光热探测器精品课件

1、光热探测器第1页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一1 4.8.1 基本原理 4.8.2 热敏电阻 4.8.3 热释电探测器 第2页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一2两种主要的热电效应：温差电效应：温差产生电动势（塞贝克效应）热电偶和热电堆热释电效应 ：辐射变化引起表面电荷变化热释电探测器光吸收温度上升电学特性变化电参数输出光热转换热电转换 基本原理 特点：在宽广的波段有均匀的光谱响应响应速度慢第3页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一3对热电探测器的分析可分为两步：第一步是确定温升：按系统的热力学特性来确定入射辐射所引起的温度升高T（

2、共性）；第二步是确定参量变化：根据温升来确定具体探测器输出信号的性能（个性）。第一步对各种热电探测器件都适用，而第二步则随具体器件而异。首先讨论第一步的内容，第二步在讨论各种类型的探测器时再作分析。 第4页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一4光热探测器热回路最简单的模型如图所示： 为入射到探测器的辐射功率；为探测器的吸收系数；HC为热容；G1/R为热导；T为入射辐射引起的温升。 一、热回路方程能量守恒：探测器吸收的辐射应等于单位时间内系统内能的增量和与外界热交换时所损耗的功率之和。因此，可建立以下的热回路方程：内能的增加 与环境热交换 吸收的能量 散热器温度T0热导G(W/

3、K)热链热敏元件热容量H(J/K)温度T0+T第5页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一5利用初始条件：t0时，T0，解得:第6页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一6t T时 ，仅剩交变分量（第二项），即：其幅值为：当不为0，当0，稳定值式中TH/GRC，它是热电探测器的热时间常量，其意义为当 tT时，热电探测器的温升上升为稳定值的63。T的数量级约为几毫秒至几秒，比光子器件的时间常量大得多。 第7页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一7二、热电探测器的共性在相同的入射辐射下，对于热电探测器总是希望T尽可能地大。T随G和H的减小而增大。要

4、减小H就必须减小探测器热敏元件的体积和重量；要减小G，必须减小热敏元件与周围环境的热交换。由热时间常量T的定义可知，减小G又会使T增大（牺牲探测响应时间）。所以在设计和选用热电探测器时须采取折衷方案。另外G对探测极限也有影响。 T的考虑第8页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一8热探测器由于温度起伏引起的温度噪声功率为：探测器与外界达到热平衡时，所辐射的功率为：推导热探测器的NEP：探测器与外界达到热平衡时，所辐射的功率为：第9页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一9 热敏电阻 (Bolometer)第10页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星

5、期一10原理：吸收辐射，产生温升，从而引起材料电阻的变化。主要材料类型：金属、半导体和超导体。共同点：都敏感于辐射，光谱响应基本上与入射辐射的波长无关。吸收辐射温升-电阻变化热敏电阻在电子电路中的符号 第11页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一111. 温度系数aT 表示温度变化1时，热电阻实际阻值的相对变化：工作原理和结构式中，R为环境温度为热力学温度T时测得的实际阻值。正温度系数（PTC）的热敏电阻温度系数： 负温度系数（NTC）的热敏电阻温度系数： 随温度T变化很大，并与材料常数B成正比。第12页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一12由热敏材料制成

6、的厚度为0.01mm左右的薄片电阻粘合在导热能力高的绝缘衬底上，电阻体两端蒸发金属电极以便与外电路连接；再把衬底同一个热容很大、导热性能良好的金属相连构成热敏电阻。（使用热特性不同的衬底，可使探测器的时间常量由大约1ms变为50ms）红外辐射通过探测窗口投射到热敏元件上，引起元件的电阻变化。为了提高热敏元件接收辐射的能力（提高吸收系数），常将热敏元件的表面进行黑化处理。 2. 结构第13页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一13第14页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一14第15页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一15（1）金属材料-正

7、温度系数热敏电阻(PTR)由金属材料构成的测辐射热计：一般金属的能带结构外层无禁带，自由电子密度很大，以致外界光作用引起的自由电子密度相对变化较半导体而言可忽略不计。吸收辐射产生温升后，自由电子浓度的增加是微不足道的。相反，因晶格振动的加剧妨碍了自由电子作定向运动，从而电阻温度系数是正的.Positive Temperature Coefficient (PTC) thermistors 适宜材料有铂、铜、镍、铁等。三、分类1、按原理分第16页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一16由半导体材料制成的测辐射热计：半导体材料对光的吸收除了直接产生光生载流子的本征吸收和杂质吸收外

8、，还有不直接产生载流子的晶格吸收和自由电子吸收等，并且不同程度地转变为热能，引起晶格振动的加剧，器件温度的上升，即器件的电阻值发生变化。其中部分电子能够从价带跃迁到导带成为自由电子，使电阻减小，电阻温度系数是负的。又因为各种波长的辐射都能被材料吸收，只是吸收不同波长的辐射，晶格振动加剧的程度不同而已,对温升都有贡献，所以它的光谱响应特性基本上与波长无关。（2） 半导体电阻材料-负温度系数热敏电阻(NTR)Negative Temperature Coefficient (NTC) thermistors半导体类的多为金属氧化物，例如氧化锰、氧化镍、氧化钴等。第17页，共32页，2022年，5月

