扩散炉操作培训

1、扩散炉操作培训第1页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四培训内容开机操作生产操作关机操作维护保养 生产提示第2页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四开机操作（一）1、打开气柜压缩空气的手动阀并调节调压阀使其压力在6Bar左右。2、打开气柜氮气和氧气手动阀，并调节调压阀使其压力在2Bar左右。 第3页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四开机操作（二）3、打开电气柜上的“Main Switch”在“ON”位置，设备上电；CMI电脑自动启动。 4、打开设备冷却水，先开出水阀，再开进水阀。检查水压在3-6kg /cm2 范围内。 第4页，共29页，

2、2022年，5月20日，0点17分，星期四开机操作（三）5、输入XP操作系统用户“Operator”密码“6065”，进入CMI计算机的XP系统，自动启动CMI软件。6、检查并打开气柜上1-4管“CESAR”的开关，启动“CESAR”系统。 第5页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四开机操作（四）7、 设定各管“Paddle”温度为默认值，按下：“Manual/T_Paddle/All/Setpoint/Default” 。 8、设定升温速度为5/min，按下：“Manual/T_Paddle/All/RampPos”，输入“5”，并按确认键“ENTER”。第6页，共29页，

3、2022年，5月20日，0点17分，星期四开机操作（五）9、当温度到达500时，用手推动炉门的气缸，使炉门关闭。 10、顺时针打开TGA上部调压阀，使压缩空气压力恢复到4Bar左右。 第7页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四开机操作（六）11、打开恒温箱控制器的黑色电源开关，检查并确认设定温度20；按下“RUN”按钮，启动恒温箱。当实际温度达到设定温度后，才可生产。12、当源瓶的磷源用尽需要更换时，恒温控制器会有液位报警提示，需更换新的磷源。第8页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四开机操作（七）13、在CMI触摸屏上按下各管的“Standby”，确认CM

4、I上显示各管“CESAR”正常；当“T_Paddle”达到设定温度，准备生产。 炉体加热部分共分5个温区，每个温区在600-1200范围内的精度0.5。第9页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四开机操作（八）Start：运行一个准备好的工艺或启动正在暂停的工艺。Stop：停止正在运行工艺，在任一时间按下“Start”按钮，被终止的工艺将被继续运行。Standby：如果没有运行工艺，按下Standby，所有设备参数恢复默认值和Standby状态下设定值。如果正在运行工艺，按下Standby，使工艺一直保持在正在运行的这一步；在按下“Stop”按钮之后，按下Standby，将自动

5、终止工艺。第10页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四生产操作（一）1、检查“Slider”是否在上料位置，若不在，手动状态下移到上料处：“Manual/Slider/to port”。2、把插好硅片的舟放到“slider”上。尽量使舟在“slider”中间位置 。第11页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四生产操作（二）3、在“Setup”界面选择“Boat”项，选择一个舟号，进行工艺信息编辑。 4、选择确定后，进入“boat activation”界面，点选“Set boat active for handling”、 “Set boat to Read

6、y for processing和Boat will be removed for unload”复选框,再点击“Next”按钮。 第12页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四生产操作（三）5、进入“Handling information”界面，把舟上的编号输入到“Boat ID”一栏，同时选择Load position为“Slider”，再点击“Next”按钮。 6、进入“Process tube selection”界面，选择需运行工艺的管号，在正常情况下1-4管全部选中，再点击“Next”按钮。 第13页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四生产操作（

7、四）7、进入“Boat information”界面， 在Actual boat location位置选择“Slider”，在Boat state位置选择“Wait for tube”，再点击“Next”按钮。 8、进入“Process information”界面，选择相应的运行工艺名，在“Lots in boat”中输入相关舟的信息，再点击“Finish”按钮。 第14页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四生产操作（五）9、进入“Summary”界面，显示3-8步输入的信息，核对无误后，点击“OK”，信息输入完成。10、在“Job”页面点击然 “Run” 按钮，回到自动运

8、行状态。机械手自动送舟到SiC桨上，开始运行工艺。 第15页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四生产操作（六）11、当某一管的“Tube state” 显示蓝色时，需要人工输入信息，打开相应管的CESAR界面。12、在红色的对话框“Adjust temperature?”中输入需要修改的温度或默认值，再在键盘上点击“Enter”键。 第16页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四生产操作（七）13、在弹出的红色对话框“Adjust diffusion time?”中输入需要修改的时间或默认值，再在键盘上点击“Enter”键。 14、在弹出的红色对话框“Adju

9、st drive in time?” 中输入需要修改的时间或默认值，再在键盘上点击“Enter”键,信息输入完毕，桨自动送舟到石英管，开始扩散工艺。 第17页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四生产操作（八）15、当工艺运行完，自动取舟到“Storage”位置冷却；冷却后“Slider”自动取舟到下料位置并伴有蜂鸣提示，进行取舟卸片和测试方块电阻；再放上需要扩散的舟。 16、同时CMI电脑弹出“Boat Info”界面，点击“Unload done”按钮，在软件中完成卸舟信息。17、进入“Boat Info Mode Select”界面，选择“Wafer（Production

10、 wafer with host validation）”项，点击“OK”按钮。 第18页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四关机操作（一）1、检查并确定各管工艺已运行完毕，设定“Paddle”温度为500：按下“Manual/T_Paddle/All/Setpoint”,输入“500”并按 “ENTER” 确认。2、逆时针旋转TGA顶部调压阀，关闭炉门的压缩空气，使压力为零。 第19页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四关机操作（二）3、当各管炉温降到500，用手推开炉门5mm左右，防止冷凝后偏磷酸粘住炉门。 4、设定“Spike”温度到20。按下“Man

11、ual/T_Spike/All/Setpoint”,输入“20” 并按确认“ENTER”。5、在CMI触摸屏上分别关闭1-4管的CESAR系统，按下“Service/Shutdown/Yes”；并且关闭气柜上1-4管“CESAR”的开关。 第20页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四关机操作（三）6、按下恒温箱控制面板的“RUN”按钮，使恒温箱停止工作，再关闭黑色的电源开关。 7、退出CMI软件，关闭CMI电脑。 第21页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四关机操作（四）8、关闭设备冷却水：先关进水阀，再关出水阀。 9、关闭电器柜总断路器，使设备断电。 第2

12、2页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四关机操作（五）10、关闭气柜的氮气、氧气和压缩空气的手动阀。第23页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四维护保养（一）1、清理冷却瓶和过滤瓶的偏磷酸。2、检查并更换聚四氟密封圈。第24页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四维护保养（二）3、检查并清理气柜抽风管道下部的偏磷酸。4、清理冷阱内部和盛放冷凝瓶的接液盘。第25页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四维护保养（三）5、检查石英管内的碎片并清理。6、清理石英管口冷凝的偏磷酸。第26页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四维护保养（四）7、检查冷却水管道和SSR冷却部分是否漏水。8、检查触摸屏使用是否正常，矫正。第27页，共29页，2022年，5月20日，0点17分，星期四生产提示-信号指示灯1、黄色灯：手动状态；警告或在设定模式时警告，没有蜂鸣报警。2、绿色灯：自动