建筑设计-洁净厂房设计规范

1、建筑设计计洁净厂厂房设计计规范GGBJ773884第一章总总则主编编部门：中华人人民共和和国电子子工业部部批批准部门门：中华华人民共共和国国国家计划划委员会会施施行日期期：19885年6月1日关关于发布布洁净净厂房设设计规范范的通通知计标1988424883号根根据原国国家建委委（78）建发发设字第第562号文的的要求，由电子子工业部部会同有有关部门门共同编编制的洁净厂厂房设计计规范，已经经有关部部门会审审。现批批准洁洁净厂房房设计规规范GBJJ7384为国家家标准，自一九九八五年年六月一一日起施施行。本规规范由电电子工业业部管理理，其具具体解释释等工作作，由电电子工业业部第十十设计研研究院负

2、负责。国家家计划委委员会一九九八四年年十二月月一日编制制说明本规规范是根根据原国国家基本本建设委委员会（78）建发发设字第第5622号文的的要求，由我部部负责主主编的。具体由由我部第第十设计计研究院院会同机机械工业业部第十十一设计计研究院院、航空空工业部部第四规规划设计计研究院院、电子子工业部部第十一一设计研研究院、兵器工工业部第第五设计计研究院院、中国国船舶工工业总公公司第九九设计研研究院、航天工工业部第第七设计计研究院院、化工工部第六六设计院院、中国国有色金金属总公公司北京京有色冶冶金设计计研究总总院、中中国建筑筑科学研研究院和和哈尔滨滨建筑工工程学院院等单位位共同编编制而成成。在编制制过

3、程中中，规范范编制组组进行了了广泛的的调查研研究，认认真总结结了我国国洁净厂厂房建设设和使用用的实践践经验，组织有有关单位位开展了了必要的的科学试试验研究究工作，并广泛泛地征求求了全国国有关单单位的意意见。最后后，由我我部会同同有关部部门审查查定稿。本本规范共共分八章章和七个个附录，主要的的内容有有：总则则、空气气洁净度度等级、总体设设计、建建筑、空空气净化化、给水水排水、工业气气体管道道、电气气等。鉴于于本规范范系初次次编制，执行过过程中，希各单单位结合合工程实实践和科科学研究究，认真真总结经经验，如如发现需需要修改改和充实实之处，请将意意见和有有关资料料寄交我我部第十十设计研研究院，以供今

4、今后修订订时参考考。电子工工业部一九九八四年年八月二二十七日日第第一章总则第1.00.1条洁净厂厂房设计计必须贯贯彻执行行国家的的有关方方针政策策，做到到技术先先进、经经济合理理、安全全适用、确保质质量，符符合节约约能源和和环境保保护的要要求。第第1.00.2条本规范范适用于于新建和和改建、扩建的的洁净厂厂房设计计，但不不适用于于以细菌菌为控制制对象的的生物洁洁净室。本规范范有关防防火和疏疏散、消消防设施施章节的的规定，不适用用于建筑筑高度超超过24米的高高层洁净净厂房和和地下洁洁净厂房房的设计计。第1.00.3条在利用用原有建建筑进行行洁净技技术改造造时,洁净厂厂房设计计必须根根据生产产工艺

5、要要求，因因地制宜宜、区别别对待,充分利利用已有有的技术术设施。第1.00.4条洁净厂厂房设计计应为施施工安装装、维护护管理、检修测测试和安安全运行行创造必必要的条条件。第第1.0.5条洁净厂厂房设计计除应按按本规范范执行外外，尚应应符合现现行的国国家标准准、规范范的有关关要求。第二章章空气洁洁净度等等级第2.00.1条空气洁洁净度应应按表2.00.1规定划划分为四四个等级级。空气洁洁净度等等级表表2.00.1 等级每立方米米（每升升）空气气中0.5微米尘尘粒数每立方米米（每升升）空气气中5微米尘尘粒数100级级35100（3.5）10000级3510000（35）2500（0.225）100

6、000级35100000（350）25000（2.5）1000000级3510000000（35000）250000（25）注：对于空空气洁净净度为100级的洁洁净室内内大于等等于5微米尘尘粒的计计数，应应进行多多次采样样，当其其多次出出现时，方可认认为该测测试数值值是可靠靠的。第第2.00.2条洁净室室空气洁洁净度等等级的检检验，应应以动态态条件下下测试的的尘粒数数为依据据。洁净净室空气气洁净度度的测试试，应符符合附录录二规定定。第三章总总体设计计第第一节洁净厂厂房位置置选择和和总平面面布置第第3.11.1条洁净厂厂房位置置的选择择，应根根据下列列要求并并经技术术经济方方案比较较后确定定：一

7、、应应在大气气含尘浓浓度较低低，自然然环境较较好的区区域；二、应远离离铁路、码头、飞机场场、交通通要道以以及散发发大量粉粉尘和有有害气体体的工厂厂、贮仓仓、堆场场等有严严重空气气污染、振动或或噪声干干扰的区区域。如如不能远远离严重重空气污污染源时时，则应应位于其其最大频频率风向向上风侧侧，或全全年最小小频率风风向下风风侧；三、应布置置在厂区区内环境境清洁、人流货货流不穿穿越或少少穿越的的地段。第3.11.2条对于兼兼有微振振控制要要求的洁洁净厂房房的位置置选择，应实际际测定周周围现有有振源的的振动影影响，并并应与精精密设备备、精密密仪器仪仪表允许许环境振振动值进进行分析析比较。第3.11.3条

8、洁净厂厂房最大大频率风风向上风风侧有烟烟囱时，洁净厂厂房与烟烟囱之间间的水平平距离不不宜小于于烟囱高高度的12倍。第3.11.4条洁净厂厂房与交交通干道道之间的的距离不不宜小于于50米。第3.11.5条洁净厂厂房周围围宜设置置环形消消防车道道（可利利用交通通道路），如有有困难时时，可沿沿厂房的的两个长长边设置置消防车车道。第第3.11.6条洁净厂厂房周围围的道路路面层，应选用用整体性性好、发发尘少的的材料。第3.11.7条洁净厂厂房周围围应进行行绿化.可铺植植草坪、种植对对大气含含尘浓度度不产生生有害影影响的树树木,并形成成绿化小小区。但但不得妨妨碍消防防操作。第二节工工艺布置置和设计计综合协

