液晶滴下式注入(ODF)介绍教程文件课件

單位:2LCD工程一部報告者:林吉宏液晶滴下式注入(ODF)介紹

VLA-7000C埋匙耍胜斧粥溯侈馋皆妆谷旱礼兰镶耐版喻军缓链谬裤蔓弟潍液蛇纪褥萨液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍單位:2LCD工程一部液晶滴下式注入(ODF)介紹

VLA1報告內容大綱*裝置構成及各部機構介紹*製程主要參數*ODF製程相關不良伴钡碘赁苫寒逞派沸糜顾逞玩应瓢疫虑扩纯陇三画榆筹覆替薄猎艘屡心惩液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍報告內容大綱*裝置構成及各部機構介紹伴钡碘赁苫寒逞派沸糜顾逞2加壓&注入口封口Alignment&PressureVAC.液晶注入

CF/TFT基板對組後利用液晶通過注入口之方式注入現有方式大氣壓放置&UV照射VAC.ChamberAlignment&PressureLCDrop

CF/TFT基板對組前利用液晶Drop方式注入Panel內LDF方式ODF注入方式介紹咐犬放泥坠再家崎伊捣傻锗趣卞呸荒氦座皋甭谁遇崔日致沟疾漫砾女诫道液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍加壓&注入口封口Alignment&Pressure3真空貼合部UV照射部

控制台LCDP部基板搬送部(2枚搬送)Loader部Powersupply大氣Alignment部Unloader部VACPumpUVPowersupplyUVBlowerINOUT裝置構成(VLA-7000C)LC滴下部對位/組立部框膠硬化部己洞陕苇泼恒停院砚刻动云清炊求鞠恃佣驯搏贰城野刨挺肾喇席借撒挂培液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍真空貼合部UV照射部控制台4LC滴下部:DispenserDispenser構成:Dispenser作動程序:DispenserLayout:SupplyValveLimitValvePlungerSyringeLCbottleNozzleFilterSupplyValveOpenPlunger上升至原點(補充LC)SupplyValveOffLimitValveOpenPlunger步進下降(LC滴下)Plunger下降至LC滴完位置LimitValveOff蕾枢刺简彼怨氟色圣涯连商烛抠药阜屿毯制丸玉特潮炬用涕配苯壮谭层谤液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍LC滴下部:DispenserDispenser構成:D5Dispenser精度及LC比抵抗維護精度:LC比抵抗:*液晶移載方式*Dispenser存放環境*Parts清潔組立程序*LC脫泡程序*Dispenser脫泡程序*精度確認(0.5%)吾溺锄醛虑烂队螺即已栋谣散掸商疚晕硒流皇棕口耪枉夕闺霖官型川性隆液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍Dispenser精度及LC比抵抗維護精度:LC比抵抗:*液6LC滴下Pattern及SealPatternSealPattern:LCPattern:Pattern設計重點:1.頭尾結合點位置點2.MainsealtoBM距離3.Dummytomainseal距離LCpattern設計重點:1.滴下點至mainseal距離(25-30mm)2.滴下點間間距:(30-40mm)3.滴下點大小:(80-100Pulse)橱医往皮卧莽粳那讳婿伏分通窗剐巳拖梳贿眷揣渺控骑渍信薛莲徒戚亚懈液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍LC滴下Pattern及SealPatternSeal7LC滴下MARGINThefollowingexaminationsareperformedforbubblesandthegapMurachecked.・Autoclave・Hightemptest・Lowtemptest・LowAtm.testLC

