防静电技术分析课件

1、防静电技术分析防静电技术分析1 概述 物体的静电的起电-放电（ESD）一般具有高电位、强电场和宽带电磁干扰等特点。 与常规电能量相比，静电能量虽然比较小，但瞬间的功率十分巨大。 不仅有瞬间大电流集中传输，导致易燃易爆物质的燃烧爆炸，而且还会形成强电磁脉冲，产生频谱很宽的电磁辐射场，对微电子设备造成电磁干扰和浪涌效应。 在静电起电-放电的过程中，ESD参数是不可控的，是一种难于重复的随机过程，因此，他的作用往往被人们所忽视。21 概述 物体的静电的起电-放电（ESD）一般具有人体上带不同的静电电压时，静电放电的电流波形 t/nsI/A50A100nsU0=40kV3人体上带不同的静电电压时，静电

2、放电的电流波形 t/nsI/A 从图中可以看出，静电放电过程，其峰值电流可达数十安培，实验室利用ESD模拟器和电流靶可以观测到数百安培的静电放电电流，其电磁辐射场可在附近导线上感应出数百伏乃至上千伏的电压。 由于微电子技术的发展和广泛应用,静电防护工程研究逐渐由原来重点研究静电放电引起燃烧爆炸之类灾害事故的防护,转向重点研究静电放电辐射场引发的电磁干扰及相关危害。 静电放电（包括接触放电和空气放电）对电路的干扰以及对元器件影响，特别是对场效应器件（CMOS电路）造成的破坏，越来越引起人们的重视。因而控制系统的静电抗扰度便成了一项重要的电磁兼容性（EMC）指标。4 从图中可以看出，静电放电过程，

3、其峰值电流可达数十6 产生静电的原因大致有二 ： 1）静电感应 如果一个带电体靠近一个中性导体，那么静电场会使中性导体上处于平衡状态的电荷分离。在距离带电体最近的导体表面上出现与带电体上电荷极性相反的电荷，而在距离带电体最远的导体表面上出现与带电体上电荷极性相同的电荷。如雷雨云底部分布着大量的电荷，它们产生静电场，在雷雨云所覆盖的地面和各类导体上便会感应出与雷雨云底部电荷相反符号的电荷。5 产生静电的原因大致有二 ： 1）静电感应 72）摩擦起电 两种物体互相摩擦时。由于电子和离子的亲和性不同，会在两个物体间引起电子和离子的移动，形成一方带正电荷，一方带负电荷，当两物体分开时，会使一部分的正电

4、荷与负电荷再度结合，但最后残留一部分电荷。残留电荷量大，则静电量也愈大，这种残留的电荷由该物体的绝缘性决定。62）摩擦起电 8 物体带电顺序表 电子的移动方向带正电荷侧玻璃云母尼龙羊毛人造丝绢人体皮肤丙烯棉布铝纸麻琥珀铁、铜、镍橡胶金涤纶赛璐珞聚四氟乙烯带负电荷侧7 物体带电顺序表 电子的移动方向带正电荷侧玻璃云 当两种材料发生接触时，电子将从顺序表中位于左侧的材料转移到顺序表中位于右侧的材料上。可以按此来判断两个物体摩擦时，它们带电的极性，还可以大致估计所带电荷程度的大小，即顺序表中相隔愈开的两种材料摩擦，产生电荷的程度就愈大。 产生电荷的数量不仅与顺序表中材料的位置有关，而且还和材料的表面

5、清洁度、接触的压力、摩擦数量、接触面积的大小、表面光滑度以及分离速度等因素有关。同类材料在经过接触、分离后也能产生电荷。一个最明显的例子就是塑料袋，在打开时能显而易见地感觉到静电的存在。8 当两种材料发生接触时，电子将从顺序表中位于左10质地不同的工作服和内衣摩擦时人体带电电压（kV）工作服内 衣棉纱毛丙烯聚酯尼龙维棉纯棉1.20.911.714.71.51.8维尼纶55%、棉45%0.64.512.312.34.80.3聚酯65%、人造丝35%4.28.419.217.14.81.2聚酯65%、棉45%14.115.312.37.514.713.89质地不同的工作服和内衣摩擦时人体带电电压（

