效分析技术课件76电子元件失效分析技术课件77电子元件失效分析技术课件78电子元件失效分析技术课件79电子元件失效分析技术课件80电子元件失效分析技术课件81电子元件失效分析技术课件82电子元件失效分析技术课件83电子元件失效分析技术课件84电子元件失效分析技术课件85电子元件失效分析技术课件86电子元件失效分析技术课件87电子元件失效分析技术课件88电子元件失效分析技术课件89电子元件失效分析技术课件90电子元件失效分析技术课件91电子元件失效分析技术课件92电子元件失效分析技术课件93电子元件失效分析技术课件94电子元件失效分析技术课件95END16、业余生活要有意义，不要越轨。——华盛顿

17、一个人即使已登上顶峰，也仍要自强不息。——罗素·贝克

18、最大的挑战和突破在于用人，而用人最大的突破在于信任人。——马云

19、自己活着，就是为了使别人过得更美好。——雷锋

20、要掌握书，莫被书掌握；要为生而读，莫为读而生。——布尔沃END16、业余生活要有意义，不要越轨。——华盛顿96电子元件失效分析技术聪明出于勤奋，天才在于积累电子元件失效分析技术电子元件失效分析技术聪明出于勤奋，天才在于积累电子元器件失效分析技术令1.1、失效分析的基本概念1.2、失效分析的重要意义1.3、失效分析的一般程序÷1.4、收集失效现场数据÷1.5、以失效分析为目的的电测技术÷1.6、无损失效分析技术1.7、样品制备技术1.8、显微形貌像技术19、以测量电压效应为基础的失效定位技术1.10、以测量电流效应为基础的失效定位技术÷1.11、电子元器件化学成份分析技术1.1失效分析的基本概念令目的:确定失效模式和失效机理,提出纠正措施,防止这种失效模式和失效机理重复出现令失效模式:指观察到的失效现象、失效形式,如开路、短路、参数漂移、功能失效等。令失效机理:指失效的物理化学过程,如疲劳、腐蚀和过应力等农村初三下学期学生的学习进入了关键时期，学生成绩差距较大，教学任务非常艰巨。因此，要完成初三中考复习的教学任务，必须紧扣教学大纲，结合教学内容和学生实际，把握好重点、难点。如何提高数学复习的效率，是每位毕业班数学教师必须面对的问题。以下就结合农村初三学生数学的实际情况，谈几点个人的小做法。一、把握中考方向，重点夯实学生的基础研究中考指导书，要梳理清楚知识点，把握准各个章节的了解、理解、掌握、灵活和综合运用四个层次。要关注中考指导的有关变化，内容方面有课题学习和数学活动经验；考查要求方面有运算能力、代数推理、提出问题的能力、开放性、探究性。结合中考指导书研究每个知识点市中考的考查要求，根据要求选题，要把握好题目的难度，控制好复习的深度。要研究评价示例的导向，研究课程目标考查的内容要求、中考评价的趋势。二、分析学情采取切合实际有计划地进行复习培养学生学习数学的兴趣，特别要关心数学学习困难的学生，制定分层教学目标，激发学习热情和潜能，使学生积极参与到数学学习活动中。（1）要认真分析近年区、校中考中存在的学生答题问题及相关教学问题，要将区、校的薄弱环节及存在的问题记熟于心，并落实到复习的计划、讲义的编制与平时的课堂教学之中。（2）要对整个中考复习过程作整体安排，计划要安排到每一课时（包括每课时基础训练题与作业题选择与编制），安排要具体到日。（3）一轮复习的教学用时，备课，辅导安排，练习、测试的编制与安排。每周安排周练，安排单元过关测试。特别是遇到一些比较难的章节或者是知识点，需要教师灵活地增加一些课时和增加一些复习的时间还有题目的精选。三、课堂中注重对重点题型解题策略的讲解和应用（1）引导学生学会审题。采用“读读、想想、画画、做做”读题方式，就是当一个数学问题抛出来后，可以先让学生读一句或一段，然后根据这句话联想会有哪些结论，接下来再让学生读下一句或下一段，在这一句中又能联想到哪些结论，再让他们前后联系思考（有时需要学生画画），这样下去，就能引导学生积极思考题目中的每一句话，每一个信息，并能把综合性的问题逐步分解，逐步解决。（2）规范学生的书写表达。示范与比较是提升表达规范的重要途径，教师要做好：①应用知识的规范；②语言的规范；③板书的规范。教学过程中，教师要通过暴露学生的做法、比较学生的做法规范学生的表达，确保中考不因书写表达不规范而失分。（3）例题教学中，要在教师的主导下充分发挥学生的主体作用。