扫描电子显微镜的应用及若干问题的讨论课件

扫描电子显微镜的应用介绍

YourTechnologycompanion扫描电子显微镜的应用介绍

YourTechnologyc电镜功能及原理新技术及前沿应用正确的使用方法选择电镜的注意事项主要内容电镜功能及原理新技术及前沿应用正确的使用方法选择电镜的注意事电子显微镜扫描电镜SEM透射电镜TEM台式电镜钨灯丝扫描电镜场发射扫描电镜120KV200KV300KV超高压透射冷场发射扫描电镜热场发射扫描电镜一、电子显微镜的分类SEMTEM电子显微镜扫描电镜SEM透射电镜TEM台式电镜钨灯丝扫描电镜4硅藻光学显微镜和大型扫描电镜对比4硅藻光学显微镜和大型扫描电镜对比硅藻硅藻硅藻硅藻7扫描电子显微镜的伪彩色艺术照波斯合欢树的花粉叶蓟属植物火球状花粉7扫描电子显微镜的伪彩色艺术照波斯合欢树的花粉叶蓟属植物火球8扫描电子显微镜的伪彩色艺术照普通家蝇黄蜂的头部8扫描电子显微镜的伪彩色艺术照普通家蝇黄蜂的头部9黄蜂的头部9黄蜂的头部电子显微镜的功能1、高分辨率2、大景深3、元素和结构分析d=0.61/nsin

光学显微镜的极限分辨率为200nm，放大倍率最大2000倍。扫描电镜的分辨率可以达到3nm甚至更小，放大倍率可到几万倍至一百万倍。Δf=

EDX能谱仪分析为什么需要用扫描电镜观察样品形貌？电子显微镜的功能1、高分辨率2、大景深3、元素和结构分析d=形貌观察表面微观形貌成分衬度图像扫描电镜的功能电子显微镜的功能形貌观察表面微观形貌成分衬度图像扫描电镜的功能电子显微镜的功元素与结构分析EBIC测PN结C_K3kVN_K3kVTa:360nmSiC:160nmSiN:240nmAl:500-600nmMagnification

x80kEDX或WDX的元素定性或定量分析EBSD测晶粒取向CL阴极荧光图像电子显微镜的功能元素与结构分析EBIC测PN结C_K3kVN_K3kVTa:扫描电子显微镜的应用及若干问题的讨论课件电子显微镜的功能电子显微镜的功能15外观的区别

光学显微镜透射电镜扫描电镜15外观的区别

光学显微镜透射电镜扫描电镜光学显微镜和电子显微镜的区别

16光学显微镜和电子显微镜的区别

16人眼分辨率示意图人眼分辨率仪器分辨率有效放大倍数仪器放大倍率和分辨率的关系人眼分辨率一定，获得高的分辨率需要大的放大倍数。电镜图像是如何形成的？17人眼分辨率示意图人眼分辨率仪器分辨率有效放大倍数仪器放大倍率图像放大倍率计算电镜图像是如何形成的？图像放大倍率计算电镜图像是如何形成的？电子束和样品表面相互作用产生的信号类型19电子束发射原理SEBSEEDX能谱电子束和样品表面相互作用产生的信号类型19电子束发射原理SE2010010,0001能量(eV)(入射电子能量:10,000eV)SEBSE产额

SE和BSE的电子能量幅度502010010,0001能量(eV)(入射电子能量:21Sample：BaCO3/TiO2Vacc：1kVMagnification：x70kSEBSESE和BSE信号21Sample：BaCO3/TiO2Vacc：1kVMa能谱原理部分CAu能谱原理部分CAuX射线的产生能谱原理部分X射线的产生能谱原理部分242425全球最高分辨率原子级全息电子显微镜（点分辨率可达43pm）超强分析功能电子显微镜原子级分辨率开展分析（专为维多利亚大学定制的HF3300V）全球最高加速电压超高压透射电子显微镜（加速电压可达3MV）二、最新技术发展25全球最高分辨率超强分析功能电子显微镜全球最高加速电压二、电子源直径小，色差小束流大束流稳定大束流分析高分辨观察最新技术发展大束流分析高分辨观察最新技术发展样品：分子筛样品：分子筛28低加速电压下EDS分析加速电压