6、kV）工作服内 工作服和内衣摩擦时发生的静电是人体带电的主要原因，质地不同的工作服和内衣摩擦时人体带电电压如表所示。人体各部位所带的静电是不均匀的，一般认为以手腕侧的电位最高。10 工作服和内衣摩擦时发生的静电是人体带电的主要原12因塑料地面或盛器产生的静电电压测量值普通值（kV）最大值（kV）在毛毯上行走的人1239在聚氯乙烯地板上行走的人413在工作台面前的人0.53放在塑料箱内的器件3.512放在塑料管内的器件0.5311因塑料地面或盛器产生的静电电压测量值普通值（kV）最大值（k几点基本概念 1) 静电是一种发生在材料表面上的现象。电荷存在于材料的表面上，而不是材料的内部。 2) 绝缘

7、体上的电荷只能保持在产生它的区域，并不会分布在材料的整个表面上。正因为如此，绝缘体的接地并不能减少电荷。 3) 因为绝缘体上的电荷不能自由移动，所以电荷不会引起静电放电。但绝缘体上的电势会在导体上感应产生电荷。 4) 静电损坏都是通过导体（包括人体潮湿的皮肤）引起的。 5) 人体是最主要的静电放电源头。 6) 任何带电物体都很容易将自己所携带的电荷转移到导电的人体皮肤层上。12几点基本概念 1) 静电是一种发生在材料表面上的现象。2 人体的静电模型（HBM） 一个物体上所积累的电荷储存在该物体的电容中。 通常，我们总认为只有在两个平板之间才会有电容，实际上所有的物体都有自己的自由空间电容，无非

8、第二个平板（指地球）无限大而已。这个电容也就是物体可有的最小电容。 即使是不规则形状的物体，它的自由空间电容主要取决于其表面积的函数。132 人体的静电模型（HBM） 一个物体上所积累人体的电容和电阻 50pF100pF100pF50pF50010k14人体的电容和电阻 50pF100pF100pF50pF50 一个人体在自由空间中的电容约为50Pf。除此以外，人体电容还包括脚底与地面之间的电容（约100Pf）。 如果人体接近墙壁等周围的某些物体，还会增加50Pf100Pf的电容。所以人体电容等于人体自由空间电容与平板电容之和，大小在50Pf250Pf之间变化。 人体电容也可用下列经验公式表示

9、： C=0.55H+0.008KA/t式中：H人体高度（cm）； K鞋底材料的介质常数； A两只鞋底的总面积（cm2）； t鞋底厚度（cm）。15 一个人体在自由空间中的电容约为50Pf。除此以17 人体电阻是非线性的，其值约在5001,000之间，它和人体产生放电的位置有关。 若手指尖放电，人体电阻约为10,000； 若手掌放电，人体电阻约为1,000； 若在手持的金属物体上放电，人体电阻约为500； 若放电发生在较大的金属物体上，人体电阻可以减小为50。 此外，影响人体电阻的因素还有皮肤表面的水分、盐和油、皮肤接触面积和压力等。16 人体电阻是非线性的，其值约在5001,000之人体静电放

10、电模型 CRLV17人体静电放电模型 CRLV19 上图是人体的静电放电模型。电荷储存在人体电容中，并通过一个等效的人体电阻产生放电。该静电模型没有考虑电感的大小，但是电感对确定放电电流的上升沿时间有决定性的影响，应当将它计算进来。 该图的电路可以模拟人体的静电放电，也可以用于静电测试。 静电放电的上升沿时间和其能量是决定放电程度的主要参数.下表以mJ为单位列出了不同人体静电放电模型放电产生的能量。其计算公式为： W=0.5CU2（mJ)式中：C人体对地电容，F； V人体静电电压，V。18 上图是人体的静电放电模型。电荷储存在人体电容中，20典型人体静电模型（HBM）的参数取值 来源C(pf)

11、R()V(V)能量（mj)IEC 61000-4-21503008,000(最大)4.8公司A2501,00020,00050公司B15050020,00030公司C5010,00020,00010公司D30050015,00033.8公司E35010015,00039.4公司F10050010,0005.019典型人体静电模型（HBM）的参数取值 来源C(pf)R() 目前，最常用的静电模型来自IEC 61000-4-2：1995，电磁兼容 试验和测量技术 静电放电抗扰度试验（即GB/T 17626.2-1998）。 其电容为150 pF，放电电阻为330。 输出电压按接触放电和空气放电两种

