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文档简介

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文件编号 xx-WI-xxx静电防护作业指导书

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第1页共8页内容:1.0目的2.0范围3.0定义4.0职责5.07.0流程架构8.09.0治理工程10.011.0测试仪器使用方法12.0相关文件13.0相关记录14.0附件编写 审核 批准日期 日期 日期会签:**xxxxxxxxxxxxxxxxxMicro-ElectronicsCo.,Ltd.三级文件:版本1文件编号xx-WI-xxx静电防护作业指导书更改状态0第2页共8页修改历程:修改日期 版本更改状态

更改内容 编写 审核 批准1234123456781111111100000000版本目的xxxxxxxxxxxxxxxxxMicro-ElectronicsCo.,Ltd.三级文件: 版 本 1

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第3页共8页了解静电产生气理与静电的危害,正确使用防护措施来减小或消退静电造成的不良;了解静电的测量方法;熟知静电的预防方法。2.0适用于LCD、LCM生产作业、物料储存、产品搬运及生产人员的静电检测/把握等工程。定义:物质因失去或获得电子称带电现象;静电现象指相对于观看者而言,所带电荷处于静止或缓慢变化相对稳定现象; ESD〔ESD,electrostaticdischargea.静电一般在两物体磨擦时产生;b.固体接触带电;d.固体导体感应带电;e.人体带电〔感应带电、传导带电。职责:LCD、LCM负责制定有关之静电把握标准,并完善本把握标准。产品设计及制作工装夹具、测试夹具时需符合静电防护标准。负责督导帮助解决静电防护特别工作。LCD、LCM各工位作业员负责检查工作台静电区清洁。生产领班每天上班前监视员工静电腕带/鞋的导通测试,假设有特别应准时更换。生产组长对各员工的静电腕带/鞋、使用设备和环境等进展点检,并作特别反响。设备接地状况消灭特别时,应准时订正,假设无法解决,通知设备人员作处理。质量治理部:负责对机台接地状况、工作台接地状况及作业人员静电腕带/鞋配戴状况进展监视。必要的对策。工作。5.0ESD:ElectrostaticDischarge.中文为静电放电EPA:EsdProtectedArea.ESDS:electrostaticdischargesensitive.中文为静电放电敏感器件xxxxxxxxxxxxxxxxxMicro-ElectronicsCo.,Ltd.三级文件: 版 本 1

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第4页共8页6.0静电场测试仪:测试感应静电压外表电阻仪〔重锤:测试外表电阻简易外表电阻仪:测试外表电阻CPM万用表:测试接地线电阻7.0ESD代表ESDESD静电专员 修理负责人 各岗位领班/组长作业步骤测试工程及方法:序号 测试工程 测试标准/频次“GOOD”

测试方法a.电金属片与皮肤严密接触。

测试员 相关记录全部指定静电腕带1测试

红“LOW”亮或橙“HIGH”b.另一端金属插头插入静电腕带亮为不合格。 测试器的插孔里。

佩戴静电腕带的人员均需自

《静电腕带测试记2/天〔早上进车间一次,c.〔不带手指套压在静电测试并记中午进车间一次,晚班测试 测试器的金属开关同时用另录。频次同白班〕 一只手拉扯静电腕带的连接线。a.正确插入仪器右测的工鞋插孔,1.静电鞋测试仪绿色“PASS” 确保测量选择开关处于翻开状LED灯亮表示鞋子合格如 态并且在反面的模式选择单脚

录表》静电鞋2测试

果红FAILH或FAIL 测试。LO”LED灯亮并有报警声响 b.将一只脚踏到脚踏板上用手起,则说明鞋子不合格。 指按下检测仪的“TEST”金属2.2次/天〔早上进车间一次,按中午进车间一次,晚班测试

员工及外围人员均需自测试并记录。

《防静电鞋测试记录表》防静电胶3 皮

频次同白班〕静电胶皮的接地扣接触完好;用DI局部可以使用少量酒精擦拭;

在地板上面。目视 操作员工 /xxxxxxxxxxxxxxxxxMicro-ElectronicsCo.,Ltd.三级文件: 版 本 1

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第5页共8页每天上班检查一次。不合格处理:检测合格后要在《防静电鞋测试记录表》的“检测不合格后的处理措施以及重测记录”中作好记录。静电腕带测试不合格时需要马上更换的静电腕带,合格前方可进入工序内作业。0.8-1.2MΩ)确认是否良好,如确认为静电腕带为不良时需准时更换。治理工程检测工程 检验方法离子风机的风量开到最大,风

标准 检验周期 检验仪器 测试员离子风机

相关记录向对着操作台面,旋转(两次清

目视无灰尘 1次/1周 目视检查 使用者离子风机测试

用静电测试仪测量静电平衡电压时间用静电测试仪测量静电消退时间吸塑盘放在阻值﹥1×1011Ω绝缘材料上,将重锤放在吸塑盘的一

50V1kV降至0.1kV的时间<10s

1次/1季度1次/1季度1/1

CPMCPM外表电阻

计量技术员计量技术员计量技术

《离子风机测试记录表》《吸塑盘吸塑盘 面测试对角线两个点每次至少302个不合格,则全部测试,不合格做报废处理。使用万用表电阻档测量ESD地共同接地AC地线之间的电阻;点测试每个工序各抽测三个点测试。使用万用表电阻档测量设备金设备接地 属部份与AC地线之间的电阻;每个设备抽测一个点测试。

