日立SU8020扫描电镜应用培训课件

时间反复无常，鼓着翅膀飞逝日立SU8020扫描电镜应用培训时间反复无常，鼓着翅膀飞逝日立SU8020扫描电镜应用培训1日立八7HITACHI日立SU8020冷场发射扫描电镜基础原理和应用介绍天美(中国)科学仪器有限公司应用工程师:高敞2013年5月20日HitachiHigh-TechnologiesCorporation日立八72主要内容日立小、日立SU8020的工作原理二、且立SU8020的操作和应用1、SEM的结构1、样品制备2、SE和BSE信号2、扫描电镜最基本的操作3、分辨率及影响因素!3、参数选择;Vac,W,SED4、E×B技术4、荷电现象5、信号控制系统5、“污染”现象6、维护和保养6、样品损伤7、减速模式主要内容31.扫描电镜的结构日立小电子枪离子泵聚光器监视器电子束偏转增幅器偏转线圈偏转线圈物镜二次电子检测器样品室样品也增幅器二次电子真空泵1.扫描电镜的结构4LM,TEM和SEM日立小OpticalsourceElectricsourceElectricsourceCondenserLelSpecimenSpecimen00;/00objlense冈ObjLensScanning:SEDetectorSpecimensImagemagImagesCRTTEMSEMLM,TEM和SEM5SU8020的外观结构日立小BeammonitorpreamplifierElectrongunBeammonitorSecondaryObjectivemovableelectrondetectoraperturecoverSecondaryationelectrondetectortrapdewal(U-detector)SpecimenstageexchangedeviceEvacuationcontrolpanelSU8020的外观结构6电子枪的结构日立小●FE-SEM电子枪引出电源引出电源栅极保护层ZrO/W<10第1阳极第1阳极<310>单品发射体第2阳极FETip肖特基FE冷场FE阴极温度1800K室温能量范围1~0.7eV0.2eV左右电子源大小15-30m5m以下适合超高分辨亮度5x108A/cm's12x109A/cm-sr观察探针电流100nA以上2nA左右电子束稳定性无需闪烁需闪烁寿命1~2年3年以上电子枪的结构7电子的色差日立八分7热场冷场d=15~30nmd=5nmE=1~0.7eV△E=0.2eV亮度:5×108A/cm2「适合高分辨观家亮度:2×109Acm2探针电流:100nA以上适合大电流分析深针电流:2nA电子的色差82.SE和BSE信号日立小入射电子束内部信号深度随加速电压变化而变化特征X射线荷电影响小(元素信息)BSE背散射电子(凹凸/成份信息)面信号荷电影响大CL荧光SE二次电子(化学结合状态信息)俄歇电子(表层的元素信息10nm以内二次电子逸出深度)电子散射区域样品EBIC样品吸收电流入射电子束在样品中激发出的各种信号2.SE和BSE信号9SE和BSE的激发原理日立小入射电子背散射电子次电子(BackscatteredElectron)(SecondaryElectron)真空样品(金属)SE和BSE的激发原理10SE及BSB信号的产生日立小pRimaryBeamwokindsofSESEI-surfacefeaturesSE2-internalinformationBackscatteredSElmore=surfacefeaturesElectronSE2more=internalinformationSecondaryElectionsecondaryElectron(