:5kV放大倍率

:150,000x探针电流

:

0.7nA分析时间：15min样品：Cu2O/Aunanoparticles

放大倍率

：150,000x探头：YAGBSEAuCu2OCu2O/Au纳米颗粒低加速电压下获得的高分辨面分布样品提供者：京都大学，化学研究所Prof.ToshiharuTeranishi探测器

:OxfordX-Max15028低加速电压下EDS分析加速电压:5kV样品：Cu2需要得到一个平滑的面？29BSEEBSDEDS

元素質量濃度[%]σ［%]K0.080.04Ca0.160.04内部成分、层厚晶粒尺寸、取向定性、定量分析EBICP-N结位置颗粒内部结构BSE光学特性CL需要得到一个平滑的面？29BSEEBSDEDS元素質量濃度加工过程截面制作割断超薄切片树脂包埋粗研磨精细研磨离子研磨掰断液氮脆断SEM观察、EDS分析、EBSD分析机械研磨树脂、真空排气设备Maruto研磨工具FIB加工加工过程截面制作割断超薄切片树脂包埋粗研磨精细研磨离子研磨掰与离子研磨系统IM4000结合，在页岩气开发和研究方面有独特优势！离子研磨系统与离子研磨系统IM4000结合，在页岩气开发和研究方面有独特50um5umGaNLED芯片内部構造観察SU8000観察条件試料

：LED素子内部構造照射電圧

：１ｋV観察条件

：LA-BSE半导体材料应用-离子研磨50um5umGaNLED芯片内部構造観察SU8000観5umPt100nmTiN100nm300nmVoidGoldbondingGoldpadVoid100nmAlGａN25nmGoldbondingActivelayerGoldpadLED芯片内部構造観察半导体材料应用-离子研磨5umPt100nmTiN100nm300nmVoSEGaAlNTiPtAu200nm(Analysiscondition)Vacc:5kVMagnification:x100kMappingtime:20min5um200nmAnalyzedarea②LayerstructureanalysisbylargeareaSDD半导体材料应用-MappingSEGaAlNTiPtAu200nm(Analysis35Li

battery–三元材料Adaptabletocross-sectionmakingoffragilematerial35Libattery–三元材料Adaptableto10μmSurfaceMagnifiedimageofcross-section5μm羟基磷灰石10μmSurfaceMagnifiedimageof气体保护功能的应用真空隔离状态样品来源：锂动力电池；观察条件：Vacc：800V；信号来源：SE同一视野空气中暴露10min气体保护功能的应用真空隔离状态样品来源：锂动力电池；观察条件氧峰激增样品来源：锂动力电池；观察条件：Vacc：3kV；信号来源：BSE真空隔离状态空气中暴露10min同一视野气体保护功能的应用氧峰激增样品来源：锂动力电池；观察条件：Vacc：3kV；信真空转移盒系统解决方案SU8010SU8200IM4000SU-70气体保护装置手套箱真空转移盒系统解决方案SU8010SU8200IM4000S真空转移盒如何完成？40SpecimenloadlockchamberSU70/6600/4800/8000*withSpecialloadlockchamberIM4000AirprotectionsystemAirprotectionsampleholderAirprotectionholder<Samplepreparation>Samplesetonthesamplestub.Capisattachedtoaholder.真空转移盒如何完成？40Specimenloadlock气体保护功能的应用Specimen:Negativeelectrodeoflithium-ionbattery(a)Withairprotectionionmilling(b)Withairexposureafterairprotectionionmilling(Airexposuretime:10minutes)SEMimage(signal:BSE)SEMimage(signal:BSE)Theleftsideimage(a)showsthatthestructureofNegativeelectrodeisclearlyobservedwhenCross-sectionmillingwithAirProtectionHolderisusedwhiledeformation(expansion)ofthestructureisobservedintherightsideimage(b)ifwithoutAirProtectionHolder.离子束加工后气体保护功能的应用Specimen:NegativeelBF/DF-STEM