12、情况分为四个等级（见下表）。 接触放电是优先选择的试验方法，空气放电则用在不能使用接触放电的场合中。 20 目前，最常用的静电模型来自IEC 61000-4-静电放电的试验等级接触放电空气放电等级试验电压kV等 级试验电压kV1212242436384841521静电放电的试验等级接触放电空气放电等级试验电压kV等 级试验 下图是电容为150 pF，电阻为500的人体静电模型被充电到20,000V之后产生的典型的ESD电流波形。 该电流波形的峰值电流为40A，上升沿时间（10%90%）为1ns, 下降沿时间为100ns。 与放电头串联的电感决定着波形的上升时间，设法减小该电感的大小是设计ESD

13、测试仪器的主要难题之一，该电感的大小应小于0.1H。22 下图是电容为150 pF，电阻为500的人体静电模典型的静电放电电流波形40At上升沿时间1ns下降沿时间100nsI23典型的静电放电电流波形40At上升沿下降沿I25注意: 通常，人体不会感受到3,500V以下的电压所产生的放电。 由于大多数电子器件对数百伏电压产生的放电都会非常敏感，所以元器件的损坏可能来自人们所不能感受到的、听得见的或看得到的放电。 在相反的极端情况下，若静电放电电压达到25kV,人体将会感觉到疼痛。24注意: 通常，人体不会感受到3,500V以下的电压所产3 静电放电 通常，积累在物体上的电荷有两种释放方式：泄

14、漏；火花。 由于火花放电会引起燃烧爆炸之类灾害事故的发生，所以泄漏是物体放电的首选方式。 由于湿度的关系，物体携带的电荷可以通过空气泄漏。湿度愈高，物体上携带的电荷泄漏得愈快。 使用离子发生器向空气中释放与物体携带电荷极性相反的电荷，可以与物体携带的电荷相互抵消。空气中的离子将被吸附到物体上，与 物体上的电荷中和，空气中产生的离子愈多，电荷的中和速度就愈快。253 静电放电 通常，积累在物体上的电荷有两种释放方式 如果将带电导体接地，就能够使带电导体上的电荷泄漏。因为人体有导电性，所以若能使人体接地（如套上防静电腕带），也能使人体携带的电荷慢慢消失。 为了把泄漏电流限制在人身安全的电流5mA以

15、下，应有足够高的接地阻抗，通常防静电腕带的接地电阻为1M，最小接地阻抗为250k。 但是，因为衣物和塑料物体往往是不导电的，所以人体接地并不能使衣物上的电荷或者人手持的塑料物体上的电荷消失。为此，可以用电离或增加环境湿度的方法将这些不导电物体上的电荷移走。26 如果将带电导体接地，就能够使带电导体上的电荷泄漏。2 如果物体已经携带电荷，那么物体的放电应该缓慢进行，以限制电流，防止损坏。 表示这一特性有一个重要参数衰减时间，它可表示为： =式中：材料的介电常数； 材料的表面电阻率（/m2）。 因为静电是一种发生在材料表面上的现象，所以根据材料的表面电阻率，可将材料分成四大类（见下表）。27 如果

16、物体已经携带电荷，那么物体的放电应该缓慢进29 材料的介电常数: PC(聚碳酸酯) =3.17 其它材料=2-11,相差的倍数有限； 而不同材料的表面电阻率大小要差1010倍。 所以起主要作用的是表面电阻率。28 材料的介电常数:30不同类型材料的表面电阻率材 料表面电阻率（/m2） 静电导电0105静电耗散105109抗静电109 1014静电非导体101429不同类型材料的表面电阻率材 料表面电阻率（/m2） 静电 使用接地方式很容易将表面电阻率小于105/m2的材料上所携带的电荷释放掉。静电导体材料耗散电荷的速度最快，所以使用它靠近已带电的装置比较危险。如果带电装置与接地的导电材料接触，

17、带电装置将迅速放电，放电电流峰值很大，可能会产生某种损坏。 与静电导体材料相比，应首选静电耗散材料。因为它耗散电荷的速度很慢，很安全。接地的静电耗散材料也可用于防止静电积累，一旦物体带电，也可以安全地泄放这些电荷。30 使用接地方式很容易将表面电阻率小于105/m2的材 抗静电材料耗散电荷的速度是最慢的。尽管如此，因为这种材料产生电荷的速度小于耗散电荷的速度，所以对防止物体上的静电积累却非常有用。例如粉红色聚乙烯塑料袋，为了防止摩擦带电，材料的表面电阻率不能超过1012/m2。 无论是静电耗散材料还是抗静电材料，若与其它任何材料或自己分离，都会带电。它们的应用很相似，有时还归入同一组。在静电敏