9、协调第3.22.1条工艺布布置应符符合下列列要求：一一、工艺艺布置合合理、紧紧凑。洁洁净室或或洁净区区内只布布置必要要的工艺艺设备以以及有空空气洁净净度等级级要求的的工序和和工作室室；二、在在满足生生产工艺艺要求的的前提下下，空气气洁净度度高的洁洁净室或或洁净区区宜靠近近空气调调节机房房，空气气洁净度度等级相相同的工工序和工工作室宜宜集中布布置，靠靠近洁净净区入口口处宜布布置空气气洁净度度等级较较低的工工作室；三三、洁净净室内要要求空气气洁净度度高的工工序应布布置在上上风侧，易产生生污染的的工艺设设备应布布置在靠靠近回风风口位置置；四、应应考虑大大型设备备安装和和维修的的运输路路线，并并预留设

10、设备安装装口和检检修口；五五、应设设置单独独的物料料入口，物料传传递路线线应最短短，物料料进入洁洁净区之之前必须须进行清清洁处理理。第3.22.2条洁净厂厂房内宜宜少设隔隔间，但但在下列列情况下下可予以以分隔：一一、按生生产的火火灾危险险性分类类，甲、乙类与与非甲、乙类相相邻的生生产区段段之间，或有防防火分隔隔要求者者；二、生生产过程程中产生生较强噪噪声或散散发较多多热量、尘粒和和有害气气体，且且不能采采取局部部措施加加以控制制者；三、生产联联系少，并经常常不同时时使用的的两个生生产区段段之间。第3.22.3条洁净厂厂房的平平面和空空间设计计，宜将将洁净区区、人员员净化、物料净净化和其其他辅助

11、助用房进进行分区区布置。同时应应考虑生生产操作作、工艺艺设备安安装和维维修、气气流组织织型式、管线布布置以及及净化空空气调节节系统等等各种技技术设施施的综合合协调效效果。第第3.22.4条洁净厂厂房设计计必须合合理确定定各种管管线的平平面位置置和竖向向标高。第3.22.5条洁净厂厂房内各各种固定定技术设设施（如如送风口口、照明明器、回回风口、各种管管线等）的布置置，宜首首先考虑虑净化空空气调节节系统的的要求。第三节噪噪声控制制第3.33.1条洁净室室内的噪噪声级，应符合合下列要要求：一、动态测测试时，洁净室室内的噪噪声级不不应超过过70分贝A。二二、空态态测试时时，乱流流洁净室室的噪声声级不宜

12、宜大于60分贝A；层层流洁净净室的噪噪声级不不应大于于65分贝A。注注：由于技技术经济济条件限限制，或或噪声大大于70分贝A对生产产无影响响时，噪噪声级可可适当放放宽，但但不宜大大于75分贝A；上述噪噪声级是是指在室室内每一一个工作作点人耳耳位置（人离开开）的测测量值。对于变变动噪声声，则取取相同位位置处在在一个正正常工作作日内的的等效连连续声压压级。第第3.33.2条洁净室室的噪声声频谱限限制，应应采用倍倍频程声声压级；各各频带声声压级值值不宜大大于表3.33.2的规定定。噪声频频谱限制制值表3.33.2 6312525050010000200004000080000空态乱流79706358

13、55525040层流8374686360575554动态8778726865626059第3.33.3条洁净厂厂房的平平、剖面面布置，应考虑虑噪声控控制的要要求，其其围护结结构应有有良好的的隔声性性能，并并宜使各各部分隔隔声量相相接近。第3.33.4条洁净室室内的各各种设备备均应选选用低噪噪声产品品。对于于辐射噪噪声超过过洁净室室允许值值的设备备，应设设置专用用隔声设设施（如如隔声间间、隔声声罩等）。第3.33.5条净化空空气调节节系统噪噪声超过过允许值值时，应应采取隔隔声、消消声、隔隔振等控控制措施施。除事故故排风外外，应对对洁净室室内的排排风系统统进行减减噪设计计。第3.33.6条净化空空

14、气调节节系统，根据室室内噪声声级的要要求，风风管内风风速宜按按下列规规定选用用：一、总总风管为为610米/秒；二、无无送、回回风口的的支风管管为68米1秒；三、有有送、回回风口的的支风管管为36米/秒。第3.33.7条洁净厂厂房的噪噪声控制制设计必必须考虑虑生产环环境的空空气洁净净度要求求，不得得因控制制噪声而而影响洁洁净室的的净化条条件。第四节微微振控制制第3.44.1条洁净厂厂房和周周围辅助助性站房房内有强强烈振动动的设备备（包括括水泵等等）及其其通往洁洁净室的的管道，应采取取积极隔隔振措施施。第3.44.2条对洁净净厂房内内外各类类振源，应测定定其对洁洁净厂房房的综合合振动影影响。如如受

15、条件件限制，也可根根据经验验对综合合振动影影响进行行评价。并应与与精密设设备、精精密仪器器仪表的的允许环环境振动动值进行行比较，以确定定对其采采取必要要的隔振振措施。第3.44.3条精密设设备、精精密仪器器仪表的的隔振措措施，应应考虑减减少发尘尘量、保保持洁净净室内合合理的气气流组织织等要求求。当采采用空气气弹簧隔隔振台座座时，应应对气源源进行处处理，使使其达到到洁净室室的空气气洁净度度等级。第四章章建筑第一节节一般规规定第4.11.1条洁净厂厂房的建建筑平面面和空间间布局，应具有有适当的的灵活性性。洁净净区的主主体结构构不宜采采用内墙墙承重。第4.11.2条洁净室室的高度度应以净净高控制制，

