扩散炉子精品课件

1、扩散炉子第1页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四第2页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四第3页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四第4页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四第5页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四第6页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四第7页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四第8页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四第9页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四培训内容1、开机操作2、生产操作3、关机操作第10页

2、，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四1、开机操作1.1、打开气柜压缩空气的手动阀并调节调压阀使其压力在6Bar左右。1.2、打开气柜氮气和氧气手动阀，并调节调压阀使其压力在2Bar左右。 第11页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四1.3、打开电气柜上的“Main Switch”在“ON”位置，设备上电；CMI电脑自动启动。 1.4、打开设备冷却水，先开出水阀，再开进水阀。检查水压在3-6kg /cm2 范围内。 第12页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四1.5、输入XP操作系统用户“Operator”密码“？”，进入CMI计算机的XP系

3、统，自动启动CMI软件。1.6、检查并打开气柜上1-4管“CESAR”的开关，启动“CESAR”系统第13页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四1.7、 设定各管“Paddle”温度为默认值，按下：“Manual/T_Paddle/All/Setpoint/Default” 。 1.8、设定升温速度为5/min，按下：“Manual/T_Paddle/All/RampPos”，输入“5”，并按确认键“ENTER”。第14页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四1.9、当温度到达500时，用手推动炉门的气缸，使炉门关闭。 1.10、顺时针打开TGA上部调压阀，使

4、压缩空气压力恢复到4Bar左右。 第15页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四1.11、打开恒温箱控制器的黑色电源开关，检查并确认设定温度20；按下“RUN”按钮，启动恒温箱。当实际温度达到设定温度后，才可生产。1.12、当源瓶的磷源用尽需要更换时，恒温控制器会有液位报警提示，需更换新的磷源。第16页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四1.13、在CMI触摸屏上按下各管的“Standby”，确认CMI上显示各管“CESAR”正常；当“T_Paddle”达到设定温度，准备生产。炉体加热部分共分5个温区，每个温区在600-1200范围内的精度0.5。第17页，共

5、32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四Start：运行一个准备好的工艺或启动正在暂停的工艺。Stop：停止正在运行工艺，在任一时间按下“Start”按钮，被终止的工艺将被继续运行。Standby：如果没有运行工艺，按下Standby，所有设备参数恢复默认值和Standby状态下设定值。如果正在运行工艺，按下Standby，使工艺一直保持在正在运行的这一步；在按下“Stop”按钮之后，按下Standby，将自动终止工艺。第18页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四2.生产操作2.1、检查“Slider”是否在上料位置，若不在，手动状态下移到上料处：“Manual/S

6、lider/to port”。2.2、把插好硅片的舟放到“slider”上。尽量使舟在“slider”中间位置。第19页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四2.3、在“Setup”界面选择“Boat”项，选择一个舟号，进行工艺信息编辑。 2.4、选择确定后，进入“boat activation”界面，点选“Set boat active for handling”、 “Set boat to Ready for processing和Boat will be removed for unload”复选框,再点击“Next”按钮。第20页，共32页，2022年，5月20日，0点

7、16分，星期四2.5、进入“Handling information”界面，把舟上的编号输入到“Boat ID”一栏，同时选择Load position为“Slider”，再点击“Next”按钮。 2.6、进入“Process tube selection”界面，选择需运行工艺的管号，在正常情况下1-4管全部选中，再点击“Next”按钮。 第21页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四2.7、进入“Boat information”界面， 在Actual boat location位置选择“Slider”，在Boat state位置选择“Wait for tube”，再点击“N

8、ext”按钮。 2.8、进入“Process information”界面，选择相应的运行工艺名，在“Lots in boat”中输入相关舟的信息，再点击“Finish”按钮第22页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四2.9、进入“Summary”界面，显示2.8步输入的信息，核对无误后，点击“OK”，信息输入完成。2.10、在“Job”页面点击然 “Run” 按钮，回到自动运行状态。机械手自动送舟到SiC桨上，开始运行工艺。 第23页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四2.11、当某一管的“Tube state” 显示蓝色时，需要人工输入信息，打开相应管的

9、CESAR界面。2.12、在红色的对话框“Adjust temperature?”中输入需要修改的温度或默认值，再在键盘上点击“Enter”键。 第24页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四2.13、在弹出的红色对话框“Adjust diffusion time?”中输入需要修改的时间或默认值，再在键盘上点击“Enter”键。 2.14、在弹出的红色对话框“Adjust drive in time?” 中输入需要修改的时间或默认值，再在键盘上点击“Enter”键,信息输入完毕，桨自动送舟到石英管，开始扩散工艺。 第25页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四2

10、.15、当工艺运行完，自动取舟到“Storage”位置冷却；冷却后“Slider”自动取舟到下料位置并伴有蜂鸣提示，进行取舟卸片和测试方块电阻；再放上需要扩散的舟。 2.16、同时CMI电脑弹出“Boat Info”界面，点击“Unload done”按钮，在软件中完成卸舟信息。2.17、进入“Boat Info Mode Select”界面，选择“Wafer（Production wafer with host validation）”项，点击“OK”按钮。 第26页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四3 关机操作3.1、检查并确定各管工艺已运行完毕，设定“Paddle”温

11、度为500：按下“Manual/T_Paddle/All/Setpoint”,输入“500”并按 “ENTER” 确认。3.2、逆时针旋转TGA顶部调压阀，关闭炉门的压缩空气，使压力为零。 第27页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四3.3、当各管炉温降到500，用手推开炉门5mm左右，防止冷凝后偏磷酸粘住炉门。 3.4、设定“Spike”温度到20。按下“Manual/T_Spike/All/Setpoint”,输入“20” 并按确认“ENTER”。3.5、在CMI触摸屏上分别关闭1-4管的CESAR系统，按下“Service/Shutdown/Yes”；并且关闭气柜上1-4管“CESAR”的开关。 第28页，共32页，2022年，5月20日，0点16分，星期四6、按下恒温箱控制面板的“RUN”按钮，使恒温箱停止工作，再关闭黑色的电源开关。 7、退出CMI软件，关闭CMI电脑第29页，共32页，2022年，5月