Sample

：CarbonnanotubeVacc：30kVMag：x250kModel：SU8020通过透射附件实现扫描透射功能

BF/DF-STEMSample：Carbonnan4343MI4050NX9000

（三维实时观察）NX20001.4日立FIB技术FIBEBArEBBeamCoincidencePointSTEMEBSDEDSE-TSEArIBSEMFIB样品入射角度90°*专利第1374861号*TripleBeam是日立(HitachiHightechScience)注册商标4343MI4050NX9000

（三维实时观察）NX200最新的应用领域44最新的应用领域44应用领域45ito膜锂电池手机主板电容FPC应用领域45ito膜锂电池手机主板电容FPC场发射扫描电镜：可达20万倍贴壁细胞，固定脱水处理场发射扫描电镜：可达20万倍贴壁细胞，固定脱水处理新鲜大麦叶片感染病菌新鲜大麦叶片感染病菌细菌细菌蜘蛛卵保存脆弱样品结构及其相互关系：图为带有卵的蛛丝；背景为“勿忘我”花瓣及花粉蜘蛛卵保存脆弱样品结构及其相互关系：图为带有卵的蛛丝；背景为青霉素Penicillin(Pchrysogenum)

盘尼西林（青霉素）青霉素Penicillin(Pchrysogenum)真菌孢子真菌孢子金黄色葡萄球菌Bacteria:Staphylococcusaureus金黃色葡萄球菌金黄色葡萄球菌Bacteria:Staphylococcu假冒冬虫夏草粉末样品名称：假冒冬虫夏草粉末

假冒的冬虫夏草粉末有成分差别假冒冬虫夏草粉末样品名称：假冒冬虫夏草粉末假冒的冬虫夏草粉其他应用冰淇淋护肤霜凝胶岩石中油滴其他应用冰淇淋护肤霜凝胶岩石中油滴扫描电子显微镜的应用及若干问题的讨论课件材料类材料类纳米材料-分子筛纳米材料-分子筛雾霾颗粒硫酸盐颗粒富钛合包壳颗粒烟尘集合体颗粒铁氧化物颗粒氧化铁颗粒群富铬、铅的颗粒雾霾颗粒硫酸盐颗粒富钛合包壳颗粒烟尘集合体颗粒铁氧化物颗粒氧锂电池前驱体锂电池前驱体极低加速电压的观测隔膜极低加速电压的观测隔膜PCB板材、金相PCB板材、金相磁控管62陶瓷-磁控管磁控管62陶瓷-磁控管63铝金属金相结构金相WC-Co63铝金属金相结构金相WC-Co金属材料高分辨观察马氏体15nm金属材料高分辨观察马氏体15nm分辨率高，显微结构清晰可辨真实，图片所展示的是真实的样品形貌和结构景深好，图像没有局域的欠焦或过焦现象信噪比好，没有明显的雪花状噪声衬度适中，图像中无论黑区或白区的细节都能看清楚如何评价扫描电镜图片三、观察常见的问题-影响因素分辨率高，显微结构清晰可辨真实，图片所展示的景深好，图像没有信噪比对图片的影响信噪比差信噪比好三、观察常见的问题-影响因素信噪比对图片的影响信噪比差信噪比好三、观察常见的问题-影响因损伤后的假像真实形貌样品：锂电池隔膜加速电压比对样品的损伤三、观察常见的问题-影响因素损伤后的假像真实形貌样品：锂电池隔膜加速电压比对样品的损伤三