9、20日，4点15分，星期一17图示分别为半导体和金属（白金）的温度特性曲线。白金的电阻温度系数为正值，大约为0.37%左右；半导体材料热敏电阻的温度系数为负值，大约为-3%-6%，约为白金的10倍以上。所以热敏电阻探测器常用半导体材料制作而很少采用贵重的金属第18页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一18电阻温度系数多为正电阻温度系数绝对值小电阻变化与温度变化的关系基本上是线性的耐高温能力和稳定性较强多用于温度的模拟测量。金属材料的特点电阻温度系数多为负电阻温度系数绝对值大，比一般金属电阻大10100倍电阻变化与温度变化的关系基本上是非线性的耐高温能力和稳定性较差多用于辐射探

10、测。例如防盗报警、防火系统、热辐射体搜索和跟踪等。半导体材料的特点第19页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一19（3）其它类型 除了热敏电阻类的测辐射热计外，还有超导测辐射热计、碳测辐射热计和锗测辐射热计。碳测辐射热计：已用于极远红外波段的光谱测量。敏感元件是从碳电阻上切下来的一小块，致冷到2.1K时，其D*要比热敏电阻测辐射热计高一个数量级。锗测辐射热计：敏感元件是锗掺镓单晶，致冷到2.1K时，其D*比热敏电阻测辐射热计约高12个数量级，它的光谱响应可延伸到1000m以外。 超导测辐射热计：它利用了金属或半导体由正常态向超导态过渡时，电阻随温度急剧变化的性能。电阻温度系数

11、可达5000。这种测辐射热计灵敏度很高，可用以精密测量很弱的辐射如红外辐射和激光的功率。超导材料多为铌、钽、铅或锡的氮化物。但为保持住转变期温度，所需制冷量很大，控制复杂，目前仅限于实验室。第20页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一202、按使用范围分类通用型热敏电阻器特点：价格便宜，温度上限偏低，一般在100度左右，例如圆片形2.热响应速度非常快的热敏电阻器特点：适合微小型化应用、热响应速度非常快的场合应用的温度传感器，一般装在细针尖里面使用或贴在薄膜上使用。直径非常小，达到了l mm 以下，热时间常数约为普通热敏电阻器的10 分之一。3. 高温型热敏电阻器特点：温度上限

12、可扩展到500度左右4. 微测辐射热计（(Microbolometer)）特点：主要用于红外辐射测量第21页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一213.4.4 热释电探测器(Pyroelectric infrared detector)第22页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一22 热释电器件是一种利用热释电效应制成的热探测器件。与其它热探测器相比，热释电器件具有以下优点：具有较宽的频率响应，工作频率接近MHz，远超其它热探测器的工作频率。一般热探测器的时间常数典型值在10.01s范围内，热释电器件的有效时间常数低达10-4310-5 s；热释电器件的探测

13、率高；热释电器件可以有大面积均匀的敏感面，而且工作时可以不外加接偏置电压； 与热敏电阻相比，它受环境温度变化的影响更小； 热释电器件的强度和可靠性比其它多数热探测器都要好，易于制作。 第23页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一23一、热释电探测器的工作原理1. 热释电效应热电晶体材料因吸收光辐射能量、产生温升，导致晶体表面电荷发生变化的现象，称为热释电效应。 热电晶体：具有非中心对称的极性晶体第24页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一24热电晶体极化强度PS与温度关系 温度低温度高居里温度自发极化强度PS：单位面积上的电荷量（C/m2）温度升高，极化强度

14、减低。第25页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一25恒温T1电荷中和时间：秒小时热“释电”的物理过程温升到T2 束缚电荷减少 极化驰豫时间皮秒 “释放” 电荷（输出电信号） 第26页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一26 当红外辐射照射到已经极化的热释电晶体时，引起温度升高，表面电荷减少，相当于热“释放”了部分电荷。释放的电荷变成电信号输出。如果辐射持续作用，表面电荷将达到新的平衡，不再释放电荷，也不再有电信号输出。因此，热释电器件不同于其他光电器件，在恒定辐射作用的情况下输出的电信号为零；只有在交变辐射的作用下才会有信号输出。 第27页，共32页，20

15、22年，5月20日，4点15分，星期一27面电极结构：电极置于热释电晶体的前后表面上, 其中一个电极位于光敏面内。 这种电极结构的电极面积较大，极间距离较少，因而极间电容较大，故其不适于高速应用。此外，由于辐射要通过电极层才能到达晶体，所以电极对于待测的辐射波段必须透明。边电极结构：电极所在的平面与光敏面互相垂直，电极间距较大，电极面积较小，因此极间电容较小。由于热释电器件的响应速度受极间电容的限制，因此，在高速运用时以极间电容小的边电极为宜。 2.热释电探测器的基本结构第28页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一283. 热释电探测器的工作原理 若在热释电晶体两个相对极板上

16、敷上电极，两极间接上负载RL，由温度变化在负载上产生的电流、电压分别为： dT/dt为热释电晶体温度随时间的变化率，温度变化速率与材料吸收率和热容有关。吸收率大，热容小， 则温度变化率大。 以频率变化的辐射所引起的温度变化T(T=Tejt）第29页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一29如果热释电探测器跨接到放大器输入端，则其可表示为如图所示的等效电路 Cd，Rd为热释电探测器的电容、电阻;CA和RA为放大器的电容、电阻。 由等效电路可得热释电器件的等效负载阻抗为： RRd/RA，CCd+CAi输入到放大器的瞬时电压为:第30页，共32页，2022年，5月20日，4点15分，星期一30得电