16、净高高应以100毫米为为基本模模数。第第4.11.3条洁净厂厂房主体体结构的的耐久性性与室内内装备和和装修水水平相协协调，并并应具有有防火、控制温温度变形形和不均均匀沉陷陷性能（地震区区应符合合抗震设设计规定定）。厂厂房变形形缝应避避免穿过过洁净区区。第4.11.4条送、回回风管和和其他管管线需暗暗敷时，应设置置技术夹夹层、技技术夹道道或地沟沟等；穿穿越楼层层的竖向向管线需需暗敷时时，宜设设置技术术竖井。第4.11.5条对兼有有一般生生产和洁洁净生产产的综合合性厂房房，其方方案设计计和构造造的处理理，应避避免在人人流与物物流运输输以及防防火方面面对洁净净生产带带来不利利影响。第二节节人员净净化

17、和物物料净化化设施第第4.22.1条洁净厂厂房内应应设置人人员净化化、物料料净化用用室和设设施，并并应根据据需要设设置生活活用室和和其他用用室。第第4.22.2条人员净净化用室室，宜包包括雨具具存放间间、管理理室、换换鞋室、存外衣衣室、盥盥洗室、洁净工工作服室室和空气气吹淋室室等。厕所所、淋浴浴室、休休息室等等生活用用室以及及工作服服清洗间间和干燥燥间等其其他用室室，可根根据需要要设置。第4.22.3条人员净净化用室室和生活活用室的的设计，应符合合下列要要求：一、人员净净化用室室的入口口处，应应设净鞋鞋器。二、存外衣衣室和洁洁净工作作服室应应分别设设置。外外衣存衣衣柜和洁洁净工作作服柜应应按设

18、计计人数每每人设一一柜。三、盥洗室室应设洗洗手和烘烘干设备备。水龙龙头应按按最大班班人数每每10人设一一个。四、洁净区区不得设设厕所。人员净净化用室室内的厕厕所应设设前室。五五、空气气吹淋室室应设在在洁净区区人员入入口处,并应与与洁净工工作服室室相邻。单人空空气吹淋淋室按最最大班人人数每30人设一一台。当当仅为100级垂直直层流洁洁净室时时，可改改设气闸闸室。洁净净区工作作人员超超过5人时，空气吹吹淋室一一侧应设设旁通门门。第4.22.4条人流路路线应避避免往复复交叉。人员净净化用室室和生活活用室的的布置，一般按按图4.22.4的人员员净化程程序进行行布置。第4.22.5条根据不不同的空空气洁

19、净净度等级级和工作作人员数数量，洁洁净厂房房内人员员净化用用室和生生活用室室的建筑筑面积应应合理确确定。一一般可按按洁净区区设计人人数平均均每人46平方米米计算。第4.22.6条洁净工工作服室室内，对对空气净净化应有有一定的的要求。第4.22.7条洁净室室的设备备和物料料出入口口，应根根据设备备和物料料的性质质、形状状等特征征设置物物料净化化用室及及其设施施。物料料净化用用室的布布置，应应防止净净化后物物料在传传递过程程中被污污染。第三节节防火和和疏散第第4.33.1条洁净厂厂房的耐耐火等级级不应低低于二级级。吊顶顶材料应应为非燃燃烧体，其耐火火极限不不宜小于于0.225小时。第4.33.2条

20、洁净厂厂房内一一般的生生产工作作间的火火灾危险险性，可可按附录录三进行行分类。第4.33.3条甲、乙乙类生产产的洁净净厂房，宜采用用单层厂厂房，其其防火墙墙间最大大允许占占地面积积，单层层厂房应应为3，000平方米米，多层层厂房应应为2，000平方米米。第4.33.4条甲、乙乙类生产产或设置置在甲、乙类生生产环境境中的装装配式洁洁净室，其顶棚棚和壁板板（包括括内部填填充物）应为非非燃烧体体。第4.33.5条在一个个防火区区内的综综合性厂厂房，其其洁净生生产与一一般生产产区域之之间应设设置非燃燃烧体隔隔墙封闭闭到顶。隔墙及及其相应应顶板的的耐火极极限不应应低于1小时，隔墙上上的门窗窗耐火极极限不

21、应应低于0.6小时。穿过隔隔墙或顶顶板的管管线周围围空隙应应采用非非燃烧材材料紧密密填塞。第4.33.6条技术竖竖井井壁壁应为非非燃烧体体，其耐耐火极限限不应低低于1小时。井壁上上检查门门的耐火火极限不不应低于于0.6小时；竖井内内在各层层或间隔隔一层楼楼板处，应采用用相当于于楼板耐耐火极限限的非燃燃烧体作作水平防防火分隔隔；穿过过水平防防火分隔隔的管线线周围空空隙，应应采用非非燃烧材材料紧密密填塞。第4.33.7条洁净厂厂房每一一生产层层、每一一防火分分区或每每一洁净净区的安安全出口口的数量量，均不不应少于于两个。但符合合下列要要求者，可设置置一个安安全出口口：一、甲甲、乙类类生产厂厂房每层

22、层的总建建筑面积积不超过过50平方米米，且同同一时间间内的生生产人员员总数不不超过5人；二、丙丙、丁、戊类生生产厂房房，符合合国家现现行的建筑设设计防火火规范的规定定者。安全全出口应应分散均均匀布置置，从生生产地点点至安全全出口不不得经过过曲折的的人员净净化路线线。第4.33.8条洁净区区与非洁洁净区和和洁净区区与室外外相通的的安全疏疏散门应应向疏散散方向开开启。安安全疏散散门不得得采用吊吊门、转转门、侧侧拉门以以及电控控自动门门。第4.33.9条当洁净净厂房同同层外墙墙上可供供消防人人员通往往厂房洁洁净区的的门窗，其洞口口间距大大于80米时，则应在在该段外外墙的适适当部位位设置专专用消防防口

23、。专用用消防口口的宽度度不应小小于750毫米，高度不不应小于于18000毫米，并应有有明显标标志。楼层层的专用用消防口口应附设设阳台，并从二二层起向向上设爬爬梯。注：专用消消防口是是消防人人员为灭灭火而进进入建筑筑物的专专用入口口，平时时封闭，使用时时由消防防人员从从室外打打开。洁净厂厂房外墙墙上的吊吊门、电电控自动动门以及及宽度小小于750毫米，高度小小于18000毫米或或装有铁铁栅栏的的窗,均不得得作为火火灾发生生时能供供消防人人员进入入的洞口口。第四节节室内装装修第4.44.1条洁净厂房房的建筑筑围护结结构和室室内装修修，应选选用气密密性良好好，且在在温度和和湿度等等变化作作用下变变形小