18、感环境中它们是首选。 31 抗静电材料耗散电荷的速度是最慢的。尽管如此，因为33 静电非导体材料不能耗散电荷，但可以保持自己携带的电荷不变，而不管电荷是何极性。例如聚苯乙烯塑料包装材料和聚乙烯塑袋，在静电敏感环境中严禁使用。 32 静电非导体材料不能耗散电荷，但可以保持自己携34 目前，仪表常用的面板材料是：材料名称表面电阻率（/m2）主要性能数据来源PC（聚碳酸酯）1014-1015机械性能佳德国巴尔PA（尼龙6）1014化学稳定性好德国巴士夫PA（尼龙66）1010-1013化学稳定性好德国巴尔33 目前，仪表常用的面板材料是：材料名称表面电阻率主要性 由上可知，PA（尼龙）的防静电性能要

19、优于PC（聚碳酸酯）。为了综和考虑，可以采取如下措施： 1）在原材料中加防静电的添加剂； 2）在仪表面板上涂表面涂层，使表面电阻率符合要求。34 由上可知，PA（尼龙）的防静电性能要优于PC（聚碳4 产品设计中的静电保护 静电危害源对受害物体的影响，其作用机理除库仑力作用的力学效应外，主要是通过能量的直接传导、电容性耦合、电感性耦合和电磁场辐射等四种方式发生作用： 1）直接传导，指的是静电放电电流直接流过敏感电路的情况，这种方式往往是由于静电放电电流产生的热效应对电路产生损坏。 由于静电放电是在ns或s量级的时间内完成的，是一种绝热过程。作为点火源、引爆源，可瞬时引起易燃易爆气体或物质的燃烧爆

20、炸；也可以使微电子器件、电磁敏感电路过热，造成局部热损伤，使电路性能变坏或失效。354 产品设计中的静电保护 静电危害源对受害物体的影响 2）电容性耦合。指的是静电放电电流对敏感电路附近的金属物体或电路放电时通过放电产生的电场耦合到敏感电路中去。 静电危害源形成的电场不仅可以使MOS场效应器件的栅氧化层击穿或金属化线间介质击穿，造成电路失效，而且对许多测试仪器和敏感器件的电磁屏蔽提出了更高的要求。 CMOS电路最怕静电，最易因静电而损坏。其氧化膜的耐压界限约为100-150V。所以对于带成千上万伏静电的人一旦接触电路会对器件带来很严重的后果。 36 2）电容性耦合。指的是静电放电电流对敏感电路

21、附近的金属38 3）电感性耦合。指的是静电放电在设备的金属外壳等导电材料中引起的强电流可形成磁场耦合，其放电能量虽然不大，但瞬间的功率十分巨大，会对电路和器件产生干扰和危害。因此对控制系统的设计和磁屏蔽材料的选择都提出了苛刻的要求。37 3）电感性耦合。指的是静电放电在设备的金属外壳等导394）电磁场耦合。静电放电引起的射频干扰，对信息化设备造成电噪声、电磁干扰，使其产生误动作或功能失效。强电磁脉冲及其浪涌效应对电子设备可以造成硬损伤或软损伤，既可以造成器件或电路的性能参数劣化或完全失效，也可以形成累积效应，埋下潜在的危害，使电路或设备的可靠性降低。384）电磁场耦合。静电放电引起的射频干扰，

22、对信息化设备40由于静电放电产生的效应，可以分成三类：1）硬损伤。即已造成硬件的实际损坏。2）软损伤。对系统的正常运行有影响，但不会使系统产生物理上的损坏。譬如使存储位的改变和程序进入死循环等。3）短暂状态异常。没有产生任何错误，但能明显地感觉得到。例如CRT显示器上的雪花点、图象滚动和指示灯的瞬间闪烁等。 设计出来的控制系统应当有一定的静电抗扰度而不遭损坏（硬损伤），通常也不会产生软损伤。一般情况下，短暂状态异常是可以接受的。39由于静电放电产生的效应，可以分成三类：41 防止控制系统和电路不受静电放电的干扰和破坏的基本方法有：1）抑制干扰源，减小或消除源头上的静电积累；2）隔离导体，防止放