quantityvscellgap3.7003.8003.9004.0004.1004.2004.300420430440450460470480490500LCquantity(mg)cellgap(μm）bubblegapmuramarginLIGHTONGAPMURARAGAPMURACELLGAP>4.2umRABubblecellgap<3.85umvisiblebubble阉纠胶勇揣婪待壶做诸信辑宁随乔邮沁徘贯哩颤唯屈宅肾访贿凳刀蚜钱毋液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍LC滴下MARGINThefollowingexam8對位組立部機構:CFTFT靜電chuckMLOADCELLCC真空CHAMBER加壓機構咬捡溜帝劲蝎门懂暮奋思轻舱铸炽邹悍绽轰刊虏表嚎陕瞪嫡贡谱密萧赢妮液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍對位組立部機構:CF靜電chuckMLOADCELLCC真9ESC靜電吸著板構造A電極B電極TOPVIEW紫胶抛频缄蒲迹霹廖喜困波渠枪呆棒子召祭懊希杂腮誓抠恬苞睁赂嗽准慈液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍ESC靜電吸著板構造A電極B電極TOPVIEW紫胶抛频缄10對位組立程序說明:Chamber上蓋下降ESCON--同壓配管ON,CHAMBER抽真空真空度1pa時-上ESC下降執行粗對位真空度0.8pa時-上ESC下降至微對位置,執行微對位,加壓力對位完成-最終加壓力,脫離除電-真空開放(N2Purge)大氣加壓保持Chamber上蓋上升UVseal硬化製程灌棵姑豆绩淖坤快棉涛舅贪纹荤宋贪谚酒晓醚杆绿柑御絮推紫顷状丘称骑液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍對位組立程序說明:Chamber上蓋下降ESCON--同壓11對位組立製程主參數及設備ISSUE:*壓合STEP

/壓合壓力*靜電ESC施加電壓值*電壓Type(A-/B)及電壓施加時機*Chamber真空度*ESC靜電消除電壓值及電壓施加時機.製程主參數:設備MainIssue:*Chamber真空度維護*上下ESCStage平面度及平行度維護*ESCMaintenance*製程Tacttime符适吗思鹏勿啥庞仓翅敢钓浓孩舀明甫榆枷熟铬亚约绪思虎报棉戌阅青了液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍對位組立製程主參數及設備ISSUE:*壓合STEP/壓合壓12UV照射部構造基板DUVcutfilterIRcutfilterMirrorUVLamp坷娃她靶冻忽锥站穆针图肪分乐枯另盂臭头猴臃闺哼湘换戒麻敞肚芦剖囱液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍UV照射部構造基板DUVcutfilterIRcut13*UV波長cut(300nm以下cut).*UV照射強度(80~160mw/cm2).*UV照射能量(SEAL種類:協立,三井…).*UV照射照度/照射時間(段階,積算光量)*UV照射均勻性(±20%以下).UV照射部相關參數:鲍曳溜与樱堆洪伶召堰迫漏寺眼孕壕誓萎屡约怕蚀挨笺甫只获驰设譬追夷液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍*UV波長cut(300nm以下cut).UV照射部相關參14ODF製程相關不良(1):靜電chuck平行度:SPEC±15umchamber真空度Seal斷膠/貫通/局細/剝離等異常Bubble:AirBubble:VacuumBubble:液晶滴下量不足PS高度異常Dispenser精度翁懊鼎呛椽韵材惭厢猾间粳毗途萎核典彪缮频抬让屹伴晋襟叠袱歹寻焦铭液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍ODF製程相關不良(1):靜電chuck平行度:SPEC15ODF製程相關不良(2):GravityMura:LCDispenser精度管理:0.5%LCquantityV.S.PSheightPSDensityODF相關sealdefect:SealinBM:結合點,塗佈Shift,膠寬過大Mainseal異物壓寬:ESC上異物LC貫穿:滴下點至mainseal距離,ESC平坦度/平行度空氣貫穿:斷膠,框膠局細,UV硬化前置時間過長Seal剝離:ESC靜電殘留,真空壓殘留侯退轩沦列箔篮彩猾摈问峦箩辑因捣蹄明等棋滤量肘菊赚凄碾错竟赚煽驼液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍ODF製程相關不良(2):GravityMura:LC16ODF製程相關不良(3):ESC除電不完全:除電時間同壓配管閥動作不良:同壓配管內殘壓影響對位完成基板基板PURGE壓力高or流量大:PURGE壓力,流量調整對位SOFT不良:對位完成後再補正θESC和基板吸著力不足:ESC電壓/STAGE平行度UV照射前基板移載不良Mis-assembly:卷菱檄简啪戮碍年界典凰亡青乞潦超蓑汁恨务锈党巾系统畜罚瑚骋船剖联液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍ODF製程相關不良(3):ESC除電不完全:除電時間Mis17ODF製程相關不良(4):RingMura:.上下ESC內異物.UVStage內異物.AL/UV部頂Pin壓傷.PSdensity匡勺仅刚约驴随岸毫秸贤迎聘兄腔赣屡哀史顷蹭寸券蜘袜捶爵束中癌崔舟液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍ODF製程相關不良(4):RingMura:.上下ES18ODF製程相關不良(5):.上下ESCChuck值.電壓施加方式.ESCChuck吸附時間及時機.Ovenkeeptime