24、的的材料。墙面内内装修当当需附加加构造骨骨架和保保温层时时，应采采用非燃燃烧体或或难燃烧烧体。第第4.44.2条洁净室室内墙壁壁和顶棚棚的表面面，应符符合平整整、光滑滑、不起起灰、避避免眩光光、便于于除尘等等要求；应减少少凹凸面面，阴阳阳角做成成圆角。室内装装修宜采采用干操操作，如如为抹灰灰时，应应采用高高级抹灰灰标准。第4.44.3条洁净室室的地面面，应符符合平整整、耐磨磨、易除除尘清洗洗、不易易积聚静静电、避避免眩光光、并有有舒适感感等要求求。第4.44.4条洁净厂厂房技术术夹层的的墙面、顶棚宜宜抹灰。如需在在技术夹夹层内更更换高效效空气过过滤器时时，宜增增刷涂料料饰面。地地面、回回风地沟

25、沟和位于于地下的的技术夹夹层，应应采用防防水或防防潮、防防霉措施施。建筑风风道和回回风地沟沟的内表表面装修修标准，应与整整个送、回风系系统相适适应，并并应易于于除尘。第4.44.5条洁净室室和人员员净化用用室设置置的外窗窗，应采采用双层层玻璃金金属窗，并应有有良好的的气密性性。第4.44.6条洁净室内内的密闭闭门宜朝朝空气洁洁净度较较高的房房间开启启。无窗窗洁净室室的密闭闭门上宜宜设观察察窗。第第4.44.7条洁净室室门窗、墙壁、顶棚、地（楼楼）面的的构造和和施工缝缝隙，均均应采取取可靠的的密封措措施。第第4.44.8条洁净室室内的色色彩宜淡淡雅柔和和。室内内各表面面材料的的光反射射系数，顶棚

26、和和墙面宜宜为0.60.8；地面面宜为0.1150.335。第五节节装配式式洁净室室第4.55.1条在新建建或改建建的洁净净厂房设设计中，对于面面积不大大、层高高较低、要求空空气洁净净度较高高的生产产环境可可采用装装配式洁洁净室。第4.55.2条装配式式洁净室室所在的的房间应应有空气气净化要要求，并并应与装装配式洁洁净室的的空气洁洁净度等等级相适适应。外外围建筑筑的耐火火等级不不得低于于二级。第4.55.3条装配式式洁净室室顶棚可可由装配配式洁净净室本身身的壁板板或支柱柱支承，也可固固定在外外围建筑筑上。回回风地沟沟或回风风地坑宜宜设在外外围建筑筑的地面面以下。第4.55.4条装配式式洁净室室

27、设计应应满足在在该室室室内安装装壁板的的要求。装配式式洁净室室的构配配件应做做到：连连接构造造的整体体性强、气密性性好，并并便于组组装、拆拆卸、包包装和运运输。第第4.55.5条装配式式洁净室室的四周周壁板中中，宜有有一面或或两面紧紧贴或靠靠近外围围建筑的的墙壁。紧贴时时，壁板板与墙壁壁之间的的安装缝缝隙应封封闭；靠靠近时，应留有有清扫距距离。当当装配式式洁净室室壁板外外侧设有有技术夹夹道时，壁板与与外围建建筑内墙墙面之间间净宽不不宜小于于600毫米。第五章空空气净化化第第一节一般规规定第5.11.1条洁净厂厂房内各各洁净室室的空气气洁净度度等级的的确定，应符合合下列要要求：一、洁净室室内有多

28、多种工序序时，应应根据各各工序的的不同要要求，采采用不同同的空气气洁净度度等级。二二、在满满足生产产工艺要要求的前前提下，洁净室室的气流流组织，宜采用用局部工工作区空空气净化化和全室室空气净净化相结结合的形形式。第第5.11.2条层流洁洁净室和和乱流洁洁净室以以及运行行班次和和使用时时间不同同的洁净净室，其其净化空空气调节节系统均均宜分开开设置。第5.11.3条洁净室室内的计计算温、湿度，应符合合下列规规定：一、满足生生产工艺艺要求；二二、生产产工艺无无温、湿湿度要求求时，洁洁净室温温度为2026，湿度度小于70%；三三、人员员净化用用室和生生活用室室温度为为1628。第5.11.4条洁净室室

29、内应保保证一定定的新鲜鲜空气量量，其数数值应取取下列风风量中的的最大值值：一、乱乱流洁净净室总送送风量的的1030%，层流流洁净室室总送风风量的24%；二二、补偿偿室内排排风和保保持室内内正压值值所需的的新鲜空空气量；三三、保证证室内每每人每小小时的新新鲜空气气量不小小于40立方米米。第5.11.5条洁净区区的清扫扫，宜采采用移动动式高效效真空吸吸尘器或或设置集集中式真真空吸尘尘系统。洁净室室内集中中式真空空吸尘系系统的管管道，应应暗敷。第5.1.6条在净化化空气调调节系统统设计中中，对施施工和维维护管理理要求，可按附附录四和和附录五五的规定定。第二节洁洁净室正正压控制制第5.22.1条洁净室

30、室必须维维持一定定的正压压。不同同等级的的洁净室室以及洁洁净区与与非洁净净区之间间的静压压差,应不小小于0.5毫米水水柱，洁洁净区与与室外的的静压差差，不应应小于1.0毫米水水柱。第第5.22.2条洁净室室维持不不同的正正压值所所需的正正压风量量，宜按按下式计计算：QQa（qL）（5.22.2）式式中Q维持洁洁净室正正压值所所需的正正压风量量（/时）；a根据围围护结构构气密性性确定的的安全系系数，可可取1.11.2；q当洁净净室为某某一正压压值时，其围护护结构单单位长度度缝隙的的渗漏风风量（/时米）；L围护结结构的缝缝隙长度度（米）。围护护结构单单位长度度缝隙的的渗漏风风量表5.22.3 非密