<1×1011Ω阻值小于<1.0Ω为合格;阻值小于<1.0Ω为合格;

度1/1度1次/1季度

仪万用表万用表

员设备技术员设备技术员

ESD记录表》《共同接地点检测记录表》《ESD接地、设备AC接地检测记录表》特别发生 检查内容 措施 备注xxxxxxxxxxxxxxxxxMicro-ElectronicsCo.,Ltd.三级文件: 版 本 1

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第6页共8页吸塑盘检测不合格静电监控仪使

检测超出标准范围报警装置失效

在要求的温室度范围内再次检艺员报废处理。

不合格记录在《防静电不合格处理记录表》监控仪在没有修好的状况下,需在用不合格

指示灯故障或静电 -通知修理处理设施不合格。

手腕带测试仪上进展测试,并做记录,不合格手腕带报组长更换。11.0测试仪器使用方法内容外表电阻仪〔大锤〕接线

测试方法 留意事项〔2±〕℃40%--60%RH外表电阻测试仪〔大锤〕按连接线颜色与测量仪上相应颜色的接口连接翻开测量仪开关,连接被测物体与所用探头,选择测试电压。不同的测试电压和探头对应的测量范围如下:

-当测量仪开关翻开时,不行以产生100V的电压。测量电压10V

两点探头10~10ohms3 10

-当使用10V量电流低于13mA,当使用100V100V

10~10ohms5 13 的测量电压时,测量电流低于将探头置于被测物体的外表然后读取LCD屏上的数据。屏测试 上的数据包括有效数字局部A和指数局部B,测量数据的表达式A×10BLCD

1.7mA。-假设开机后10分钟内不进展闭内容不同温湿度外表

测试方法1、上图读数2.12×10ohms。有时会显示“RT10

留意事项测量仪在清洁时用布蘸水擦拭xxxxxxxxxxxxxxxxxMicro-ElectronicsCo.,Ltd.三级文件: 版 本 1

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第7页共8页电阻仪误差范围. OFRANGE:L”或者“ROUTOFRANGE:H”,具体情形按下表来处理。2、完毕电源和探头拆下,将测量现场复原。

外表即可,不行以使用酒精、丙酮等有机溶剂,但是探头的底部可使用酒精来温湿度范围探头

〔25±5〕℃〔50%︿20%〕RH

〔25±10〕℃〔50%︿30%〕RH两点探头

清洁.净化厂房内测试条件:〔2±5〕℃工程电阻范围误差范围电阻范围误差范围数值工程电阻范围误差范围电阻范围误差范围数值3 12±2.5%±5%1013±5%1013±8%3 12CPM测试图示

〔2±〕℃80%RH-仪器使用一个7.2V的充电电池组,当电耗光的时候要重充电,不要使用其他电池,以免着火或者是发生爆炸。CHARGED–PLATEMONITOR把握面板,前方为显示与操作面板,前方为构成 监视器 各种接口充电平板 规格:15.3cm15.3cm电容〔20±2〕pF1、将充电平板与监视器上的“IONCOLLECTINGPLATE”端-保证电源开关处于关闭状态,口连接; 不然有发生触电事故的危急;2GROUNDING”端口与地连接.-翻开电源,按TEST/RESET”操作步骤

3、翻开电源开关,使用模式选择开关选择对应的模式,见下表:由正初始衰减到正终止所用的时间。FLOAT:平衡电压。由负初始衰减到负终止所用的时

键,“直到“PLATEVOLTAGE”显示器上消灭“S”或者“E”为止;-松开“TEST/RESET”键,“DECAYTIME”显示器上面将显示出当前设置的初始或者终止电压;间。内容 测试方法

留意事项1、在“DECAY”模式下,按下TEST/RESET开关,这时平台-假设将模式选择开关置于-将被充电到稍高于1000V,然后在放开开关,平台上的保养电压开头下降,当到达预先设置的初始电压时,监视器以0.1秒为单位开头计时,当到达预先设置的终止电压

“+DECAY”位置,电压将以一伏为单位连续上升,假设置于xxxxxxxxxxxxxxxxxMicro-ElectronicsCo.,Ltd.三级文件: 版 本 1

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第8页共8页时计时停顿,此时“DECAYTIME”所显示的时间即为衰减时间;2、在“FLOAT”模式下,按下TEST/RESET开关,这时平台电压将被置为0V,放开开关后,平台将在四周环境的影响下电压发生变化,等到“PLATEVOLTAGE”的读数稳定后,上面所显示的电压即为平衡电压;3、测量完毕后,关闭仪器电源,使模式选择开关处于“FLOAT”位置;将平板与监视器的连接线以及接地线撤除,将全部物品放回原处,恢复测量现场。412小时以上,此时电池的电量几乎耗尽,然后再次进展充电至满。这样做可以减轻电池长时间充电所形成的“记忆效应”。仪器布满电以后至少可以使用8小时,大约在停顿工作前30min“电量低”指示灯会亮。

伏为单位连续降低,当到达所需要的电压时,将模式选择开关置于“FLOAT”位置;-向下按住“TEST/RESET”键不放,直到“PLATEVOLTAGE”显示器上消灭“P”为止;-当仪器正在工作的时候,不要接触充电平台或者接口部位,以免发生电击;不要在户外或者潮湿的环境下使用此仪器;不要在可

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