MEMS工艺体硅微加工技术

1、MEMS工艺体硅微加工技术MEMS工艺体硅微加工技术内容腐蚀工艺简介湿法腐蚀干法刻蚀其他类似加工工艺2022/9/212内容腐蚀工艺简介2022/9/214腐蚀工艺简介腐蚀是指一种材料在它所处的环境中由于另一种材料的作用而造成的缓慢的损害的现象。然而在不同的科学领域对腐蚀这一概念则有完全不同的理解方式。在微加工工艺中，腐蚀工艺是用来“可控性”的“去除”材料的工艺。2022/9/213腐蚀工艺简介腐蚀是指一种材料在它所处的环境中由于另一种材料的大部分的微加工工艺基于“Top-Down”的加工思想。“Top-Down”加工思想：通过去掉多余材料的方法，实现结构的加工。（雕刻泥人）腐蚀工艺简介腐蚀工

2、艺重要性作为实现“去除”步骤的腐蚀工艺是形成特定平面及三维结构过程中，最为关键的一步。2022/9/214大部分的微加工工艺基于“Top-Down”的加工思想。腐蚀工2022/9/2152022/9/2172022/9/2162022/9/218图形工艺掩模图形生成台阶结构生成衬底去除牺牲层去除清洁表面腐蚀工艺简介腐蚀工艺作用腐蚀红光LED结构蓝光LED结构蓝宝石衬底红光LED结构蓝光LED结构蓝宝石衬底红光LED结构蓝光LED结构蓝宝石衬底红光LED蓝光LED结构蓝宝石衬底红光LED蓝光LED蓝宝石衬底红光LED蓝光LED蓝宝石衬底蓝光LED结构蓝宝石衬底红光LED结构2022/9/217图

3、形工艺腐蚀工艺简介腐蚀工艺作用腐蚀红光LED结构蓝光L硅腐蚀方法：干法和湿法腐蚀方向选择性：各向同性和各向异性腐蚀材料选择性： 选择性刻蚀或非选择性刻蚀选择方法：晶向和掩模多种腐蚀技术的应用：体硅工艺（三维技术），表面硅工艺（准三维技术）2022/9/218硅腐蚀方法：干法和湿法2022/9/2110湿法腐蚀湿法腐蚀“湿”式腐蚀方法，基于溶液状态的腐蚀剂。湿法腐蚀工艺特点：设备简单，操作简便，成本低可控参数多，适于研发受外界环境影响大浓度、温度、搅拌、时间有些材料难以腐蚀2022/9/219湿法腐蚀湿法腐蚀“湿”式腐蚀方法，基于溶液状态的腐蚀剂。湿法腐蚀方向性各向同性腐蚀腐蚀速率在不同方向上没

4、有差别各向异性腐蚀对不同的晶面的腐蚀速率有明显差别利用各向异性腐蚀特性，可以腐蚀出各种复杂的结构。2022/9/2110湿法腐蚀方向性各向同性腐蚀腐蚀速率在不同方向上没有差各向异性腐蚀和各向同性腐蚀2022/9/2111各向异性腐蚀和各向同性腐蚀2022/9/21132022/9/21122022/9/21142022/9/21132022/9/2115硅的各向异性腐蚀是利用腐蚀液对单晶硅不同晶向腐蚀速率不同的特性，使用抗蚀材料作掩膜，用光刻、干法腐蚀和湿法腐蚀等手段制作掩膜图形后进行的较大深度的腐蚀。机理：腐蚀液发射空穴给硅，形成氧化态Si+，而羟基OH-与Si+形成可溶解的硅氢氧化物的过程