31、闭门门密闭门单层固定定密闭木木窗单层固定定密闭钢钢窗单层开启启式密闭闭钢窗传递窗壁板0.51741.00.73.52.00.31.02461.51.04.53.00.61.53082.01.36.04.00.82.03692.51.57.05.01.02.540102.81.78.05.51.23.044113.01.98.56.01.43.548123.52.19.07.01.54.052133.82.310.007.51.74.555154.02.510.558.01.95.060164.42.611.559.02.0第5.22.3条围护结结构单位位长度缝缝隙的渗渗漏风量量，可按按表5.2

32、2.3采用。第5.22.4条送风、回风和和排风系系统的启启闭应联联锁。系系统开启启时，联联锁程序序应为先先启动送送风机，再启动动回风机机和排风风机；系系统关闭闭时，则则联锁程程序应相相反。第第5.22.5条非连续续运行的的洁净室室，可根根据生产产工艺要要求设置置值班风风机，并并应对新新风进行行处理。第三节气气流组织织和送风风量第5.33.1条气流组组织的选选择，应应符合下下列要求求：一、洁洁净工作作区的气气流速度度，应满满足空气气洁净度度和人体体健康的的要求，并应使使洁净工工作区气气流流向向单一；二二、回风风口宜均均匀布置置在洁净净室下部部；三、余余压阀宜宜设在洁洁净室气气流的下下风侧，不宜设

33、设在洁净净工作区区高度范范围内。第5.33.2条洁净室室的气流流组织和和送风量量，宜按按表5.33.2选用。第5.33.3条乱流洁洁净室的的送风量量，应取取下列规规定的最最大值：一一、为控控制室内内空气洁洁净度所所需要的的送风量量；二、按按表5.33.2规定的的送风量量；三、根根据热、湿负荷荷计算和和稀释有有害气体体所需的的送风量量；四、按按空气平平衡所需需要的送送风量。第5.33.4条当生产产工艺仅仅要求在在洁净室室内局部部工作区区达到更更高的空空气洁净净度时，其气流流组织设设计应使使洁净气气流首先先流经该该工作区区，或在在洁净室室的不同同区域形形成不同同气流流流型和空空气洁净净度等级级的洁

34、净净工作区区，其型型式可分分别按图图5.33.41、图5.33.42选用。气气流组织织和送风风量表5.3.22 空气洁净净度等级级100级级10000级气流组织织型式气流流型型垂直层流流水平层流流乱流流送风主要要方式1、顶棚棚满布高高效空气气过滤器器送风（高效空空气过滤滤器占顶顶棚面积积不小于于60%）2、侧布布高效空空气过滤滤器，顶顶棚设阻阻尼层送送风3、全孔孔板顶棚棚送风1、送风风墙满布布高效空空气过滤滤器水平平送风22、送风墙墙局部布布置高效效空气过过滤器水水平送风风（高效效空气过过滤器占占送风墙墙面积不不小于40%）1、孔板板顶棚送送风2、条形形布置高高效空气气过滤器器顶棚送送风3、间

35、隔隔布置带带扩散板板高效空空气过滤滤器顶棚棚送风回风主要要方式1、格栅栅地面回回风（1）满布布（2）均匀匀局部布布置2、相对对两侧墙墙下部均均匀布置置回风口口1、回风风墙满布布回风口口2、回风风墙局部部布置回回风口1、相对对两侧墙墙下部均均匀布置置回风口口2、洁净净室面积积较大时时，可采采取地面面均匀布布置回风风口送风量气流流经经室内断断面风速速（米/秒）不小于00.255不小于00.355换气次数数（次/时）不小于550送风口风风速（米米/秒）孔板孔口口35孔板孔口口35回风口风风速（米米/秒）不大于22不大于11.51、洁净净室内回回风口不不大于22、走廊廊内回风风口不大大于4注：垂直层层

36、流洁净净室采用用相对两两侧墙下下部均匀匀布置回回风口方方式，仅仅适用于于两对侧侧墙间距距不大于于5米。乱流洁洁净室送送风量的的确定，宜考虑虑室内含含尘浓度度不均匀匀扩散的的因素。续表55.3.2 空气洁净净度等级级10，0000级100，000级气流组织织型式气流流型型乱流流乱流流送风主要要方式1、局部部孔板顶顶棚送风风2、带扩扩散板高高效空气气过滤器器顶棚送送风3、上侧侧墙送风风1、带扩扩散板高高效空气气过滤器器顶棚送送风2、上测测墙送风风回风主要要方式1、单侧侧墙下部部布置回回风口22、当采采用走廊廊回风时时，在走走廊内均均匀布置置回风口口或在走走廊端部部集中设设备回风风口1、单侧侧墙下部

37、部布置回回风口22、当采采用走廊廊回风时时，在走走廊内均均匀布置置回风口口或在走走廊端部部集中设设备回风风口送风量气流流经经室内的的断面风风速（米米/秒）换气次数数（次/时）不小于225不小于115送风口风风速（米米/秒）1、孔板板孔口352、侧送送风口（1）贴附附射流25（2）非贴贴附射流流同侧墙墙下部回回风1.52.5，对侧侧墙下部部回风1.01.55侧送风口口（1）贴附附射流25（2）非贴贴附射流流同侧墙墙下部回回风1.52.5，对侧侧墙下部部回风1.01.55回风口风风速（米米/秒）1、洁净净室内回回风口不不大于22、走廊廊内回风风口不大大于41、洁净净室内回回风口不不大于22、走廊廊

38、内回风风口不大大于4第5.33.5条层流洁洁净室内内不宜设设置洁净净工作台台；乱流流洁净室室内可设设置洁净净工作台台，但其其位置应应远离回回风口。第5.33.6条洁净室室内有局局部排风风装置时时，其位位置应设设在工作作区气流流的下风风侧。第四节空空气净化化处理第第5.4.1条各等级级空气洁洁净度的的空气净净化处理理，均应应采用初初效、中中效、高高效空气气过滤器器三级过过滤。注：100，000级空气气净化处处理，可可采用亚亚高效空空气过滤滤器代替替高效空空气过滤滤器。第第5.44.2条确定集集中式或或分散式式净化空空气调节节系统时时，应综综合考虑虑生产工工艺特点点和洁净净室空气气洁净度度等级、面