例习题的解决要让所有学生都能亲历亲为，提出各自解决问题的策略，并引导学生在与他人的交流中选择适合的策略，丰富数学解题的经验。发挥例题的功能，让学生经历思考、解决问题的全过程。解题前慢审题，解题后多反思是提高解题效益的重要手段。（4）课内要针对学生课堂复习的真实情况及时进行训练与反馈、补偿，这些环节要在课堂中进一步加强。很多学生的学习更多地在课堂中抓好反馈和补偿效果明显比下课后好得多。四、掌握学生的学习练习状态，对典型错题要进行多反馈和归纳教师要在做题、选题、讲题、编题诸方面多下功夫，特别要提高讲题的水平。要引导学生自主审题，讲清拿到题后是如何想的，有些什么可能的思路，尝试求解找到解法。在学生思考求解的过程中，要充分展示学生的不同解法及在思维、运算上的错误，引导学生对不同的方法进行比较、优化。题后教师要用简洁的语言对题目代表的一类问题的解法规律、注意点等进行概括性总结提炼。重视学生的做题反馈，以一种题型，或者是学生的错题进行拓展和加强学生的巩固。学生是教学主体，教师要通过课堂观察、作业检查、考试成绩、个别交流等多种形式了解学生学习情况，培养学生学习数学的兴趣，特别要关心数学学习困难的学生，制定分层教学目标，制定符合学生实际的练习题和考试卷。激发学习热情和潜能，使学生积极参与到数学学习活动中。复习课中教师要多些提炼归纳，增加学生参与。复习以演绎的方式进行，虽然知识容量大，教学效率高，教师也易于控制教学过程，完成教学后教师自有评价，但这类课，学生参与度低，不能自主，缺少创新，也缺少问题暴露和思维交流，对提高数学解决问题的能力存在瓶颈，需要在复习教学中引入些“归纳”的课，给学生面对问题运用知识，调整方法的机会，给学生以思维成果交流的机会，这有助于培养解决数学问题的能力。总之，复习阶段要通过各种形式多样的教学方式，适当进行测试和练习增强学生学习的自信心，发挥考试的激励功能，调动学生的学习积极性，关注学生学习过程中成绩变化情况。同时教师要及时调整好学生在复习中暴露出来的各种消极因素。老师课堂的高效复习就是要求教师把握中考方向与要求，认真地了解学情并以学定教，应用合理安排精心设计的练习，对学生进行有效指导与管理，以达到提高复习阶段的效率。【在高中教学中，每一年都会有一些关于教学方面的改革，特别是针对语文教学的改革逐年增多，从对历年的高考试题中不难看出现代文阅读已经慢慢的渗入了语文学习中，每年的高考试题都会有一段现代文阅读，有一段三四百字的文章，文章涉及的方面很广，让人摸不着头脑，由于文章命题的理论部了解，就使学生对文章有一定的发蒙的感觉，这样这段现代文阅读就成了丢分点，五个选择题，共十分。一般的学生都不会得分，所以这就成了语文丢分点。一、高中语文现代文阅读教学的现状1.高中现代文阅读发展状况。随着现代文阅读在高考中考察能力不断凸显，引起了广大语文老师的重视，在这种情况下，就使高中语文教学发生了改变，以往的语文教学就是书本，老师讲学生记，考试的时候只注重书本的知识，更不注重学生的素质培养，而现在的语文考试已经打破了以往的考试方式，注重的学生的应用能力和素质培养。这一方面高中语文现代文阅读就成了素质培养的一个重点，随着广大授课教师的不断改进授课方式，一定能慢慢解决现代文阅读丢分率高的这种状况。2.高中语文现代文阅读学生误区。第一点，学生总是凭借自己的主观意识审题，造成审题的意思不能准确把握，答非所问。这种情况是很容易出现的，答题的原则是回归原文，从文本中来，到文本中去，不能主观臆断。另外要认真审题，不能犯低级错误。要弄清有些题目问的是怎样写，还是问为什么要这样写，题目主要问的是导致这一结果的原因还是要求推导出事情的必然结果，回答的方向是不一样。因此要认真的读题目的题干，这样就能明确解答的内容。第二点，有些学生在读题的时候总是只看到了题目的表面，题目的内涵还没有看清楚就答题造成之只回答出了表面的意思，深层次的意思没有回答到，这样得分点就低了。所以学生在答题的时候要把握文章的主要内容，整体把握作者的思路。不能只关注文章的某一个语句，要整体把握思路，进行前后对照分析，有的时候还需要学生对文章的背景有一定的了解，这样才能保证把握到全文。第三点，学生在做现代文阅读的时候总是会丢三落四，这样就不能把握住文章的主题，每个题目的答题方向其实不止一个，要坚持对文章字字理解的习惯，一般的主观性试题都具有一定的突出特点就是容量特别大、概括性很强、内容非常丰富、知识点很复杂，每个知识点之间联系都很紧密，因此，答题要灵活、全面。