5、。2022/9/2114硅的各向异性腐蚀是利用腐蚀液对单晶硅不同晶向腐蚀速率不同的特硅的各向异性腐蚀技术各向异性(Anisotropy)各向异性腐蚀液通常对单晶硅(111)面的腐蚀速率与(100)面的腐蚀速率之比很大（1：400）2022/9/2115硅的各向异性腐蚀技术各向异性(Anisotropy)2022湿法腐蚀的化学物理机制腐蚀生长晶体生长是典型的各向异性表现。腐蚀作用：晶体生长的反过程2022/9/2116湿法腐蚀的化学物理机制腐蚀生长2022/9/2118湿法腐蚀的化学物理机制腐蚀过程：反应物扩散到腐蚀液表面反应物与腐蚀表面发生化学反应反应物的生成物扩散到溶液中去2022/9/21

6、17湿法腐蚀的化学物理机制腐蚀过程：2022/9/2119硅腐蚀机理（P62）SiSiSi2OH-SiSiSiOH-OH-2e-SiOH-OH-OH-OH-2e-2OH-4H2O4OH-2H2OH-离子的参与对Si的腐蚀至关重要，在这一过程中，由于（111）面的悬键只有1个，因而其电离所需的能量较高，导致（111）面的速率最低。1001112022/9/2118硅腐蚀机理（P62）SiSiSi2OH-SiSiSiOH-O总反应式为：悬键密度只是导致各向异性的一个因素，但不能解释不同晶面间腐蚀速率有几百倍这么大的差异。实际的腐蚀机制，还和表面的粗糙，微台阶处的阶跃自由能，以及和吸附、扩散过程密切

7、相关的动力学因素有关。2H2OSiSiSiSiSiHHOH-HHHHSiOH-OH-2022/9/2119总反应式为：2H2OSiSiSiSiSiHHOH-HHHHS（111面）（100面）缺陷由于（111）面为理想光滑表面，对该面进行腐蚀所需的电离能要大，而产生吸附和扩散所需的能量也比较高，并且在腐蚀过程中形成粗糙的几率比其他面要小很多。因而该面的腐蚀速率要小的多。2022/9/2120（111面）（100面）缺陷由于（111）面为理想光滑表面，各向异性腐蚀简单小结：粗糙晶面腐蚀比光滑晶面快。（111）面在腐蚀过程中会因表面重建或吸附变得更平坦，因而容易在腐蚀过程中显露出来。理想晶体平滑面腐

8、蚀速率的激活能和化学反应的能量势差以及液体传输有关。前者的作用是各向异性的，后者是各向同性的。表面重构状态影响着腐蚀速率的变化不同的腐蚀剂中，不同阳离子会影响腐蚀过程中特殊面的稳定性，因而导致腐蚀结果不同。2022/9/2121各向异性腐蚀简单小结：2022/9/2123各向异性腐蚀的特点：腐蚀速率比各项同性腐蚀慢，速率仅能达到1um/min腐蚀速率受温度影响在腐蚀过程中需要将温度升高到100左右，从而影响到许多光刻胶的使用2022/9/2122各向异性腐蚀的特点：2022/9/2124各向异性腐蚀液腐蚀液：无机腐蚀液：KOH, NaOH, LiOH, NH4OH等；有机腐蚀液：EPW、TMA

9、H和联胺等。常用体硅腐蚀液：氢氧化钾(KOH)系列溶液；EPW(E：乙二胺，P：邻苯二酚，W：水)系列溶液。乙二胺(NH2(CH2) 2NH2)邻苯二酚(C6H4(OH) 2)水(H2O)2022/9/2123各向异性腐蚀液腐蚀液：2022/9/21251.KOH systemKOH是目前在微机电领域中最常使用的非等向蚀刻液，为一碱金属之强碱蚀刻液，其金属杂质会破坏CMOS的氧化层电性，所以不兼容于IC制程；但因其价格低廉、溶液配制简单、对硅(100)蚀刻速率也较其它的蚀刻液为快，更重要的是操作时稳定、无毒性、又无色，可以观察蚀刻反应的情况，是目前最常使用的蚀刻液之一。 2022/9/2124

