电池制造工艺 硅片的化学腐蚀

硅片的化学腐蚀为什么要进行化学腐蚀？硅片在切片和研磨等机械加工之后，其表面因加工应力形成一层损伤层及污染．对硅片进行化学腐蚀有哪些手段？酸性腐蚀碱性腐蚀酸性腐蚀的原理是什么？常用的酸性腐蚀液，通常由不同比率的硝酸（HNO3）,氢氟酸（HF）及缓冲液等组成，其腐蚀的机理为：1.利用硝酸（HNO3）氧化硅片表面

Si+2HNO3SiO2+2HNO22HNO2NO+NO2+H2O2.利用氢氟酸（HF）与氧化硅生成可溶于水的络合物．

SiO2+6HFH2SiF6+2H2OHF/HNO3体系化学品浓度与其腐蚀速率关系？若HF含量多，则腐蚀速率受氧化反应控制.氧化对硅片晶向，搀杂浓度和晶体缺陷较敏感若HNO3含量多，则腐蚀速率受反应生成物溶解速率的限制．溶解过程是一种扩散过程，会受到液体对流速度的影响．HF/HNO3体系腐蚀设计的原则？腐蚀速率的可控性．某种表面结构特殊工艺需求，如多晶绒面制作．寻求添加剂，使腐蚀速率更可控，可满足高产能的需求．HF/HNO3体系中的添加剂有什么作用？缓冲腐蚀速率改善表面湿化（Wetting）程度加速腐蚀速率目的可采用化学药品原因缓冲腐蚀速率水（H2O）,醋酸（CH3COOH）,磷酸（H3PO4）浓度稀释加速腐蚀速率亚硝酸钠（Na2NO2）,氟硅酸（H2SiF6）反应中间产物HF/HNO3体系的缓冲添加剂选择条件？在HF/HNO3中化学性质稳定在腐蚀过程中，不会与反应产物发生进一步反应可溶解在HF/HNO3之中可以湿化晶片表面不会产生化学泡沫碱性腐蚀的原理是什么？常用的碱性腐蚀化学药品为KOH或NaOH，其腐蚀的机理为：

