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涡旋真空泵的设计、工艺的技术问题1、涡旋真空泵的构造设计

为了实现涡旋泵能够有效工作的目的，必须使涡旋型线在各个真空气腔良好啮合，从而克服由于真空腔压差大等复杂因素导致的涡旋壁受力情况恶化、热变形、排气腔一部分高压气体滞留和真空泵效率降低等。所以要保证涡旋型线之间的准确包容与啮合，控制工作介质的泄漏，到达抽气目的。这是涡旋泵构造设计的重要依据。2、涡旋真空泵的密封

作为一种干式真空泵，无油泵是能在大气压力至5Pa的压力范围内工作，创造无油清洁真空环境的真空泵。在泵的抽气流道中，无须使用任何油类和密封液体作为介质，依靠动、静涡旋盘相对转动形成吸气腔和压缩腔将被抽气体排出，连续完成吸气、压缩和排气过程。因此，如何防止泄漏解决密封的问题尤为突出。

涡旋泵的密封主要包括轴向啮合间隙的径向密封，即齿顶密封，和径向啮合间隙的切向密封，即齿侧密封。

图3齿顶密封件

齿顶密封采用顶部密封件来解决。动盘（转子）与静盘（定子）的齿顶面上开设渐开线螺旋槽。在螺旋槽内嵌入特种材料的密封条，密封条相对涡旋盘做圆周向滑动，由于是无油运转，要求密封件耐磨、耐高温、具有一定的蠕变性能，其材质、尺寸、位置对泵的成功长期运转是至关重要的。齿侧密封即气腔之间的密封和与大气隔绝的密封，通常齿侧密封被认为是决定涡旋泵抽气性能的主要因素之一，对于齿侧密封,常通过修正涡圈壁厚,选择最正确运行间隙,使泵在到达工作温度时啮合间隙最小,以此到达密封的目的，它也是保证泵的极限真空度的必要条件。由于动、静涡旋盘工作时会产生热变形，而且变形量不同，其最小转动间隙会随工况而变化,间隙过大，会导致极限真空度难以到达，间隙过小，涡旋盘之间会发生摩擦甚至咬合，导致温度急剧上升，破坏涡旋盘壁面，导致泵的咬死失效,所以间隙大小确实定对设计者是一个挑战。

图4齿侧间隙密封

齿顶密封和齿侧密封是涡旋泵性能的保证。尤其是对泵的极限真空具有决定性的作用。极限真空度的指标对涡旋泵的性能影响至关重要，对于涡旋泵来说是很难把握及到达的指标。主要是涡旋盘副的啮合间隙很难掌控，它是由涡旋盘的线形、材质、温升、表面处理等诸多因素构成的。它也是要求设计人员与工艺人员共同完成的关键工作。3、涡旋真空泵的工艺性

涡旋泵动盘和静盘的啮合是泵的技术核心，其材料要保证在高速相对运动条件下能够耐高温，耐磨损和自润滑，并且要有良好的加工性。涡旋盘副的加工精度和效率也是一个很重要的部分，要求用数控专用机床，一次装卡加工完成，保证线形和精度。由于涡旋盘副的特殊运动关系，材料要经过适当的表面处理，以到达耐高温，耐磨损和自润滑。

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