当题目要求回答文章中某一内容的作用或好处时就应该从三方面考虑：内容方面，如深化主题方面、强调感情方面等；答题结构方面要求文字要能够过渡、前后呼应（照应），语言要生动活泼，有一定的吸引力等。第四点，一般的学生在回答问题的时候总会照抄原文的一些文字，自己不能概括，反复的重复一些话，不能综合的说明问题，这样就造成了阅卷老师有一种厌倦感。这就要求学生在答题组织答案的时候首先要在原文中找出相关段落或相关句子，例如文章每段中心句、每段关键句、承接上文过渡句、发表议论感叹句、议论句等，尤其要关注文中段首的中心句、段末的总结句和段中的过渡句。但并不是意味着直接摘抄就可以，要根据题目要求进行总结或摘取词语，或提取句子主干，或抽取文章的要点，或重新组织成连贯的语句来答题。有时要以文章中的词或句为基础自己进行改变，有时要求综观全文，从各段中提取相关信息自己总结。总之，在高中现代文阅读教学中要注重综合能力的培养，现代文阅读的范围很广，要鼓励学生多读一些课外的刊物，在读刊物的同时学会思考文章的主题，另外在现代文阅读教学中选取先进的教学方法，老师要设计出良好的教学过程，增加教学活力，既注意教学目标的层次性.突出训练的重点，培养现代文阅读能是高中现代文阅读教学的一个重点。电子元件失效分析技术聪明出于勤奋，天才在于积累电子元件失效分97电子元器件失效分析技术令1.1、失效分析的基本概念1.2、失效分析的重要意义1.3、失效分析的一般程序÷1.4、收集失效现场数据÷1.5、以失效分析为目的的电测技术÷1.6、无损失效分析技术1.7、样品制备技术1.8、显微形貌像技术19、以测量电压效应为基础的失效定位技术1.10、以测量电流效应为基础的失效定位技术÷1.11、电子元器件化学成份分析技术电子元器件失效分析技术981.1失效分析的基本概念令目的:确定失效模式和失效机理,提出纠正措施,防止这种失效模式和失效机理重复出现令失效模式:指观察到的失效现象、失效形式,如开路、短路、参数漂移、功能失效等。令失效机理:指失效的物理化学过程,如疲劳、腐蚀和过应力等1.1失效分析的基本概念99引起开路失效的主要原因今过电损伤、静电击穿(SEM、图示仪)、金属电迁移、金属的化学腐蚀、压焊点脱落、闩锁效应。其中淀积A时提高硅片的温度可以提高A原子的晶块体积,可以改善电迁移。引起开路失效的主要原因100典型的闩锁效应电源对地的|一V曲线典型的闩锁效应电源对地的|一V曲线101引起漏电和短路失效的主要原因:φ颗粒引发短路、介质击穿、PN结微等离子击穿、Si一A互溶AI穿钉引起漏电和短路失效的主要原因:102正常PN结反向曲线微等离子击穿PN结反向曲线V正常PN结反向曲线103引起参数漂移的主要原因:今封装内水汽凝结、介质的离子粘污、欧姆接触退化、金属电迁移、辐射损伤令例Pad点处无钝化层,有水汽的话,会导致短路,水汽蒸发后又恢复绝缘性,表现为工作时参数不稳定。引起参数漂移的主要原因:104令失效物理模型:1、应力一强度模型(适于瞬间失效)失效原因:应力>强度例如:过电应力(EOS)、静电放电(ESD)、闩锁(Latchup)等。φ2、应力一时间模型(适于缓慢退化)令失效原因:应力的时间积累效应,特性变化超差。令例如:金属电迁移、腐蚀、热疲蒡等。令失效物理模型:1053、温度应力一时间模型反应速度符合下面的规律dMAe分(M是温度敏感参数,E是与失效机理有关的激活能)积分MA右*十度法则:从室温开始,每提高10度,寿命减半)3、温度应力一时间模型106产品平均寿命的估算dL×CdtL=AeEBlnL=B+二kT产品平均寿命的估算107电子元件失效分析技术课件108电子元件失效分析技术课件109电子元件失效分析技术课件110电子元件失效分析技术课件111电子元件失效分析技术课件112电子元件失效分析技术课件113电子元件失效分析技术课件114电子元件失效分析技术课件115电子元件失效分析技术课件116电子元件失效分析技术课件117电子元件失效分析技术课件118电子元件失效分析技术课件119电子元件失效分析技术课件120电子元件失效分析技术课件121电子元件失效分析技术课件122电子元件失效分析技术课件123电子元件失效分析技术课件124电子元件失效分析技术课件125电子元件失效分析技术课件126