大视野、大景深示例12mm长的螺钉最小5倍的放大倍数大视野、大景深示例12mm长的螺荷电现象观察常见的问题-荷电荷电现象观察常见的问题-荷电70能量范围(eV)产生强度二次电子背散射电子荷电的干扰70能量范围(eV)产生强度二次电子背散射电子荷电的干扰如何消除荷电现象？样品喷镀（Au，Pt，C···）低真空观察低电压、低电流观察（最佳解决方案）如何消除荷电现象？样品喷镀（Au，Pt，C···）为什么不能喷镀？UncoatingCoating真实信息真实信息被掩盖为什么不能喷镀？UncoatingCoating真实信息真实消除荷电现象——低真空观察‐‐‐‐‐‐＋＋eeGGNon-conductivespecimen低真空观察的不足：空气浓度高，电子束散射强，分辨率和信噪比严重下降加速电压高，样品激发体积大，无法观察表面Acceleratingvoltage:15kVSample:NormalpaperSignalamplification6Pa30Pa150PaCharge-upreduction消除荷电现象——低真空观察‐‐‐‐‐‐＋＋eeGGNon-c10Pa15Pa30Pa空气浓度对荷电的影响消除荷电现象——低真空观察10Pa15Pa30Pa空气浓度对荷电的影响消除荷电现象——低加速电压下生物样品的观测样品：昆虫触角低加速电压下生物样品的观测样品：昆虫触角低加速电压下生物样品的观测大肠杆菌，固定脱水处理低加速电压下生物样品的观测大肠杆菌，固定脱水处理制样所需工具及材料：77制样的基本方法制样所需工具及材料：77制样的基本方法块体类样品1、与样品台接触面保持平整；2、固定：采用导电胶带绑缚，固定性强的液体胶，

或采用样品夹持台；3、镶嵌类样品的电荷牵引；4、不导电样品的喷金处理。OR78制样的基本方法块体类样品1、与样品台接触面保持平整；OR78制样的基本方法粉末类样品1、保持样品干燥；2、样品分散均匀；3、粉末样品固定牢固；OR79制样的基本方法粉末类样品1、保持样品干燥；OR79制样的基本方法样品分散于乙醇（或其它有机试剂），并用超声波分散均匀取一滴分散好的液体样品，滴在铝箔（或硅片上）80制样的基本方法样品分散于乙醇（或其它有机试剂），并用超声波分散均匀取一滴分膜类样品1、样品表面清洁，铺展均匀；2、样品固定良好；3、荷电有“牵引”；OR81制样的基本方法膜类样品1、样品表面清洁，铺展均匀；OR81制样的基本方法1、制样好坏关系到样品图像的质量；2、特殊样品要根据情况选择合适方法，如截面的制备与观察；3、不导电样品要进行喷金处理或改用低加速电压拍摄图片；4、粉末样品注意固定牢固，以免影响画质或污染物镜；5、大块样品注意“牵引”荷电。82制样的基本方法1、制样好坏关系到样品图像的质量；82制样的基本方法TM3030SU1510SU3500S-3700NSU-70SU8010SU8200SU9000IM4000台式电镜钨灯丝扫描电镜冷场发射扫描电镜热场发射扫描电镜离子研磨仪SU5000四、扫描电镜的分类TM3030SU1510SU3500S-3700NSU-70钨灯丝六硼化镧灯丝肖特基场发射灯丝冷场发射灯丝电子源的大小30um5um20nm5nm亮度（A/cm2･sr)104105108109色散度（eV）21.50.70.2工作温度（℃）280015001500RT真空度(Pa)10-310-510-710-8寿命150h1500h1年3~5年flash无需无需无需需要最大探针束流大于1uA大于1uA大于50nA2~3nAZrO2扫描电镜的分类分辨率稍差分辨率较好钨灯丝六硼化镧灯丝肖特基场发射灯丝冷场发射灯丝电子源的大小3热场和冷场电子源冷场热场热场和冷场电子源冷场热场热场和冷场的区别热场冷场适合高分辨观察ΔE=1～0.7eVd=15～30nmΔE=0.2eVd=5nm亮度：２ｘ１０９A/cm２sr探针电流：2nA程度适合大电流分析热场和冷场的区别热场冷场适合高分辨观察ΔE=1～0.7eV电子枪的种类：场发射、LaB6或钨灯丝的电子枪电镜的像差：球差、色差、像散、衍射差电磁透镜的型式:内透镜、外透镜、半内透镜环境因素:振动、磁场、噪音、接地操作条件:加速电压、工作电流、电子束合轴、物镜光阑、扫描速率、样品处理、真空度等影响扫描电镜成像的关键因素电子显微镜成像影响因素电子枪的种类：场发射、LaB6或钨灯丝的电子枪影响扫描电镜成低电压观察——表面细节样品：高分子基底的银颗粒X10000加速电压：30KV加速电压：2KV低电压观察——表面细节样品：高分子基底的银颗粒X1000加速电压：3KV放大倍率：×100K（未喷镀）

