真空镀膜实验操作步骤_第1页
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文档简介

1、真空镀膜,使其淀积在本实验应用真空烝发的方法：即在真空中把制作薄膜的材料加热烝发 适当的表面上来获得一质量优良的金属膜。,使其淀积在真空镀膜机真空镀膜机结构图真空镀膜机结构图蒸发系统蒸发系统蒸发源蒸发源的形状如下图，大致有螺旋式(a)、篮式(b)、发叉式(c)和浅舟式(d)等。蒸发源真空蒸发实验的具体操作步骤:检查真空镀膜机及复合真空计上各开关，并它们全部置在“关”的位置(特别是复 合真空计上的规管电源一定要置在“关”的位置)；接通真空镀膜机总电源，再把钟罩操作旋钮拨至“钟罩升”，等钟罩升至适当位置后 拨至“关”；把制作薄膜的铝材处理后放置在蒸发源的适当位置，再用挡板挡住蒸发源；把经清 洗、干

2、燥处理后的玻璃片放置在工作架的适当位置；然后把钟罩操作旋钮拨至“钟罩降” 使钟罩降至最低位置后拨至“关”；接通复合真空计电源，校准“测量2”的加热电流为98 mA，然后旋钮旋到“测量2”；接通真空镀膜机冷却水源，再接通真空镀膜机的“机械泵及扩散泵”电源，“拉”低 阀，用“测量2”监测钟罩内的气压变化，记录相应的P (t)t曲线，直到钟罩内 的气压值下降为5Pa后，“推”低阀，改用“测量1 ”监测系统内的气压变化(确认“测 量1”的加热电流为98 mA)，直到系统内的气压值为5Pa时，“开”高阀；再次采用“测量2”监测钟罩内的气压变化，记录相应的P (t)t曲线，直到钟 罩内的气压值为0.1Pa后，接通复合真空计上的规管电源，启用电离规管对钟罩内的气 压变化进行监测并记录相应的P (t)t曲线，直到钟罩内的气压值下降为0.015Pa 以下；用电源插销接通所选用的蒸发源“电极”，再接通“烘烤、蒸发”电源，调节其电流 强度为30 A并维持约1分钟，移开挡板，继续增大电流至45A并维持30秒，然后把 电流强度调节为零，同时关闭复合真空计上的规管电源！ ！在进行抽气10分钟后，“关”高阀，“机械泵及扩散泵”改接为“机械泵”；机械泵继续开动，水源不关，开风扇吹扩散泵30分钟后接通“充气阀”

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