10、1.KOH systemKOH是目前在微机电领域中最常使用的1.KOH system溶剂：水，也有用异丙醇(IPA)溶液：20% - 50% KOH温度： 60 80C速率：1um/分钟特点：镜面，易于控制，兼容性差2022/9/21251.KOH system溶剂：水，也有用异丙醇(IPA)20KOH的刻蚀机理2022/9/2126KOH的刻蚀机理2022/9/21282.EDP systemEthylenedamine 为有机淡黄色溶液，加入pyrocatechol后颜色会变成暗褐色，随着反应的进行，颜色会加深，故不易观察蚀刻表面的反应过程，蚀刻速率也会改变，这是因为蚀刻液接触到空气中的氧

11、氧化所引起，此一氧化过程会使得化合物pyrazine (C4H4N2)增加而改变其蚀刻速率；EDP不具碱金属离子，可与IC制程相容，且对蚀刻停止所需的硼掺杂浓度较低，大约为7 x 1019 离子/cm-3，但是EDP具有毒性，蚀刻操作温度须在摄氏一百多度，危险性较高，操作及废液处理的困难度亦较高，故在一般微机电制程中不常使用。 2022/9/21272.EDP systemEthylenedamine 为有机2.EDP systemEPW NH2(CH2)2NH2乙二胺，C6H4(OH2)2 (邻苯二酚)，H2O特点：蒸 气有毒，时效较差， P+选择性好2022/9/21282.EDP sys

12、temEPW NH2(CH2)2NH2乙EDP腐蚀条件腐蚀温度：115左右反应容器在甘油池内加热，加热均匀；防止乙二胺挥发，冷凝回流；磁装置搅拌，保证腐蚀液均匀；在反应时通氮气加以保护。掩膜层：用SiO2，厚度4000埃以上。2022/9/2129EDP腐蚀条件腐蚀温度：115左右2022/9/21313、N2H4 （联氨、无水肼）为有机、无色的水溶液，具有很强的毒性及挥发性，在50oC以上就会挥发，故操作时需在良好装置下及密闭容器中进行。其优点包括相容于IC制程，对于氧化硅(SiO)及氮化硅(SiN)等介电材料蚀刻率 低，Ti、Al、Cr、Au及Pt等金属也无明显蚀刻反应，Ti和Al是目前最

13、常用的金属材料，蚀刻时不需有其它的保护层，降低了制程的复杂性。 2022/9/21303、N2H4 （联氨、无水肼）为有机、无色的水溶液，具有很强4、TMAH 氢氧化四钾铵为有机、无色之水溶液，原本为半导体制程中正胶的显影液，但目前亦应用于蚀刻制程中。TMAH的毒性低为其最大优点，对于SiO及SiN等介电材料蚀刻率低；对于Ti和Al有明显的蚀刻，在蚀刻组件前需加入适当的硅粉末，降低对铝的蚀刻率，亦可加入酸来降低蚀刻液的pH值，如酸与铝会发生化学反应生成硅铝酸盐，硅铝酸盐对蚀刻液有较好的抵抗能力，可以保护铝材的电路。TMAH的蚀刻反应过程会因操作参数不同而有极大的差异，且长时间蚀刻蚀刻液亦不稳定

14、。此外，适用于硅微加工的高浓度TMAH(15%)价格高昂，都是无法广泛应用的原因。 2022/9/21314、TMAH 氢氧化四钾铵为有机、无色之水溶液，原本为半导体腐蚀设备2022/9/2132腐蚀设备2022/9/2134硅和硅氧化物典型的腐蚀速率 材料腐蚀剂腐蚀速率硅在晶向KOH0.25-1.4m/min硅在晶向EDP0.75m/min二氧化硅KOH40-80nm/h二氧化硅EDP12nm/h氮化硅KOH5nm/h氮化硅EDP6nm/h2022/9/2133硅和硅氧化物典型的腐蚀速率 材料腐蚀剂腐蚀速率硅在影响腐蚀质量因素晶格方向腐蚀溶液的选择腐蚀溶液的浓度腐蚀时间操作温度温度搅拌方式2

