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文档简介
1、半导体有限公司半导体有限公司 程序名称:测量系统分析控制程序文件编号: MSSA-010001 版本:A生效日期: 22002-10-04版本更 改改 内内 容容生效日期A初版发行2002/100/04 编写人: 日期: (副管理者代代表) 审批人: 日期: ( 厂长)如此印章并非红色如此印章并非红色,代表此文件不会受到控制及更新,请使用受控制之文件印印章w10目的1了解测量器具具量测的性能能,是否能满满足测量要求求。12 对新进进或维修后的的量测设备,能能提供一个客客观正确的变变异分析及评评价量测质量量。13 应用统统计方法来分分析测量系统统之再现性及及重复性,作作为下列各项项事项之参考考:
2、131试验验设备是否需需要校验;132是否否可供使用;133是否否有人为因素素造成之失准准;134是否否需要修正校校验的周期及及频率。20适用范围围1适用于公司车车载产品量测测设备及量具具的统计变差差分析。30定义1测量仪器:任任一用来量测测产品特性之之仪器皆称为为测量仪器。32测量系统统:用来对被被测特性赋值值的操作、程程序、量具、设设备、软件以以及操作人员员的集合。33测量系统统分析:应用用统计方法,基基于实际之制制程选择适当当之作业人数数,样本数及及重复测试次次数,以研究究分析主要变变差原因。34再现性:测量一个零零件的某特性性时,不同评评价人用同一一量具测量平平均值变差。5重复性:测量
3、量一个零件的的某特性时,一一位评价人用用同一量具多多次测量的变变差。40职责41计量室:负责制定并并实施测量仪仪器校验计划划。42各使用部部门负责使用用仪器之变差差分析(主要要指重复性、再再现性)及送送校。43设备维修修部负责测量量设备(不包包括工具)之之维护保养;各使用部门门负责测量工工具之维护保保养。50内容否是是适用的分析时间(长期)是否计量型测量仪器?是测量是否随机赋值?测量是否可重复?1测量系统分析析实施流程图图否是是适用的分析时间(长期)是否计量型测量仪器?是测量是否随机赋值?测量是否可重复?超过本程序的范围见其他参考文件图表分析否计数型量具研究(小样法)否超过本程序的范围见其他参
4、考文件图表分析否计数型量具研究(小样法)否均值和极差分析法常用量具测量系系统分析周期期(参考控制制计划):均值和极差分析法量具卡尺电阻表卷尺投影仪螺旋测微仪其它量具周期3个月3个月3个月6个月6个月6个月5.2计量型测测量系统分析析5.2.1量测测仪器、量测测物及人员选选择5.2.1.11对用于测量量产品的量具具之精度,必必须高于被测测物公差的11/10,报报告采用附录录中MSA-010011-03B;对用于测量量过程变差的的量具之精度度,必须高于于过程变差的的1/10。报报告采用附录录中MSA-010011-04B。5.2.1.22测量仪器必必须校验合格格,并贴有“计量合格”标识。5.2.1
5、.33随机选取几几个有资格使使用测量仪器器的操作员,评估测量器器具。5.2.1.44被测物(半半成品)在生生产线上定期期随机抽取(要求同一型型号)。5.2.2重复复性和再现性性计算5.2.2.11对车载产品品(参考控制制计划)的测测量仪器(包包括新购入仪仪器)必须进进行测量系统统分析。5.2.2.22将作业者分分为A、B、CC三者,在生生产中抽取零零件(产品或或半成品)110个,并对对零件编号,但作业者无无法看到零件件号码。5.2.2.33再现性量测测:使作业者者ABCC分开,使他他们不能互相相看到,依随随机顺序抽取取10个零件件,分别进行行量测,由观观测者将量测测数据分别记记录在计量量型量具
6、重复复性和再现性性数据表中中。5.2.2.44重复性量测测:重复以上上循环,仍然然要随机地抽抽取零件.,并由观测者者将量测数据据分别记录在在量具重复复性和再现性性数据表中中。5.2.2.55计算:测量量器具再现性性及重复性计计算依计量量型量具重复复性和再现性性数据表及及计量型量量具重复性和和再现性报告告内规定的的公式计算。5.2.3结果果分析5.2.3.11如重复性(EV)变异异值大于再现现性(AV)时, 说明明测量仪器的的变差大于评评价人的变差差:(1),需改良良或增强测量量仪器之结构构设计;(2),测量仪仪器之夹具及及零件定位方方式需加以改改善;(3),测量仪仪器需加以维维护、保养。 5.