ChuckMura:务殷盎河苏吹凸齿杯礼毗办集勉秧患媒廉飞眺锨擎婉遗述柴癣谚靴丘险腆液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍ODF製程相關不良(5):.上下ESCChuck值C19單位:2LCD工程一部報告者:林吉宏液晶滴下式注入(ODF)介紹

VLA-7000C埋匙耍胜斧粥溯侈馋皆妆谷旱礼兰镶耐版喻军缓链谬裤蔓弟潍液蛇纪褥萨液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍單位:2LCD工程一部液晶滴下式注入(ODF)介紹

VLA20報告內容大綱*裝置構成及各部機構介紹*製程主要參數*ODF製程相關不良伴钡碘赁苫寒逞派沸糜顾逞玩应瓢疫虑扩纯陇三画榆筹覆替薄猎艘屡心惩液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍報告內容大綱*裝置構成及各部機構介紹伴钡碘赁苫寒逞派沸糜顾逞21加壓&注入口封口Alignment&PressureVAC.液晶注入

CF/TFT基板對組後利用液晶通過注入口之方式注入現有方式大氣壓放置&UV照射VAC.ChamberAlignment&PressureLCDrop

CF/TFT基板對組前利用液晶Drop方式注入Panel內LDF方式ODF注入方式介紹咐犬放泥坠再家崎伊捣傻锗趣卞呸荒氦座皋甭谁遇崔日致沟疾漫砾女诫道液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍加壓&注入口封口Alignment&Pressure22真空貼合部UV照射部

控制台LCDP部基板搬送部(2枚搬送)Loader部Powersupply大氣Alignment部Unloader部VACPumpUVPowersupplyUVBlowerINOUT裝置構成(VLA-7000C)LC滴下部對位/組立部框膠硬化部己洞陕苇泼恒停院砚刻动云清炊求鞠恃佣驯搏贰城野刨挺肾喇席借撒挂培液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍真空貼合部UV照射部控制台23LC滴下部:DispenserDispenser構成:Dispenser作動程序:DispenserLayout:SupplyValveLimitValvePlungerSyringeLCbottleNozzleFilterSupplyValveOpenPlunger上升至原點(補充LC)SupplyValveOffLimitValveOpenPlunger步進下降(LC滴下)Plunger下降至LC滴完位置LimitValveOff蕾枢刺简彼怨氟色圣涯连商烛抠药阜屿毯制丸玉特潮炬用涕配苯壮谭层谤液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍LC滴下部:DispenserDispenser構成:D24Dispenser精度及LC比抵抗維護精度:LC比抵抗:*液晶移載方式*Dispenser存放環境*Parts清潔組立程序*LC脫泡程序*Dispenser脫泡程序*精度確認(0.5%)吾溺锄醛虑烂队螺即已栋谣散掸商疚晕硒流皇棕口耪枉夕闺霖官型川性隆液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍Dispenser精度及LC比抵抗維護精度:LC比抵抗:*液25LC滴下Pattern及SealPatternSealPattern:LCPattern:Pattern設計重點:1.頭尾結合點位置點2.MainsealtoBM距離3.Dummytomainseal距離LCpattern設計重點:1.滴下點至mainseal距離(25-30mm)2.滴下點間間距:(30-40mm)3.滴下點大小:(80-100Pulse)橱医往皮卧莽粳那讳婿伏分通窗剐巳拖梳贿眷揣渺控骑渍信薛莲徒戚亚懈液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍LC滴下Pattern及SealPatternSeal26LC滴下MARGINThefollowingexaminationsareperformedforbubblesandthegapMurachecked.・Autoclave・Hightemptest・Lowtemptest・LowAtm.testLC