信号模式：SE(U,LA40)SE/BSE信号混合像样品：高分子球基底的Ag颗粒低加速电压下高分辨加速低加速电压观察的重要性1μm

１０ｋＶ

１ｋＶ优点：在低加速电压下，入射电子的扩散区域很小，空间分辨率高，可以获得样品最表面的对比度信息；低加速电压有利于减轻样品的荷电；低加速电压对样品的损伤小。电子在样品内扩散程度的模拟（样品：硅）低加速电压观察的重要性低加速电压观察的重要性1μm１０ｋＶ１ｋＶ优点：电子在样91安全性91安全性振动要求振动要求隔间隔间设备安装日立电镜以性能稳定、结实耐用著称1、日立公司精湛的加工工艺和严格的质量保证体系！2、零部件整机由日本日立高新技术公司生产和装配！3、安装环境要求低（接地电阻小于100欧姆）4、耗材寿命长（灯丝、闪烁体、光电倍增管、光阑等）5、低维护成本（灯丝价格便宜，仪器结实耐用）设备安装日立电镜以性能稳定、结实耐用著称1、日立公司精湛的加Thankyouforyourattention!欢迎交流技术问题！Thankyouforyourattention!扫描电子显微镜的应用介绍

YourTechnologycompanion扫描电子显微镜的应用介绍

YourTechnologyc电镜功能及原理新技术及前沿应用正确的使用方法选择电镜的注意事项主要内容电镜功能及原理新技术及前沿应用正确的使用方法选择电镜的注意事电子显微镜扫描电镜SEM透射电镜TEM台式电镜钨灯丝扫描电镜场发射扫描电镜120KV200KV300KV超高压透射冷场发射扫描电镜热场发射扫描电镜一、电子显微镜的分类SEMTEM电子显微镜扫描电镜SEM透射电镜TEM台式电镜钨灯丝扫描电镜99硅藻光学显微镜和大型扫描电镜对比4硅藻光学显微镜和大型扫描电镜对比硅藻硅藻硅藻硅藻102扫描电子显微镜的伪彩色艺术照波斯合欢树的花粉叶蓟属植物火球状花粉7扫描电子显微镜的伪彩色艺术照波斯合欢树的花粉叶蓟属植物火球103扫描电子显微镜的伪彩色艺术照普通家蝇黄蜂的头部8扫描电子显微镜的伪彩色艺术照普通家蝇黄蜂的头部104黄蜂的头部9黄蜂的头部电子显微镜的功能1、高分辨率2、大景深3、元素和结构分析d=0.61/nsin

光学显微镜的极限分辨率为200nm，放大倍率最大2000倍。扫描电镜的分辨率可以达到3nm甚至更小，放大倍率可到几万倍至一百万倍。Δf=

EDX能谱仪分析为什么需要用扫描电镜观察样品形貌？电子显微镜的功能1、高分辨率2、大景深3、元素和结构分析d=形貌观察表面微观形貌成分衬度图像扫描电镜的功能电子显微镜的功能形貌观察表面微观形貌成分衬度图像扫描电镜的功能电子显微镜的功元素与结构分析EBIC测PN结C_K3kVN_K3kVTa:360nmSiC:160nmSiN:240nmAl:500-600nmMagnification

x80kEDX或WDX的元素定性或定量分析EBSD测晶粒取向CL阴极荧光图像电子显微镜的功能元素与结构分析EBIC测PN结C_K3kVN_K3kVTa:扫描电子显微镜的应用及若干问题的讨论课件电子显微镜的功能电子显微镜的功能110外观的区别