23、电；3）将敏感电路旁路，为静电放电电流提供可选择的泄放路径（分开接地PE和E）；4）对敏感电路实施屏蔽，使其不受静电放电引起的电场的影响；5）保护敏感电路，以阻止由放电产生的磁场的进入。 40 防止控制系统和电路不受静电放电的干扰和破坏的基本方44.1 金属火花吸收器的抗静电应用 在设计键盘和控制面板时应当遵循这样一条原则：静电放电电流能够直接到地，而不会流过敏感的电路或器件。 若是使用绝缘键盘，那么可以在在键盘与电路之间使用金属火花吸收器，为ESD电流提供可选择的泄放路径。 如下图所示，金属火花吸收器安装在绝缘面板的后面，而且金属火花吸收器应当接地到机壳或机架的保护地上，绝不能接到工作地上。

24、414.1 金属火花吸收器的抗静电应用 在设计键盘和控制面金属火花吸收器的抗静点作用 印刷线路板绝缘面板火花吸收器42金属火花吸收器的抗静点作用 印刷线路板绝缘面板火花吸收器444.2 印刷线路板上的保护环 操作人员将印刷线路板插拔到母板上去的动作是产生ESD损伤问题的一个常见原因。为此，可沿电路板的边缘设计一个保护环，并将该保护环接地。当操作人员手拿电路板时，可以将人体上的电荷通过保护环释放到接地装置上去。 电路板接入系统后，保护环仍然起到保护它的作用。若有带电的人或物体靠近电路板，任何产生的放电都有可能是向接地的保护环，而不是向着电路板上的电路。434.2 印刷线路板上的保护环 操作人员将

25、印刷线路板插印刷线路板上的保护环 保护环接保护地44印刷线路板上的保护环 保护环464.3 采用金属屏蔽体电路静电放电454.3 采用金属屏蔽体电路静电放电47 用一个接地金属盒完全罩在一个电路上，并使两者之间相互分离，该电路与金属盒没有任何接触。当发生放电时，由于存在接地引线电感，金属盒的电位就会上升。金属盒内电路的电位差也会随之上升，即使这样，但在金属盒内的电路上的各点之间不会产生电位差。因此，只要金属盒能够将电路完全屏蔽，电路就不会损坏。 如果金属屏蔽盒不连续或有孔洞，在金属屏蔽盒的表面就会产生电位差。这种屏蔽盒内的各部分与电路之间的分布电容形成的电压，会在电路中产生新的电压。这样也许会

26、影响电路的正常工作，所以要尽可能地完全将电路屏蔽。 46 用一个接地金属盒完全罩在一个电路上，并使两者之间4.4 对电缆接插件静电放电的干扰及其对策 目前一般设备的外接电缆接插件经常使用金属外壳的插座，由于这种插座经常被人体所接触，所以也经常会通过插座对其附近的元器件造成静电放电干扰。 相应的措施是，在固定插座时要注意让其金属外壳与地有良好的导电性能。使用螺钉固定时要注意其对地通路的电气接触可靠，以防止时间长久后接地电阻增大，又会发生静电放电。474.4 对电缆接插件静电放电的干扰及其对策 目前一般设4.5 电路设计和印刷线路板布线 1）不选用脉冲边沿触发方式。2）避免将MOS器件直接连到容易

27、发生静电放电的连接器引出端。3）印刷电路上所有的回路面积应尽可能的小。484.5 电路设计和印刷线路板布线 1）不选用脉冲边沿触发方式5 控制室防止产生静电的基本措施 为了防止控制室产生静电，控制室的设计应采取下列的措施：1）防止静电的产生是最彻底的方法，从产生静电的机理看，应该从降低有关物体的绝缘度着手，使两物体即使摩擦也不产生或少产生静电。为此： A.保持控制室内的相对湿度在40%-60%之间，北方地区或在干燥的冬季，因静电产生的故障的事例要远大于东南沿海地区或其它季节； B.铺设具有导电性能的防静电地板或地毯； C.操作人员宜穿防静电工作服； D.在控制室入口处，设置吸尘地毯，以减少静电的生成。495 控制室防止产生静电的基本措施 为了防止控制室产生静2）操作人员应在手腕上带防静电手带，这种手带应有良好的接地性能。3）控制柜以及电缆的屏蔽层都必须保持良好的接地。一般，凡作保护接地的机柜，均可认为已作了静电接