39、积、位置等等因素。凡生产产工艺连连续、洁洁净室面面积较大大、位置置集中以以及噪声声控制和和振动控控制要求求严格的的洁净室室，宜采采用集中中式净化化空气调调节系统统。第5.44.3条净化空空气调节节系统设设计应合合理利用用回风，凡工艺艺过程产产生大量量有害物物质且局局部处理理不能满满足卫生生要求，或对其其他工序序有危害害时，则则不应利利用回风风。第5.44.4条净化空空气调节节系统除除直流式式系统和和设置值值班风机机的系统统外，应应采取防防止室外外污染空空气通过过新风口口渗入洁洁净室内内的防倒倒灌措施施。第5.44.5条空气过过滤器的的选用、布置和和安装方方式，应应符合下下列要求求：一、初初效空

40、气气过滤器器不应选选用浸油油式过滤滤器：二、中效空空气过滤滤器宜集集中设置置在净化化空气调调节系统统的正压压段；三、高效空空气过滤滤器或亚亚高效空空气过滤滤器宜设设置在净净化空气气调节系系统末端端；四、中中效、亚亚高效、高效空空气过滤滤器宜按按额定风风量选用用；五、阻阻力、效效率相近近的高效效空气过过滤器宜宜设置在在同一洁洁净室内内；六、高高效空气气过滤器器的安装装方式应应简便可可靠，易易于检漏漏和更换换；第5.44.6条送风机机可按净净化空气气调节系系统的总总送风量量和总阻阻力值进进行选择择。中效效、高效效空气过过滤器的的阻力宜宜按其初初阻力的的两倍计计算。第第5.44.7条净化空空气调节节

41、系统如如需电加加热时，应选用用管状电电加热器器，位置置应布置置在高效效空气过过滤器的的上风侧侧，并应应有防火火安全措措施。第五节采采暖通风风第5.55.1条洁净室室的采暖暖型式，应按下下列不同同情况确确定：一、100级、10000级、10，000级洁净净室，不不应采用用散热器器采暖，100，000级洁净净室，不不宜采用用散热器器采暖。二二、值班班采暖可可利用技技术夹道道的散热热器进行行间接采采暖，或或采用间间歇运行行净化空空气调节节系统，值班风风机系统统进行热热风采暖暖。第5.55.2条散热器器应采用用表面光光滑、不不易积尘尘、便于于清扫的的型式。第5.55.3条洁净室室内产生生粉尘和和有害气

42、气体的工工艺设备备，应设设局部排排风装置置、排风风罩的操操作口面面积应尽尽量缩小小。第5.55.4条局部排排风系统统在下列列情况下下，应单单独设置置：一、非非同一净净化空气气调节系系统；二、排风介介质混合合后能产产生或加加剧腐蚀蚀性、毒毒性、燃燃烧爆炸炸危险性性；三、所所排出的的有害物物毒性相相差很大大。第5.55.5条洁净室室的排风风系统设设计，应应采取下下列措施施：一、防防倒灌措措施；二、含有易易燃、易易爆物质质局部排排风系统统的防火火、防爆爆措施。第5.55.6条换鞋室室、存外外衣室、盥洗室室、厕所所和淋浴浴室等，应采取取通风措措施，其其室内的的静压值值，应低低于洁净净区。第第5.55.

43、7条洁净室室事故排排风系统统的换气气次数，应采用用每小时时1520次。事故排排风装置置的控制制开关，应分别别设在洁洁净室和和室外便便于操作作的地点点，并应应与净化化空气调调节系统统联锁，其室内内宜设报报警装置置。第六节节风管和和附件第第5.66.1条风管断断面尺寸寸的确定定，应考考虑能对对风管内内壁进行行清洁处处理，并并在适当当位置设设置密闭闭的清扫扫口。风风管壁厚厚按附录录六选用用。第5.66.2条净化空空气调节节系统的的新风管管、回风风总管，应设置置密闭调调节阀。送风机机的吸入入口处和和需要调调节风量量处，应应设置调调节阀。洁净室室内的排排风系统统，应设设置调节节阀、止止回阀或或密闭阀阀。

44、总风风管穿过过楼板和和风管穿穿过防火火墙处，必须设设置防火火阀。第第5.66.3条净化空空气调节节系统的的风管和和调节阀阀以及高高效空气气过滤器器的保护护网、孔孔板和扩扩散孔板板等附件件的制作作材料和和涂料，应根据据输送空空气的洁洁净要求求及其所所处的空空气环境境条件确确定。洁净净室内排排风系统统的风管管、调节节阀和止止回阀等等附件的的制作材材料和涂涂料，应应根据排排除气体体的性质质及其所所处的空空气环境境条件确确定。第第5.66.4条在中效效和高效效的空气气过滤器器前后，应设置置测压孔孔。在新新风管和和送回风风总管以以及需要要调节风风量的支支管上、应设置置风量测测定孔。第5.66.5条排除腐

45、腐蚀性气气体的风风管，可可采用塑塑料风管管，其他他风管以以及风管管的保温温和消声声材料及及其粘结结剂，应应采用非非燃烧材材料或难难燃烧材材料。第六章给给水排水水第第一节一般规规定第6.11.1条洁净厂厂房内的的给水排排水干管管，应敷敷设在技技术夹层层、技术术竖井、地沟管管槽内或或地下埋埋设。洁净净室内应应少敷设设管道，引入洁洁净室的的支管宜宜明敷，但对空空气洁净净度等级级要求高高的洁净净室可暗暗敷。第第6.11.2条洁净厂厂房内的的管道外外表面，如可能能结露，应采取取防结露露措施。第6.11.3条管道穿穿过洁净净室顶棚棚、墙壁壁和楼板板处应设设套管。管管道与套套管之间间应采取取可靠的的密封措措