光学显微镜透射电镜扫描电镜15外观的区别

光学显微镜透射电镜扫描电镜光学显微镜和电子显微镜的区别

111光学显微镜和电子显微镜的区别

16人眼分辨率示意图人眼分辨率仪器分辨率有效放大倍数仪器放大倍率和分辨率的关系人眼分辨率一定，获得高的分辨率需要大的放大倍数。电镜图像是如何形成的？112人眼分辨率示意图人眼分辨率仪器分辨率有效放大倍数仪器放大倍率图像放大倍率计算电镜图像是如何形成的？图像放大倍率计算电镜图像是如何形成的？电子束和样品表面相互作用产生的信号类型114电子束发射原理SEBSEEDX能谱电子束和样品表面相互作用产生的信号类型19电子束发射原理SE11510010,0001能量(eV)(入射电子能量:10,000eV)SEBSE产额

SE和BSE的电子能量幅度502010010,0001能量(eV)(入射电子能量:116Sample：BaCO3/TiO2Vacc：1kVMagnification：x70kSEBSESE和BSE信号21Sample：BaCO3/TiO2Vacc：1kVMa能谱原理部分CAu能谱原理部分CAuX射线的产生能谱原理部分X射线的产生能谱原理部分11924120全球最高分辨率原子级全息电子显微镜（点分辨率可达43pm）超强分析功能电子显微镜原子级分辨率开展分析（专为维多利亚大学定制的HF3300V）全球最高加速电压超高压透射电子显微镜（加速电压可达3MV）二、最新技术发展25全球最高分辨率超强分析功能电子显微镜全球最高加速电压二、电子源直径小，色差小束流大束流稳定大束流分析高分辨观察最新技术发展大束流分析高分辨观察最新技术发展样品：分子筛样品：分子筛123低加速电压下EDS分析加速电压

:5kV放大倍率

:150,000x探针电流

:

0.7nA分析时间：15min样品：Cu2O/Aunanoparticles

放大倍率

：150,000x探头：YAGBSEAuCu2OCu2O/Au纳米颗粒低加速电压下获得的高分辨面分布样品提供者：京都大学，化学研究所Prof.ToshiharuTeranishi探测器

:OxfordX-Max15028低加速电压下EDS分析加速电压:5kV样品：Cu2需要得到一个平滑的面？124BSEEBSDEDS

元素質量濃度[%]σ［%]K0.080.04Ca0.160.04内部成分、层厚晶粒尺寸、取向定性、定量分析EBICP-N结位置颗粒内部结构BSE光学特性CL需要得到一个平滑的面？29BSEEBSDEDS元素質量濃度加工过程截面制作割断超薄切片树脂包埋粗研磨精细研磨离子研磨掰断液氮脆断SEM观察、EDS分析、EBSD分析机械研磨树脂、真空排气设备Maruto研磨工具FIB加工加工过程截面制作割断超薄切片树脂包埋粗研磨精细研磨离子研磨掰与离子研磨系统IM4000结合，在页岩气开发和研究方面有独特优势！离子研磨系统与离子研磨系统IM4000结合，在页岩气开发和研究方面有独特50um5umGaNLED芯片内部構造観察SU8000観察条件試料