15、022/9/2134影响腐蚀质量因素晶格方向2022/9/2136Etching Bulk Silicon 2022/9/2135Etching Bulk Silicon 2022/9/21车轮法来测量平面上不同晶向的腐蚀速率（有局限性）更准确的反映腐蚀各向异性的是球形法（正相或负相）2022/9/2136车轮法来测量平面上不同晶向的腐蚀速率（有局限性）2022/92022/9/21372022/9/2139111面凹角停止100方向硅片的腐蚀特点2022/9/2138111面凹角停止100方向硅片的腐蚀特点2022/92022/9/21392022/9/2141(1) 溶液及配比影响各向异性

16、腐蚀的主要因素2022/9/2140(1) 溶液及配比影响各向异性腐蚀的主要因素2022/9/2(2) 温度2022/9/2141(2) 温度2022/9/2143各向同性腐蚀 硅的各向同性腐蚀在半导体工艺中以及在微机械加工技术中有着极为广泛的应用。常用的腐蚀液为HF-HNO3加水或者乙酸系统。腐蚀机理为：首先是硝酸同硅发生化学反应生成SiO 2，然后有HF将SiO 2溶解。2022/9/2142各向同性腐蚀 硅的各向同性腐蚀在半导体工艺中以及在微机优点：无尖角， 较低应力刻蚀速度快可用光刻胶掩膜目前主要的各向同性腐蚀液为：NHA和HNWH：氢氟酸(HF)N：硝酸(HNO3)A：乙酸(CH3C

17、OOH) W: Water2022/9/2143优点：目前主要的各向同性腐蚀液为：NHA和HNW2022/92022/9/21442022/9/2146 皮肌炎是一种引起皮肤、肌肉、心、肺、肾等多脏器严重损害的，全身性疾病，而且不少患者同时伴有恶性肿瘤。它的1症状表现如下： 1、早期皮肌炎患者，还往往伴有全身不适症状，如-全身肌肉酸痛，软弱无力，上楼梯时感觉两腿费力；举手梳理头发时，举高手臂很吃力；抬头转头缓慢而费力。皮肌炎图片皮肌炎的症状表现 皮肌炎是一种引起皮肤、肌肉、心、肺、肾等多脏器严重三、自停止腐蚀技术机理：EPW和KOH对硅的腐蚀在掺杂浓度小于11019cm-3时基本为常数，超过该

18、浓度时，腐蚀速率与掺杂硼浓度的4次方成反比，达到一定的浓度时，腐蚀速率很小，甚至可以认为腐蚀“停止”。2022/9/2146三、自停止腐蚀技术机理：2022/9/2148（1） 重掺杂自停止腐蚀(KOH和EDP：51013/cm3)（2）(111)面停止（3） 时间控制（4）P-N结自停止腐蚀（5）电化学自停止腐蚀重掺杂自停止腐蚀2022/9/2147（1） 重掺杂自停止腐蚀(KOH和EDP：51013/cm自停止腐蚀典型工艺流程2022/9/2148自停止腐蚀典型工艺流程2022/9/21501、薄膜自停止腐蚀薄膜自停止腐蚀是指晶片刻蚀到最后，终止于其它不会被刻蚀所影响的薄膜，这层薄膜可以是

19、氧化硅、氮化硅、富硅氮化硅、聚酰亚胺，甚至是金属。利用薄膜自停止腐蚀必须考虑刻蚀选择性，以及薄膜应力问题，因为应力太大将使薄膜发生破裂。2022/9/21491、薄膜自停止腐蚀薄膜自停止腐蚀是指晶片刻蚀到最后，终止于其2 、重掺杂自停止腐蚀技术 KOH对硅的腐蚀在掺杂浓度超过阈值浓N0(约为51019CM-3)时，腐蚀速率很小，轻掺杂与重掺杂硅的腐蚀速率之比高达数百倍，可以认为KOH溶液对重掺杂硅基本上不腐蚀。2022/9/21502 、重掺杂自停止腐蚀技术 KOH对硅的腐蚀在掺杂浓度超过高掺杂硼有两个缺点：与标准的CMOS工艺不兼容导致高应力，使得材料易碎或弯曲重掺杂硼的硅腐蚀自停止效应比重