46、施。第第6.11.4条管道不不宜穿过过防火墙墙。如必必须穿过过时，穿穿墙管及及其套管管应为非非燃烧体体管材。第二节给给水第6.22.1条洁净厂厂房内的的给水系系统设计计，应根根据生产产、生活活和消防防等各项项用水对对水质、水温、水压和和水量的的要求，分别设设置直流流、循环环或重复复利用的的给水系系统。高高纯水系系统应设设置循环环管道。第6.22.2条管材的的选择，应符合合下列要要求：一、纯水管管、高纯纯水管应应采用硬硬聚氯乙乙烯管、聚丙烯烯管或不不锈钢管管；二、冷冷却循环环给水和和回水管管宜采用用镀锌钢钢管；三、生产用用水设备备与管道道的连接接宜采用用优质软软管；四四、管道道的配件件应采用用相

47、应的的材料。第6.22.3条洁净厂厂房内可可设置开开水供应应设施；盥洗室室内的盥盥洗盆宜宜供应热热水；软软化水、纯水管管道应预预留清洗洗口；纯纯水终端端净化装装置应放放在靠近近用水点点处。第第6.22.4条洁净厂厂房的周周围，应应设置洒洒水设施施。第三节排排水第6.33.1条洁净厂厂房的排排水系统统设计，应根据据生产排排出的废废水性质质、浓度度、水量量等特点点确定排排水系统统，并应应有废水水处理或或综合利利用设施施。第6.33.2条洁净室室内的排排水设备备以及与与重力回回水管道道相连接接的设备备,必须在在其排出出口以下下部位设设水封装装置,并应有有防止水水封被破破坏的设设施。第第6.33.3条

48、 1000级、10000级洁净净室内，不宜设设置地漏漏；如必必须设置置时，应应采用有有盖地漏漏，并不不应设排排水沟。10，000、100，000级洁净净室内允允许穿过过排水竖竖管，但但在竖管管上不得得设置检检查口。第6.33.4条洁净厂厂房内应应采用不不易积存存污物、易于清清扫的卫卫生器具具、管材材、管架架及其附附件。第四节消消防设施施第6.44.1条洁净厂厂房应根根据生产产的火灾灾危险性性分类和和建筑物物耐火等等级等因因素确定定消防设设施。第第6.44.2条洁净厂厂房室内内消火栓栓给水系系统的消消防用水水量，不不应小于于10升/秒，每每股水量量不应少少于5升/秒。第6.44.3条洁净厂厂房的

49、消消火栓设设置，应应符合下下列要求求：一、消消火栓的的水枪充充实水柱柱，不应应小于10米。二、消消火栓的的栓口直直径应为为65毫米，配备的的水带长长度不应应超过25米，水水枪喷嘴嘴口径不不应小于于19毫米。第6.44.4条洁净室室及其技技术夹道道和技术术夹层内内，均宜宜同时设设置卤代代烷或二二氧化碳碳等灭火火设施和和消防给给水系统统。对设有有贵重设设备仪器器或生产产的火灾灾危险性性较大的的洁净室室，以及及当火灾灾发生时时，消防防人员难难以进入入补救的的技术夹夹层和技技术夹道道等部位位，应同同时设置置卤代烷烷或二氧氧化碳等等固定灭灭火装置置和消防防给水系系统。第七章工工业气体体管道第一一节一般规

50、规定第7.11.1条工业气气体管道道的干管管，应敷敷设在技技术夹层层、技术术夹道内内。氢气气和氧气气管道宜宜明敷，如敷设设在技术术夹层、技术夹夹道内时时，应采采取良好好的通风风措施。引引入洁净净室的支支管宜明明敷。第第7.11.2条高纯气气体管道道设计，应符合合下列要要求：一、根据计计算确定定管径；二二、管道道系统应应尽量短短；三、不不宜设预预留口；四四、不应应出现“盲管”等不易易吹除的的部位；五五、干管管和支管管上应设设置吹除除口；六、在管道道系统上上应设置置必要的的取样口口。第7.1.3条穿过洁洁净室墙墙壁或楼楼板的气气体管道道,应敷设设在预埋埋套管内内,套管内内的管段段不应有有焊缝。管道

51、与与套管之之间应采采取可靠靠的密封封措施。第7.11.4条氢气和和氧气管管道的末末端或最最高点宜宜设放散散管。放散散管应高高出屋脊脊1米，并并应设在在防雷保保护区内内。第7.11.5条气体净净化装置置应根据据气源和和生产工工艺对气气体纯度度的要求求进行选选择。气气体终端端净化装装置应设设在靠近近用气点点处。第第7.11.6条气体过过滤器应应根据生生产工艺艺对气体体含尘量量的要求求进行选选择。高高纯气体体管道应应装设高高效气体体过滤器器。第二节管管道材料料、阀门门和附件件第7.2.1条根据不不同的气气体及其其纯度和和用途，管道材材料应按按下列规规定选用用：一、气气体纯度度大于或或等于99.999

52、9%时，应应采用不不锈钢管管；二、气气体纯度度大于或或等于99.99%时，宜宜采用不不锈钢管管、铜管管、无缝缝钢管；三三、气体体纯度小小于99.99%时，可可采用无无缝钢管管；四、管管道与设设备的连连接段，宜采用用金属管管道；如如为非金金属软管管时，宜宜采用聚聚四氟乙乙烯管、聚乙烯烯管，不不得采用用乳胶管管。第7.22.2条高纯气气体管道道应采用用密封性性能好的的阀门和和附件，其材料料与管道道相适应应。阀门门的密合合圈应为为有色金金属、不不锈钢或或聚四氟氟乙烯材材料。阀阀门的填填塞料应应采用聚聚四氟乙乙烯材料料。第7.22.3条高纯气气体管道道与附件件连接的的密封垫垫，应采采用不锈锈钢、有有色