：LED素子内部構造照射電圧

：１ｋV観察条件

：LA-BSE半导体材料应用-离子研磨50um5umGaNLED芯片内部構造観察SU8000観5umPt100nmTiN100nm300nmVoidGoldbondingGoldpadVoid100nmAlGａN25nmGoldbondingActivelayerGoldpadLED芯片内部構造観察半导体材料应用-离子研磨5umPt100nmTiN100nm300nmVoSEGaAlNTiPtAu200nm(Analysiscondition)Vacc:5kVMagnification:x100kMappingtime:20min5um200nmAnalyzedarea②LayerstructureanalysisbylargeareaSDD半导体材料应用-MappingSEGaAlNTiPtAu200nm(Analysis130Li

battery–三元材料Adaptabletocross-sectionmakingoffragilematerial35Libattery–三元材料Adaptableto10μmSurfaceMagnifiedimageofcross-section5μm羟基磷灰石10μmSurfaceMagnifiedimageof气体保护功能的应用真空隔离状态样品来源：锂动力电池；观察条件：Vacc：800V；信号来源：SE同一视野空气中暴露10min气体保护功能的应用真空隔离状态样品来源：锂动力电池；观察条件氧峰激增样品来源：锂动力电池；观察条件：Vacc：3kV；信号来源：BSE真空隔离状态空气中暴露10min同一视野气体保护功能的应用氧峰激增样品来源：锂动力电池；观察条件：Vacc：3kV；信真空转移盒系统解决方案SU8010SU8200IM4000SU-70气体保护装置手套箱真空转移盒系统解决方案SU8010SU8200IM4000S真空转移盒如何完成？135SpecimenloadlockchamberSU70/6600/4800/8000*withSpecialloadlockchamberIM4000AirprotectionsystemAirprotectionsampleholderAirprotectionholder<Samplepreparation>Samplesetonthesamplestub.Capisattachedtoaholder.真空转移盒如何完成？40Specimenloadlock气体保护功能的应用Specimen:Negativeelectrodeoflithium-ionbattery(a)Withairprotectionionmilling(b)Withairexposureafterairprotectionionmilling(Airexposuretime:10minutes)SEMimage(signal:BSE)SEMimage(signal:BSE)Theleftsideimage(a)showsthatthestructureofNegativeelectrodeisclearlyobservedwhenCross-sectionmillingwithAirProtectionHolderisusedwhiledeformation(expansion)ofthestructureisobservedintherightsideimage(b)ifwithoutAirProtectionHolder.离子束加工后气体保护功能的应用Specimen:NegativeelBF/DF-STEM

Sample

：CarbonnanotubeVacc：30kVMag：x250kModel：SU8020通过透射附件实现扫描透射功能

BF/DF-STEMSample：Carbonnan138138MI4050NX9000

（三维实时观察）NX20001.4日立FIB技术FIBEBArEBBeamCoincidencePointSTEMEBSDEDSE-TSEArIBSEMFIB样品入射角度90°*专利第1374861号*TripleBeam是日立(HitachiHightechScience)注册商标4343MI4050NX9000

（三维实时观察）NX200最新的应用领域139最新的应用领域44应用领域140ito膜锂电池手机主板电容FPC应用领域45ito膜锂电池手机主板电容FPC场发射扫描电镜：可达20万倍贴壁细胞，固定脱水处理场发射扫描电镜：可达20万倍贴壁细胞，固定脱水处理新鲜大麦叶片感染病菌新鲜大麦叶片感染病菌细菌细菌蜘蛛卵保存脆弱样品结构及其相互关系：图为带有卵的蛛丝；背景为“勿忘我”花瓣及花粉蜘蛛卵保存脆弱样品结构及其相互关系：图为带有卵的蛛丝；背景为青霉素Penicillin(Pchrysogenum)

盘尼西林（青霉素）青霉素Penicillin(Pchrysogenum)真菌孢子真菌孢子金黄色葡萄球菌Bacteria:Staphylococcusaureus金黃色葡萄球菌金黄色葡萄球菌Bacteria:Staphylococcu假冒冬虫夏草粉末样品名称：假冒冬虫夏草粉末

