扫描电子显微镜作业标准书

1、2)NO.作业程序扫描电子显微镜作业标准书版本号A0修订号接收部门编号XXX-WI-RD-20简图要点程序目的明确扫描电子显微镜的操作规程，确保测量结果准确有效。适用范围适用于应用于陶瓷材料分析、金属材料失效分析，主要进行显微形貌分析。规定经培训的员工可进行操作和点检，其他人员禁止操作。作业流程序号项目图示作业事项1、开机械泵、压缩机，确保VI阀关闭。2、开控制柜总开关，开启电器控制系统电源开关。3、开启计算机，运行KYKY-EM6X00软件系统，并按下控制面板中的“启动”按钮，使按钮变为红色，真空系统自动进入预抽真空状态，真空指示值将显示在控制面板上。4、控制面板上的真空指示值背景由棕色变为

2、绿色，可以开始工作。2试样准备根据实际情况选择合适的样品台，制备试样。序号项目扫描电子显微镜作业标准书版本号A0修订号接收部门编号|XXX-WI-RD-20作业事项图示3看像O.DV-S22441S144532501024粗谓410242.38DA灯生电釜200X8.6rnm1、点击“V1”按钮，按钮变为绿色，V1阀打开2、操作高压滚动条加高压，导电好的样品可加到2025KV,导电性不好的样品加到15KV。注意，10KV以上要慢慢逐步增加高压，束流值为0再点击进度条,直到所需的数值。3、调节对比度，直到在屏幕上能看到“小麻点”，或者将数值调到50左右。操作灯丝滚动条加灯丝电流，加至2.3A后要

3、慢慢加，直至电流饱和。4、一般情况下，束流指示应该在100左右。如果太高的话，可以调节偏压来控制束流；太低的话，可能需要重新调节灯丝安装位置。5、调节电对中，拖动控制面板上的电对中X、Y两个方向的滑块，使图像最亮。6、调节工作距离为812，拧X、Y、R旋钮，调节样品位置，聚焦，消像散，使图像清楚。1、需要更换样品时，点击“清零”，确认灯丝电流、对比度和高压都归零；关VI,按下控制面板上的“样品室”按钮，使按钮变为黄色，样品室自动放气。4更换样品2、拉出样品台更换样品，然后推入样品台，再次按下“样品室”按钮，按钮变为灰色，样品室自动开始抽真空；当真空指示值背景变为绿色，则可以开始工作。扫描电子显

4、微镜作业标准书接收部门版本号A0修订号编号XXX-WI-RD-20序号项目作业事项更换灯丝设备运行停止关闭程序图示1、正常看像时，若图像突然变黑，弹出提示灯丝断了的窗口，说明此时应更换新灯丝。2、确认灯丝电流、对比度和高压都归零,关闭V1；按下“电子枪”按钮，使按钮变为黄色，电子枪自动放气。3、约半小时后，取下电子枪盖帽，卸下灯丝组件，将旧灯丝拆下，用棉签蘸上氨水仔细清洗栅帽孔周围，换上新灯丝,灯丝组件和电子枪盖帽重新装好。4、按下“电子枪”按钮，使按钮变为灰色，系统开始抽真空，当控制面板上的真空指示值背景由棕色变为绿色，则可以开始工作。5、更换灯丝后一般需要进行机械对中以及电对中的操作。1、测试完成，清零，关V1,样品时放气，取出样品并清理样品台。再次按下“样品室”按钮，样品室自动开始抽低真空；当真空指示值背景变为绿色。2、清零，关V1。单击“启动”按钮,按钮变为灰色，软件系统将自动关闭各真空阀门；退出软件，关计算机。3、关电器控制系统电源开关，关控制柜总开关，关压缩机，关机械泵。1、衬管内装有光阑，根据使用情况清洗