残余气体分析仪

MKSMKS万机仪器有限公司全球化架5616MKS万机仪器有限公司总50年发展经2006年营业额为7.83亿美2010年营业额为8.53亿美15分个分公全球2700员纳斯达克上市，股票代码MKSMKSSpectraMKS MKSSpectra11,000ft2Employs46people(36inCrewe+10Design,development,andmanufactureofgasanalysisequipmentBroadrangeofmarkets&productsSemiconductorfabs&HighenergyProcessIndustrialthinQMSsystemsforAPFuelcells&MKS Markets,Applications&RGAMarketSemiEndIonVision1000B,Vision1000CVision1000C/E,Vision1000EVision1000P/HPQ2Vision1000I/HPQ2TOOLWebRGAAllIndustrialThinFilmEndLargesurfaceareacoatingDisk&headmanufactureDecorativecoatingMachinetoolcoatingSolarVisionHGST,CardinalGlass,FirstSolarGuardian,GeneralelectricSemi&ThinFilmIntegrationtoprocesstoolsBaselinemonitoringProcessMicrovisionPlusMicrovisionIPAviza,AMAT,Varian,Veeco,VonHighEnergyMicrovisionPluswithradiationresistantcables&UHVionDiamond,ESRFFermi,SLACVacuumKlystronNightvision/LightMicrovisionPlusMicrovisionIPeVisionMKS Markets,Applications&RGAMarketTypicalGeneralResearch&SurfacescienceThermaldesorptionGeneralHV&MicrovisionPluseVisionPlusUHVionsourceResearchinstitutesGasSupplyContaminantmonitoringGasanalysisAirProductsAirLiquideDifferentialthermalanalysisMembraneResearchinstitutesFuelCells/GeneralcatalysisPolymerelectrolytemembranesSolidoxidefuelcellsFuelcellmanufacture&JohnsonMatheyRollsRoyce(Europe)Aerospace/MaterialsHeattreatmentprocessesVacuumfurnacesMicrovisionPlusMicrovisionIPGeneralInstrumentmanufacturersElectronmicroscopyQuadbasedinstrumenteVisionPlusSubassembliesMillbrook(Europe)AlphaMOS(Europe)MKS RGAResidualGasAnalyzer余气体分析仪 Xe Xe组成气体分压的总和离子–四极杆质量过滤检测推笼（带负电压源笼（带正电压加速电极板（带负电压（带负电压源笼里面为被测气体分子原子。灯丝通电后会发射带负电的电子，它受到带负电推笼的推力飞向源笼，同时受到带正电的源笼的引力，加速飞向源笼内。加速的电子与源笼里面为被测气体分子/焦板的引力，会加速从此两电极板孔中穿过。-DC/-DC/四极杆上施加各一组极性相反的直流/高增高增法拉10-11低增M+10-1410-14M+M+800 zero法拉第检测10-4mbar250℃光电倍增检测仅能工作在10-6mbar不能工作在高于50℃–氩原子质量是

1 当失去一个电子时，其质荷比是40/140当失去两个电子时，其质荷比是40/220例子二氧化碳其峰值出现在44CO2+28CO+16O+12

CarbonDioxide?

PeakPeak0 81012141618202224262830323436384042444648Mass/Charge总压力是1.1x10-压总压力是1.1x10-

65%氮气18%15%2%氩气,100高真空清洁系统化学气相溅泵油污轻有机重有机MicroVisionHighPerformanceApplications,预过滤预过滤分析仪能改善沾污，提高敏三过滤双过滤单过滤(4吋传输率(对数标尺

质量

基本型质谱 10-4mbar(总压)到10-14mbar(分压100ppb检测极高压性 0-2mbar(总压)到10-10mbar(分压10ppm检测极带真空泵系 大气压到10-14mbar(分压100ppb检测极常压性 大气100ppb检测极减少设备停工时(空气泄漏、水汽泄漏，气体沾污改善设备利用(PVD设备靶的条件改善薄膜特性和电池效控制关键工艺参降低设备成本及使用成应用于太阳能电池生产的RGA应用于太阳能电池生产的RGA一个分析仪器向工艺、生产实时监控靠无泄漏、无沾污等使用RGA在非晶/微晶PECVD成膜及工艺腔室清洗工艺优成膜监---P/N-优化周期吹扫-优化周期吹扫(cyclepurge)-设备一致性调试(chambermatch)-工艺腔室清洗工艺监-----设备本底真空性能监----为什么在太阳能电池生产中使用为什么在太阳能电池生产中使用传统的真空故障检查方法不够完善，这是由于较大尺寸的真空和众多的可能泄漏空气泄漏会造成RGA可以用氦气或氩气精确检测泄漏点太阳能电池生产中使用太阳能电池生产中使用RGA更高的电池效更高的成品更低的成减少维护次降低维护恢复时增加产品生产更快的设备优更快的产品认VisionVision1000-C用于CVD工艺监最高工作压力可达可达<200ppbVisionVision1000-UniBloc33阀 配薄膜3阀 配薄膜分析V3吹扫涡轮分子泵/干MKS清洁气体吹扫进 干工艺压力吹扫VisionVision1000-UniBloc44阀 4阀 配薄膜VVVVMKS 工艺压力吹扫道VisionVision1000-CUniBlocTM进气

进气口Baratron®薄膜质谱自动进气阀 电子控制单涡轮分子量一个取样系统安装在气可能要求不同的取样管系统需要全自动运测试结果实时传输到气站控制系大量的设备都使用这一气源监测反应气体和普通气体可以分别用不同的系统以避免系统的记忆”和背景效Cirrus总从ppbCirrusCirrus封闭离子源供更低的检测极限(低噪声(高信号)提供正的温度梯度供凝缩取Cirrus系Cirrus系统介（续70l/s4头高压缩,70℃时切断电子系24VCirrus系统四极杆分析仪Capillary

TotheBacking

EndofQuadrupoleElectronEntryCirrusCirrus惰性的玻璃细加热到150℃以防止取样气体凝更好的取样传输特小体适合各种特殊应用需容易维ProcessProcessEyeProfessional基于Windows2000,XPRecipe（菜谱式）驱动自动操作和(灵活的数据显示包括双“条形图/CirrusPCCirrusCirrus(选件Cirrus的选件48(选件ProcessProcessEye软件的准 ((选件这个选件类似于先前介绍的多气体入口选但腐蚀气体应–双外置‘fomblinisedCirrus氢气和氦气真空–10%and100%40%and100%helium之间的氦气，一个外置的旋转泵辅助薄膜泵作为涡外接真空内置薄膜外置旋转–维多点监测系–系统设举例多点监优化工艺腔室清洗，改善NF3优化工艺腔室清洗，改善NF3MKSHPQ2/S/T残余气体分析仪用于工艺及本底真空监与用户设备的接口软件及外挂SPC降低设备故障检修时HPQ-2HPQ-2微型四极杆探 插入长1工作压力可1无需真空质量范围：2-80法拉第检测灵敏<10可选以太网接HPQ-2SHPQ-2S工作压力可8mTorr，无需真可耐短40mTorr压力浪与外接真空规线性算法比Conclusion:CarriercontaminationandchamberconditionafterPMneedtobeconsideredasasignificantfactorforthefilmproperties.ReleaseofhighlevelsofoxygenmayreducetheReleaseofhighlevelsofoxygenmayreducetheconductanceofthe使用MKSHPQ2/S/T作反根据工艺腔室内氧气含量，控制溅射功整个操作由设备软件控氧气分压得快速测量并送至控制器功稳定的膜质和产品质量

Metallichighdepositionhighrefractionabsorptionandlow

Transitionhighdepos