53、金属属、聚四四氟乙烯烯或氟橡橡胶材料料。第三节节管道连连接和清清洗第7.33.1条管道连连接应采采用焊接接。高纯纯气体管管道应采采用承插插焊。第第7.33.2条管道与与设备、阀门的的连接处处，宜采采用法兰兰、螺纹纹或其它它密封性性能优良良的连接接件。螺螺纹处宜宜采用聚聚四氟乙乙烯带密密封。第第7.33.3条高纯气气体管道道内的内内壁、阀阀门和附附件在安安装前，应进行行清洗、脱脂等等预处理理。第四节安安全技术术第7.44.1条工业气气体管道道设计的的安全技技术，应应符合下下列规定定：一、氢氢气管道道的支管管和放散散管上，应设置置回火防防止器；二二、氢气气和氧气气管道应应设置导导除静电电装置；三三

54、、各种种气体管管道应设设明显标标志。第第7.44.2条洁净室室内使用用氢气时时，宜在在室内设设置报警警装置。第7.44.3条各种气气瓶应集集中设置置在洁净净厂房外外。当日日用气量量不超过过一瓶时时，气瓶瓶可设置置在洁净净室内。第八章章电气第一节节配电第8.11.1条洁净厂厂房的电电力负荷荷等级，应根据据生产工工艺要求求确定。净化空空气调节节用电负负荷、照照明负荷荷，应由由变电所所专线供供电。第第8.11.2条电源进进线（不不包括消消防用电电）应设设置切断断装置，并宜设设在非洁洁净区便便于管理理的地点点。第8.11.3条洁净室室内的配配电设备备，应选选择不易易积尘的的设备，并宜暗暗装。大大型配电

55、电设备不不宜设在在洁净室室内。第8.11.4条洁净室室内的电电气管线线宜暗敷敷，管材材应采用用非燃烧烧材料。由非洁洁净区进进入洁净净区的电电气管线线管口，应采取取可靠的的密封措措施。第二节节照明第8.22.1条洁净室室内的照照明光源源，宜采采用荧光光灯。如如达不到到照明设设计的技技术经济济指标要要求时，也可采采用其他他光源。第8.22.2条洁净室室内一般般照明灯灯具宜明明装。如如灯具嵌嵌入顶棚棚暗装时时，其安安装缝隙隙应采取取可靠的的密封措措施。洁净净室内不不应采用用格栅型型灯具。第8.22.3条无采光光窗洁净净区工作作面上的的照度值值，不应应低于表表8.22.3的规定定数值。无无采光窗窗洁净

56、区区工作面面上的最最低照度度值表表8.22.3 识别对象象的最小小尺寸d（毫米米）及场场所视觉工作作分类亮度对比比照度（勒勒克斯）等级混合照明明一般照度度d0.15甲乙小大250001500050033000.155d 0.33甲乙小大10000750030022000.3d0.66甲乙小大75077502001150d0.6750150通道、休休息室100暗房工作作室30注：一般照照明是指指单独使使用的一一般照明明。混合照照明的最最低照度度是指实实际工作作面上的的最低照照度值。一般照照明的最最低照度度值是指指距墙面面1米（小小面积房房间为0.5米），距地面面为0.8米假定定工作面面上的最最低

57、照度度值。通道、休息室室一般照照明的最最低照度度的是指指地面处处的最低低照度值值。如暗房房工作室室为红或或黄灯照照明时，一般照照明的最最低照度度值是指指距地面面0.8米假定定工作面面上的最最低照度度值。第第8.22.4条无采光光窗洁净净区混合合照明中中的一般般照明，其照度度值应该该按等级级混合照照明照度度值的1015%采用，并不应应低于150勒克斯斯。第8.22.5条洁净厂厂房内应应设置供供人员疏疏散用的的事故照照明。在应应急安全全出口和和疏散通通道转角角处应设设置标志志灯。在在专用消消防口处处应设置置红色应应急照明明灯。第第8.22.6条洁净室室内一般般照明的的照度均均匀度不不应小于于0.7

58、。第三节控控制、通通信和防防护第8.33.1条洁净厂厂房的净净化空气气调节控控制系统统，应满满足生产产工艺对对温度、湿度和和正压的的要求。净化空空气调节节系统所所采用的的电加热热器，应应设置无无风断电电保护。第8.33.2条洁净厂厂房内应应设置与与厂房内内外联系系的通信信装置。第8.33.3条洁净厂厂房（包包括技术术夹层）应单独独或组合合设置感感温、感感光、感感烟等形形式的火火灾探测测器。报报警器（受讯台台）应设设置在有有人值班班的地点点，供电电应可靠靠。第8.33.4条洁净区区内应设设紧急按按钮。如如发生火火灾危险险时，应应能发出出报警信信号，并并应同时时切断风风机电源源。附录一一名词解解释

59、序号本规范用用名词曾用名词词解释1洁净室根据需要要，对空空气中尘尘粒、温温度、湿湿度、压压力和噪噪声进行行控制的的密闭空空间，并并以其空空气洁净净度等级级符合本本规范规规定为主主要特征征2洁净区净化区由洁净室室所组成成的区域域3人身净化化用室人身净化化用室人人净生活活间洁净区工工作人员员在进入入洁净区区之前按按一定程程序进行行净化的的辅助用用室4物料净化化用室物料在进进入洁净净区之前前按一定定程序进进行净化化的辅助助用室5技术夹层层管道夹层层、技术术阁楼主要以水水平构件件分隔构构成的供供安装管管线等设设施使用用的建筑筑夹道6技术夹道道技术走廊廊、技术术管廊、技术夹夹墙主要以水水平构件件分隔构构

60、成的供供安装管管线等设设施使用用的建筑筑夹道7技术竖井井主要以垂垂直构件件分隔构构成的供供安装竖竖向管线线使用的的井式建建筑辅助助空间8建筑风道道以建筑构构件组成成的风道道9轻型吊顶顶轻吊顶、软吊顶顶以轻型骨骨架和饰饰面板材材安装组组成的顶顶棚10粒径径指尘粒由由某种测测定方法法测出的的长度名名义尺寸寸，并不不含有具具体的几几何形状状的意义义。当采采用光学学显微镜镜测定时时，是指指尘粒投投影通过过测微标标尺时为为标尺刻刻度线所所切两端端的长度度。当采采用光散散射式粒粒子计数数器测定定时，是是指标准准尘粒（如聚本本烯小球球）作散散射光强强度的等等效比较较而得的的综合效效果。11含尘浓度度指单位体