假冒的冬虫夏草粉末有成分差别假冒冬虫夏草粉末样品名称：假冒冬虫夏草粉末假冒的冬虫夏草粉其他应用冰淇淋护肤霜凝胶岩石中油滴其他应用冰淇淋护肤霜凝胶岩石中油滴扫描电子显微镜的应用及若干问题的讨论课件材料类材料类纳米材料-分子筛纳米材料-分子筛雾霾颗粒硫酸盐颗粒富钛合包壳颗粒烟尘集合体颗粒铁氧化物颗粒氧化铁颗粒群富铬、铅的颗粒雾霾颗粒硫酸盐颗粒富钛合包壳颗粒烟尘集合体颗粒铁氧化物颗粒氧锂电池前驱体锂电池前驱体极低加速电压的观测隔膜极低加速电压的观测隔膜PCB板材、金相PCB板材、金相磁控管157陶瓷-磁控管磁控管62陶瓷-磁控管158铝金属金相结构金相WC-Co63铝金属金相结构金相WC-Co金属材料高分辨观察马氏体15nm金属材料高分辨观察马氏体15nm分辨率高，显微结构清晰可辨真实，图片所展示的是真实的样品形貌和结构景深好，图像没有局域的欠焦或过焦现象信噪比好，没有明显的雪花状噪声衬度适中，图像中无论黑区或白区的细节都能看清楚如何评价扫描电镜图片三、观察常见的问题-影响因素分辨率高，显微结构清晰可辨真实，图片所展示的景深好，图像没有信噪比对图片的影响信噪比差信噪比好三、观察常见的问题-影响因素信噪比对图片的影响信噪比差信噪比好三、观察常见的问题-影响因损伤后的假像真实形貌样品：锂电池隔膜加速电压比对样品的损伤三、观察常见的问题-影响因素损伤后的假像真实形貌样品：锂电池隔膜加速电压比对样品的损伤三

大视野、大景深示例12mm长的螺钉最小5倍的放大倍数大视野、大景深示例12mm长的螺荷电现象观察常见的问题-荷电荷电现象观察常见的问题-荷电165能量范围(eV)产生强度二次电子背散射电子荷电的干扰70能量范围(eV)产生强度二次电子背散射电子荷电的干扰如何消除荷电现象？样品喷镀（Au，Pt，C···）低真空观察低电压、低电流观察（最佳解决方案）如何消除荷电现象？样品喷镀（Au，Pt，C···）为什么不能喷镀？UncoatingCoating真实信息真实信息被掩盖为什么不能喷镀？UncoatingCoating真实信息真实消除荷电现象——低真空观察‐‐‐‐‐‐＋＋eeGGNon-conductivespecimen低真空观察的不足：空气浓度高，电子束散射强，分辨率和信噪比严重下降加速电压高，样品激发体积大，无法观察表面Acceleratingvoltage:15kVSample:NormalpaperSignalamplification6Pa30Pa150PaCharge-upreduction消除荷电现象——低真空观察‐‐‐‐‐‐＋＋eeGGNon-c10Pa15Pa30Pa空气浓度对荷电的影响消除荷电现象——低真空观察10Pa15Pa30Pa空气浓度对荷电的影响消除荷电现象——低加速电压下生物样品的观测样品：昆虫触角低加速电压下生物样品的观测样品：昆虫触角低加速电压下生物样品的观测大肠杆菌，固定脱水处理低加速电压下生物样品的观测大肠杆菌，固定脱水处理制样所需工具及材料：172制样的基本方法制样所需工具及材料：77制样的基本方法块体类样品1、与样品台接触面保持平整；2、固定：采用导电胶带绑缚，固定性强的液体胶，

或采用样品夹持台；3、镶嵌类样品的电荷牵引；4、不导电样品的喷金处理。OR173制样的基本方法块体类样品1、与样品台接触面保持平整；OR78制样的基本方法粉末类样品1、保持样品干燥；2、样品分散均匀；3、粉末样品固定牢固；OR174制样的基本方法粉末类样品1、保持样品干燥；OR79制样的基本方法样品分散于乙醇（或其它有机试剂），并用超声波分散均匀取一滴分散好的液体样品，滴在铝箔（或硅片上）175制样的基本方法样品分散于乙醇（或其它有机试剂），并用超声波分散均匀取一滴分膜类样品1、样品表面清洁，铺展均匀；2、样品固定良好；3、荷电有“牵引”；OR176制样的基本方法膜类样品1、