7、2.3.2如再现性性(AV)变变异值大于重重复性(EVV)时, 说说明评价人的的变差大于测测量仪器的变变差: (1),作业者对测测量仪器的操操作方法及数数据读取方式式需加强,或或修订作业指指导书,使其其有关的操作作要点更详细细; (2),测量仪具的的校验不完善善及仪器读表表刻度标示不不准确; (3),可能需要夹夹具协助操作作,使测量的的数据更具有有一致性;5.2.3.33适用性评价价GR&R在100%以下可接接受。GR&R在100%30%表示测量系系统视情况决决定是否接受受(依其应用用的重要性,量具成本,维修的费用用等决定是否否可接受)。GR&R超过330%表示测测量仪器系统统需加以改进进,并
8、通知客客户协调处理理对策,包括括产品是否再再加工或重新新再测试。5.3计数型测测量系统分析析(小样法)5.3.1将量量测者分为AA、B二者,应应选择原使用用测量仪器的的操作者。5.3.2零件件(产品或半半成品)200个,20个个零件中应有有适量的不合合格品。5.3.3将测测量AB二二者分开,使使他们不能互互相看到,随随机抽取200个产品或半半成品进行测测量,并记录录结果(结果果只有G或NNG)在如下下表中:计数型量具分析析表A 评 价价 人B 评 价价 人1212121920GGNGNGGGNGNGGGNGNGGGNGNG5.3.4如果果所有的测量量结果(每个个零件)一致致则接受该量量具,否则
9、应应改进或重新新评价该量具具。如果不能能改进该量具具,则不能被被接受并且应应找到一个可可接受的替代代测量系统。6.0记录管理理6.1计量型型量具重复性性和再现性数数据表、计计量型量具重重复性和再现现性报告、计计数型量具分分析表由量量具使用人员员填写记录,经经各部门技术术员、工程师师审查,并由由各品质部工工程师审核后后由品质部负负责保存。(注注:此表格只只适用于手工工计算用,若若用MINTTAB软件计计算可保存软软件计算格式式,但需审批批)6.2计量型型量具重复性性和再现性数数据表保存存二年计量型量具重重复性和再现现性报告保保存二年计数型量具分分析表保存存二年7.0附录计数型量具分析析表 部门:
10、 量具名名称: 编号号:评价人A: 评评价人B: 执行/日期: 审批/日期: 评定结果: 零件号A 评 价价 人B 评 价价 人12121234567891011121314151617181920 MSSA-010001-011A评价人A: 评价人人B: 评价价人 C: 执行/日期: 审批批/日期:评价人/试验次次数零件平均值123456789101A 1/2 2/3 3/4 均值=5 极差6B 1/7 2/8 3/9 均值=10 极差=11C 1/12 2/13 3/14 均值值=15 极差16 零件均均值()17 + = + /# 评价人数量量= =18Maxx= Min= =19 D4
11、*= =UCLLR20 D3*= =LCLRR *二次次试验时D44=3.277,三次试验验时D4=22.58。七七次试验以内内D3=0,UUCLR代表单个RR的极限。圈圈出那些超出出极限的值。查查明原因并纠纠正。同一评评价人采用最最初的仪器重重复这些读数数或剔除这些些值并由其余余观测值再次次平均并计算算R和极限值值。计量型量具重复复性和再现性性数据表MSA-010001-022B计量型量具重复复性和再现性性报告(用于于测量产品的的量具)零件编号和名称称: 量具名称: 日期:特性: 量具编号: 执行:尺寸规格: 量具具类型: 审批:跟据数据表: RRp=评定结果:测量设备分析相对公差百分比比重
12、复性设备变变差(EV)EV =KK1 = = %EV=1000=100 / = %试验次数K1234.563.05再现性评价人人变差(EVV)AV= = = n=零件数量r=试验次数%AV=1000=100 / = %评价人数量23K23.652.70重复性和再现性性(R&R) R&R= = GR&R=1000=100 / = %零件数量K3零件变差(PVV) PV=RppK3= = 23456789103.652.702.302.081.931.821.741.671.62总变差(TV)TV= = = %PV =1000=100 / = %所有计算都基于于预期5.115(在正态分分态曲线之下
13、下99.0%的面积)K1为5.155/d2,dd2取决于试试验次数(mm)和零件数数与评价人数数的乘积(gg),并假设设该值大于115。d2数数量来自表22。AV如果计算算中根号下出出现负值,评评价人变差缺缺省为0。K2为5.155d2*,式式中d2*取取决于零件数数(m)和(g),g为为1,因为只只有单极差计计算。K2为5.155d2*,式式中d2*取取决于零件数数(m)和(g),g为为1,因为只只有单极差计计算。MSA-010001-033B 计量型量具重复复性和再现性性报告(用于于测量过程变变差的量具)零件编号和名称称: 量具名称: 日期:特性: 量具编号: 执行:尺寸规格: 量具具类型
14、: 审批:跟据数据表: Rp=评定结果:测量设备分析相对过程变差百百分比重复性设备变变差(EV)EV =KK1 = = %EV=1000=100 / = %试验次数K1234.563.05再现性评价人人变差(EVV)AV= = = n=零件数量r=试验次数%AV=1000=100 / = %评价人数量23K23.652.70重复性和再现性性(R&R) R&R= = GR&R=1000=100 / = %零件数量K3零件变差(PVV) PV=RppK3= = 23456789103.652.702.302.081.931.821.741.671.62总变差(TV)TV= = = %PV =1000=100 / = %所有计算都基于于预期5.115(在正态分分态曲线之下下99.0%的面积)K1为5.155/
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