20、掺杂磷的硅明显，所以工艺中常采用硼重掺杂硅作为硅腐蚀的自停止材料。2022/9/2151高掺杂硼有两个缺点：2022/9/2153重掺杂自停止腐蚀工艺流程2022/9/2152重掺杂自停止腐蚀工艺流程2022/9/21543、（111）面自停止腐蚀KOH溶液对（100）和（111）面硅的腐蚀速率差别很大，可高达100400倍，因此可利用（111）面作为停止腐蚀的晶面。2022/9/21533、（111）面自停止腐蚀KOH溶液对（100）和（111）（111）面自停止腐蚀工艺流程2022/9/2154（111）面自停止腐蚀工艺流程2022/9/21564、电化学自停止腐蚀电化学自停止腐蚀技术不需

21、要重掺杂层，由于用了外延技术，因此腐蚀自停止层可以做的很厚。2022/9/21554、电化学自停止腐蚀电化学自停止腐蚀技术不需要重掺杂层，由于腐蚀保护技术如果硅晶片表面已经形成一些图案，其中部分薄膜会被腐蚀液所影响，所以必须利用腐蚀保护技术来保护已完成的结构。目前常用的保护技术有两种：一是制作夹具或用胶将整个面保护住；另一种是淀积氮化硅将正面包住，待背后腐蚀完后再将氮化硅去除2022/9/2156腐蚀保护技术如果硅晶片表面已经形成一些图案，其中部分薄膜会被2022/9/21572022/9/2159薄膜残余应力问题薄膜应力引起结构破裂的问题，主要分为两大类：第一类是制造过程的残留热应力、高温淀

22、积后回归常温，由于热膨胀系数不同所产生的残留热应力；这种残留热应力可由高温退火的方式达到一定消除；第二类是薄膜间因膨胀系数不同造成的残余应力2022/9/2158薄膜残余应力问题薄膜应力引起结构破裂的问题，主要分为两大类：凸角腐蚀补偿凸角腐蚀是指在硅岛或硅梁的腐蚀成型过程中，凸角部分被腐蚀掉的现象，体硅各向异性腐蚀时经常出现，这是因为对(100)晶面的硅片体硅腐蚀时，凸角的边缘与110方向平行，而腐蚀液对此方向的腐蚀速度较快。若要腐蚀出带凸角的整齐的台面结构，必须采取凸角补偿。2022/9/2159凸角腐蚀补偿凸角腐蚀是指在硅岛或硅梁的腐蚀成型过程中，凸角部2022/9/21602022/9/

23、21622022/9/21612022/9/2163凸角腐蚀补偿重掺杂自停止腐蚀法当目标结构的厚度相对较薄时在加工结构前先在硅片上扩散自停止层，深度达到所需结构厚度，光刻后用干法腐蚀出结构图形，然后体硅腐蚀，准确得到设计的结构。2022/9/2162凸角腐蚀补偿重掺杂自停止腐蚀法2022/9/2164目前比较常见的补偿方式2022/9/2163目前比较常见的补偿方式2022/9/21652022/9/21642022/9/2166（100）面双方块凸角腐蚀补偿2022/9/2165（100）面双方块凸角腐蚀补偿2022/9/2167（100）面双方块凸角腐蚀补偿2022/9/2166（100）

24、面双方块凸角腐蚀补偿2022/9/2168（100）面双方块凸角腐蚀补偿2022/9/2167（100）面双方块凸角腐蚀补偿2022/9/2169湿法腐蚀的缺点：图形受晶向限制，深宽比较差，倾斜侧壁，小结构粘附。四、干法腐蚀狭义的干法刻蚀主要是指利用等离子体放电产生的化学过程对材料表面的加工广义上的干法刻蚀则还包括除等离子体刻蚀外的其它物理和化学加工方法，例如激光加工、火花放电加工、化学蒸汽加工以及喷粉加工等。2022/9/2168四、干法腐蚀狭义的干法刻蚀主要是指利用等离子体放电产生的化学干法刻蚀的优点：具有分辨率高、各向异性腐蚀能力强、腐蚀的选择比大、能进行自动化操作等干法刻蚀的过程：腐蚀