SEl)TheDepthofSEGeneration(<10nm)SecondaryElecSpecimenSE及BSB信号的产生11日立SU8020扫描电镜应用培训课件12日立SU8020扫描电镜应用培训课件13日立SU8020扫描电镜应用培训课件14日立SU8020扫描电镜应用培训课件15日立SU8020扫描电镜应用培训课件16日立SU8020扫描电镜应用培训课件17日立SU8020扫描电镜应用培训课件18日立SU8020扫描电镜应用培训课件19日立SU8020扫描电镜应用培训课件20日立SU8020扫描电镜应用培训课件21日立SU8020扫描电镜应用培训课件22日立SU8020扫描电镜应用培训课件23日立SU8020扫描电镜应用培训课件24日立SU8020扫描电镜应用培训课件25日立SU8020扫描电镜应用培训课件26日立SU8020扫描电镜应用培训课件27日立SU8020扫描电镜应用培训课件28日立SU8020扫描电镜应用培训课件29日立SU8020扫描电镜应用培训课件30日立SU8020扫描电镜应用培训课件31日立SU8020扫描电镜应用培训课件32日立SU8020扫描电镜应用培训课件33日立SU8020扫描电镜应用培训课件34日立SU8020扫描电镜应用培训课件35日立SU8020扫描电镜应用培训课件36日立SU8020扫描电镜应用培训课件37日立SU8020扫描电镜应用培训课件38日立SU8020扫描电镜应用培训课件39日立SU8020扫描电镜应用培训课件40日立SU8020扫描电镜应用培训课件41日立SU8020扫描电镜应用培训课件42日立SU8020扫描电镜应用培训课件43日立SU8020扫描电镜应用培训课件44日立SU8020扫描电镜应用培训课件45日立SU8020扫描电镜应用培训课件46日立SU8020扫描电镜应用培训课件47日立SU8020扫描电镜应用培训课件48日立SU8020扫描电镜应用培训课件49日立SU8020扫描电镜应用培训课件50日立SU8020扫描电镜应用培训课件51日立SU8020扫描电镜应用培训课件52日立SU8020扫描电镜应用培训课件53日立SU8020扫描电镜应用培训课件54日立SU8020扫描电镜应用培训课件55日立SU8020扫描电镜应用培训课件56日立SU8020扫描电镜应用培训课件57日立SU8020扫描电镜应用培训课件58日立SU8020扫描电镜应用培训课件59日立SU8020扫描电镜应用培训课件60日立SU8020扫描电镜应用培训课件61日立SU8020扫描电镜应用培训课件62日立SU8020扫描电镜应用培训课件63日立SU8020扫描电镜应用培训课件64日立SU8020扫描电镜应用培训课件65日立SU8020扫描电镜应用培训课件66日立SU8020扫描电镜应用培训课件67日立SU8020扫描电镜应用培训课件68日立SU8020扫描电镜应用培训课件69日立SU8020扫描电镜应用培训课件70日立SU8020扫描电镜应用培训课件71日立SU8020扫描电镜应用培训课件72日立SU8020扫描电镜应用培训课件73日立SU8020扫描电镜应用培训课件74日立SU8020扫描电镜应用培训课件75日立SU8020扫描电镜应用培训课件76日立SU8020扫描电镜应用培训课件77日立SU8020扫描电镜应用培训课件78日立SU8020扫描电镜应用培训课件79日立SU8020扫描电镜应用培训课件80日立SU8020扫描电镜应用培训课件81日立SU8020扫描电镜应用培训课件82日立SU8020扫描电镜应用培训课件8326、要使整个人生都过得舒适、愉快，这是不可能的，因为人类必须具备一种能应付逆境的态度。——卢梭