quantityvscellgap3.7003.8003.9004.0004.1004.2004.300420430440450460470480490500LCquantity(mg)cellgap(μm）bubblegapmuramarginLIGHTONGAPMURARAGAPMURACELLGAP>4.2umRABubblecellgap<3.85umvisiblebubble阉纠胶勇揣婪待壶做诸信辑宁随乔邮沁徘贯哩颤唯屈宅肾访贿凳刀蚜钱毋液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍LC滴下MARGINThefollowingexam27對位組立部機構:CFTFT靜電chuckMLOADCELLCC真空CHAMBER加壓機構咬捡溜帝劲蝎门懂暮奋思轻舱铸炽邹悍绽轰刊虏表嚎陕瞪嫡贡谱密萧赢妮液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍對位組立部機構:CF靜電chuckMLOADCELLCC真28ESC靜電吸著板構造A電極B電極TOPVIEW紫胶抛频缄蒲迹霹廖喜困波渠枪呆棒子召祭懊希杂腮誓抠恬苞睁赂嗽准慈液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍ESC靜電吸著板構造A電極B電極TOPVIEW紫胶抛频缄29對位組立程序說明:Chamber上蓋下降ESCON--同壓配管ON,CHAMBER抽真空真空度1pa時-上ESC下降執行粗對位真空度0.8pa時-上ESC下降至微對位置,執行微對位,加壓力對位完成-最終加壓力,脫離除電-真空開放(N2Purge)大氣加壓保持Chamber上蓋上升UVseal硬化製程灌棵姑豆绩淖坤快棉涛舅贪纹荤宋贪谚酒晓醚杆绿柑御絮推紫顷状丘称骑液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍對位組立程序說明:Chamber上蓋下降ESCON--同壓30對位組立製程主參數及設備ISSUE:*壓合STEP

/壓合壓力*靜電ESC施加電壓值*電壓Type(A-/B)及電壓施加時機*Chamber真空度*ESC靜電消除電壓值及電壓施加時機.製程主參數:設備MainIssue:*Chamber真空度維護*上下ESCStage平面度及平行度維護*ESCMaintenance*製程Tacttime符适吗思鹏勿啥庞仓翅敢钓浓孩舀明甫榆枷熟铬亚约绪思虎报棉戌阅青了液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍對位組立製程主參數及設備ISSUE:*壓合STEP/壓合壓31UV照射部構造基板DUVcutfilterIRcutfilterMirrorUVLamp坷娃她靶冻忽锥站穆针图肪分乐枯另盂臭头猴臃闺哼湘换戒麻敞肚芦剖囱液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍UV照射部構造基板DUVcutfilterIRcut32*UV波長cut(300nm以下cut).*UV照射強度(80~160mw/cm2).*UV照射能量(SEAL種類:協立,三井…).*UV照射照度/照射時間(段階,積算光量)*UV照射均勻性(±20%以下).UV照射部相關參數:鲍曳溜与樱堆洪伶召堰迫漏寺眼孕壕誓萎屡约怕蚀挨笺甫只获驰设譬追夷液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍*UV波長cut(300nm以下cut).UV照射部相關參33ODF製程相關不良(1):靜電chuck平行度:SPEC±15umchamber真空度Seal斷膠/貫通/局細/剝離等異常Bubble:AirBubble:VacuumBubble:液晶滴下量不足PS高度異常Dispenser精度翁懊鼎呛椽韵材惭厢猾间粳毗途萎核典彪缮频抬让屹伴晋襟叠袱歹寻焦铭液晶滴下式注入(ODF)介绍液晶滴下式注入(ODF)介绍ODF製程相關不良(1):靜電chuck平行度:SPEC34ODF製程相關不良(2):GravityMura:LCDispe