25、性气体离子的产生离子向衬底的传输吸附及反应衬底表面的腐蚀钝化及去除腐蚀反应物的排除2022/9/2169干法刻蚀的优点：2022/9/2171干法腐蚀的主要形式：*纯化学过程：（等离子体腐蚀 )*纯物理过程： (离子刻蚀、离子束腐蚀）*物理化学过程：反应离子腐蚀RIE ，感应耦合等离子体刻蚀ICP.2022/9/2170干法腐蚀的主要形式：2022/9/2172在物理腐蚀方法中，利用放电时所产生的高能惰性气体离子对材料进行轰击，腐蚀速率与轰击粒子的能量、通量密度以及入射角有关；在化学腐蚀中，惰性气体（如四氟化碳）在高频或直流电场中受到激发并分解（如形成氟离子），然后与被腐蚀材料起反应形成挥发性

26、物质；在物理化学结合的方法中，既有粒子与被腐蚀材料的碰撞，又有惰性气体与被腐蚀材料的反应。2022/9/2171在物理腐蚀方法中，利用放电时所产生的高能惰性气体离子对材料进反应离子刻蚀反应离子刻蚀（Reactive ion etch）是在等离子中发生的。随着材料表层的“反应剥离排放”周期循环，材料被逐层刻蚀到制定深度。衡量反应离子刻蚀的指标：掩模的刻蚀比刻蚀的各向异性程度其它：刻蚀速率、刻蚀均匀性等2022/9/2172反应离子刻蚀反应离子刻蚀（Reactive ion etch等离子腐蚀利用气体辉光放电电离和分解稳定的原子所形成的离子和活性物质，与被腐蚀的固体材料作用，产生挥发性的物质或气态

27、产品。刻蚀过程主要是化学反应刻蚀，是各向同性的，主要作为表面干法清洗工艺。2022/9/2173等离子腐蚀利用气体辉光放电电离和分解稳定的原子所形成的离子和2022/9/21742022/9/2176 离子轰击的作用：1.将被刻蚀材料表面的原子键破坏；2.将再淀积于被刻蚀表面的产物或聚合物打掉2022/9/2175 离子轰击的作用：2022/9/2177DRIE、ICP刻蚀工艺2022/9/2176DRIE、ICP刻蚀工艺2022/9/21781.现象（1）各向同性腐蚀（2）各向异性腐蚀（3）溅射腐蚀等离子体腐蚀的主要现象和特点 2022/9/21771.现象等离子体腐蚀的主要现象和特点 20

28、22/9/2179（1）速率高 （2）环境清洁，工艺兼容性好。（3）掩膜选择性好 30：1（4）表面光洁度好，应力集中少（5）无晶向限制主要特点2022/9/2178（1）速率高 主要特点2022/9/2180（1）好的截面形状，易于满足铸模要求。（2）高的腐蚀速率，适于体硅要求。（3）利用各向同性腐蚀，满足牺牲层腐蚀要求。（4）可用于活动结构制作。（5）可用于高深宽比结构制作。适应性2022/9/2179（1）好的截面形状，易于满足铸模要求。适应性2022/9/2反应离子深刻蚀改善刻蚀的方向性，即各向异性，一直是反应离子刻蚀技术发展过程中不懈追求的目标。完全化学刻蚀是各向同性的，完全的物理刻蚀虽然有很好的方向性，但有很差的选择性，即掩模本身经受不了长时间的刻蚀。电感耦合等离子体（ICP），Bosch工艺2022/9/2180反应离子深刻蚀改善刻蚀的方向性，即各向异性，一直是反应离子刻反应离子