27、只有把抱怨环境的心情，化为上进的力量，才是成功的保证。——罗曼·罗兰

28、知之者不如好之者，好之者不如乐之者。——孔子

29、勇猛、大胆和坚定的决心能够抵得上武器的精良。——达·芬奇

30、意志是一个强壮的盲人，倚靠在明眼的跛子肩上。——叔本华谢谢！8426、要使整个人生都过得舒适、愉快，这是不可能的，因为人类必时间反复无常，鼓着翅膀飞逝日立SU8020扫描电镜应用培训时间反复无常，鼓着翅膀飞逝日立SU8020扫描电镜应用培训85日立八7HITACHI日立SU8020冷场发射扫描电镜基础原理和应用介绍天美(中国)科学仪器有限公司应用工程师:高敞2013年5月20日HitachiHigh-TechnologiesCorporation日立八786主要内容日立小、日立SU8020的工作原理二、且立SU8020的操作和应用1、SEM的结构1、样品制备2、SE和BSE信号2、扫描电镜最基本的操作3、分辨率及影响因素!3、参数选择;Vac,W,SED4、E×B技术4、荷电现象5、信号控制系统5、“污染”现象6、维护和保养6、样品损伤7、减速模式主要内容871.扫描电镜的结构日立小电子枪离子泵聚光器监视器电子束偏转增幅器偏转线圈偏转线圈物镜二次电子检测器样品室样品也增幅器二次电子真空泵1.扫描电镜的结构88LM,TEM和SEM日立小OpticalsourceElectricsourceElectricsourceCondenserLelSpecimenSpecimen00;/00objlense冈ObjLensScanning:SEDetectorSpecimensImagemagImagesCRTTEMSEMLM,TEM和SEM89SU8020的外观结构日立小BeammonitorpreamplifierElectrongunBeammonitorSecondaryObjectivemovableelectrondetectoraperturecoverSecondaryationelectrondetectortrapdewal(U-detector)SpecimenstageexchangedeviceEvacuationcontrolpanelSU8020的外观结构90电子枪的结构日立小●FE-SEM电子枪引出电源引出电源栅极保护层ZrO/W<10第1阳极第1阳极<310>单品发射体第2阳极FETip肖特基FE冷场FE阴极温度1800K室温能量范围1~0.7eV0.2eV左右电子源大小15-30m5m以下适合超高分辨亮度5x108A/cm's12x109A/cm-sr观察探针电流100nA以上2nA左右电子束稳定性无需闪烁需闪烁寿命1~2年3年以上电子枪的结构91电子的色差日立八分7热场冷场d=15~30nmd=5nmE=1~0.7eV△E=0.2eV亮度:5×108A/cm2「适合高分辨观家亮度:2×109Acm2探针电流:100nA以上适合大电流分析深针电流:2nA电子的色差922.SE和BSE信号日立小入射电子束内部信号深度随加速电压变化而变化特征X射线荷电影响小(元素信息)BSE背散射电子(凹凸/成份信息)面信号荷电影响大CL荧光SE二次电子(化学结合状态信息)俄歇电子(表层的元素信息10nm以内二次电子逸出深度)电子散射区域样品EBIC样品吸收电流入射电子束在样品中激发出的各种信号2.SE和BSE信号93SE和BSE的激发原理日立小入射电子背散射电子次电子(BackscatteredElectron)(SecondaryElectron)真空样品(金属)SE和BSE的激发原理94SE及BSB信号的产生日立小pRimaryBeamwokindsofSESEI-surfacefeaturesSE2-internalinformationBackscatteredSElmore=surfacefeaturesElectronSE2more=internalinformationSecondaryElectionsecondaryElectron(SEl)TheDepthofSEGeneration(<10nm)SecondaryElecSpecimenSE及BSB信号的产生95日立SU8020扫描电镜应用培训课件96日立SU8020扫描电镜应用培训课件97日立SU8020扫描电镜应用培训课件98日立SU8020扫描电镜应用培训课件99日立SU8020扫描电镜应用培训课件100日立SU8020扫描电镜应用培训课件101日立SU8020扫描电镜应用培训课件102日立SU8020扫描电镜应用培训课件103日立SU8020扫描电镜应用培训课件104日立SU8020扫描电镜应用培训课件105日立SU8020扫描电镜应用培训课件106日立SU8020扫描电镜应用培训课件107日立SU8020扫描电镜应用培训课件108日立SU8020扫描电镜应用培训课件109日立SU8020扫描电镜应用培训课件110日立SU8020扫描电镜应用培训课件111日立SU8020扫描电镜应用培训课件112日立SU8020扫描电镜应用培训课件113日立SU8020扫描电镜应用培训课件114日立SU8020扫描电镜应用培训课件115日立SU8020扫描电镜应用培训课件116日立SU8020扫描电镜应用培训课件117日立SU8020扫描电镜应用培训课件118日立SU8020扫描电镜应用培训课件119日立SU8020扫描电镜应用培训课件120日立SU8020扫描电镜应用培训课件121日立SU8020扫描电镜应用培训课件122日立SU8020扫描电镜应用培训课件123日立SU8020扫描电镜应用培训课件124日立SU8020扫描电镜应用培训课件125日立SU8020扫描电镜应用培训课件126日立SU8020扫描电镜应用培训课件127日立SU8020扫描电镜应用培训课件128日立SU8020扫描电镜应用培训课件129日立SU8020扫描电镜应用培训课件130日立SU8020扫描电镜应用培训课件131日立SU8020扫描电镜应用培训课件132日立SU8020扫描电镜应用培训课件133日立SU8020扫描电镜应用培训课件134日立SU8020扫描电镜应用培训课件135日立SU8020扫描电镜应用培训课件136日立SU8020扫描电镜应用培训课件137日立SU8020扫描电镜应用培训课件138日立SU8020扫描电镜应用培训课件139日立SU8020扫描电镜应用培训课件140日立SU8020扫描电镜应用培训课件141日立SU8020扫描电镜应用培训课件142日立SU8020扫描电镜应用培训课件143日立SU8020扫描电镜应用培训课件144日立SU8020扫描电镜应用培训课件145日立SU8020