Si+2KOH+H2OK2SiO3+2H2↑碱腐蚀速率影响因素？表面悬挂键密度，与晶向有关化学浓度温度表面机械损伤硅片在化学腐蚀后的表面特性？TTV（TotalThicknessVariation）TIR（TotalIndicatorReading）粗糙度（Roughness）反射度（Reflectivity）波度（Waviness）金属含量太阳能电池中中的硅片化学学腐蚀硅表面制绒和和边缘刻蚀为什么要制作作绒面？光在非垂直入入射至硅表面面，会发生反反射现象，为为了降低光反反射，增强光光吸收，需要要在硅表面形形成绒面．为什么降低反反射会增加光光的吸收因为需要满足足能量守恒定定律光反射＋光吸吸收＋光透射射＝光总能量量碱腐蚀在绒面面制作上的应应用？利用KOH或NaOH在腐蚀单晶硅硅片时在不同同晶向腐蚀速速率的差异性性不同晶向的刻刻蚀速率为<110>＞<100>＞<111>不同晶向腐蚀蚀速率的差异异（各向异性性腐蚀）与什什么有关？溶液浓度，有有关系，但关关系不大，因因为腐蚀过程程受表面过程程控制．温度,温度越低，腐腐蚀速率差异异越大添加剂，如异异丙醇IPA，通常用来减减缓刻蚀速率率酸腐蚀在绒面面制作上的应应用？利用HF/HNO3在较高化学浓浓度比时的缺缺陷腐蚀特性性，使损伤层层区域优先腐腐蚀，形成不不同于单晶金金字塔结构的的坑洞结构．．化学腐蚀在表表面抛光处理理上的应用什么是抛光？？抛光指形成完完全反射的表表面，即镜面面化学抛光的原原理？对硅片表面的的均匀刻蚀抛光化学药液液的配置通常可以使用用HF/HNO3或KOH溶液化学腐蚀在边边缘刻蚀上的的应用？通常使用HF/HNO3体系，利用其其各向同性腐腐蚀特性，可可以在特定设设备条件下完完成对硅片边边缘的腐蚀，，而不影响太太阳电池的工工艺结构．通常使用in-line式结构的设备备，利用表面面张力和毛细细作用力的作作用完成这一一过程．简单设备结构构与工艺说明明图示9、静夜夜四无无邻，，荒居居旧业业贫。。。12月月-2212月月-22Wednesday,December7,202210、雨中黄叶树树，灯下白头头人。。21:25:0521:25:0521:2512/7/20229:25:05PM11、以我独独沈久，，愧君相相见频。。。12月-2221:25:0521:25Dec-2207-Dec-2212、故人江海海别，几度度隔山川。。。21:25:0521:25:0521:25Wednesday,December7,202213、乍见翻疑疑梦，相悲悲各问年。。。12月-2212月-2221:25:0521:25:05December7,202214、他他乡乡生生白白发发，，旧旧国国见见青青山山。。。。07十十二二月月20229:25:05下下午午21:25:0512月月-2215、比不了了得就不不比，得得不到的的就不要要。。。十二月229:25下午午12月-2221:25December7,202216、行动出成成果，工作作出财富。。。2022/12/721:25:0521:25:0507December202217、做做前前，，能能够够环环视视四四周周；；做做时时，，你你只只能能或或者者最最好好沿沿着着以以脚脚为为起起点点的的射射线线向向前前。。。。9:25:05下下午午9:25下下午午21:25:0512月月-229、没有失败，，只有暂时停停止成功！。。12月-2212月-22Wednesday,December7,202210、很多多事情情努力力了未未必有有结果果，但但是不不努力力却什什么改改变也也没有有。。。21:25:0521:25:0521:2512/7/20229:25:05PM11、成功就是日日复一日那一一点点小小努努力的积累。。。12月-2221:25:0521:25Dec-2207-Dec-2212、世间成事，，不求其绝对对圆满，留一一份不足，可可得无限完美美。。21:25:0621:25:0621:25Wednesday,December7,202213、不知知香积积寺，，数里里入云云峰。。。12月月-2212月月-2221:25:0621:25:06December7,202214、意志志坚强强的人人能把把世界界放在在手中中像泥泥块一一样任任意揉揉捏。。07十十二二月20229:25:06下下午21:25:0612月月-2215、楚塞三三湘接，，荆门九九派通。。。。十二月229:25下午午12月-2221:25December7,202216、少年十五五二十时，，步行夺得得胡马骑。。。2022/12/721:25:0621:25:0607December202217、空空山山新新雨雨后后，，天天气气晚晚来来秋秋。。。。9:25:06下下午午9:25下下午午21:25:0612月月-229、杨柳散和风风，青山澹吾吾虑。。12月-2212月-22Wednesday,December7,202210、阅读读一切切好书书如同同和过过去最最杰出出的人人谈话话。21:25:0621:25:0621:2512/7/20229:25:06PM11、越是没有有本领的就就越加自命命不凡。12月-2221:25:0621:25Dec-2207-Dec-2212、越是无能的的人，越喜欢欢挑剔别人的的错儿。21:25:0621:25:0621:25Wednesday,December7,202213、知人者智智，自知者者明。胜人人者有力，，自胜者强强。12月月-2212月月-2221:25:0621:25:06December7,202214、意志坚坚强的人人能把世世界放在在手中像像泥块一一样任意意揉捏。。07十十二月20229:25:06下午午21:25:0612月-2215、最具具挑战战性的的挑战战莫过过于提提升自自我。。。十二月月229:25下下午午12月月-2221:25December7,202216、业余生生活要有有意义，，不要越越轨。2022/12/721:25:0621:25:0607December202217、一个人即即使已登上上顶峰，也也仍要自强强不息。9:25:06下下午9:25下下