激光行业-炬光科技研究报告：“产生光子”+“调控光子”专家

1、激光行业-炬光科技研究报告：“产生光子”+“调控光子”专家1. 深耕激光产业链十余载1.1 起家“产生光子”，收购加码“调控光子”，拓展光子应用解决方案公司 2007 年起家“产生光子”的高功率半导体激光器，为国内实力最强的高功率 半导体激光器厂商。2017 年公司完成对 LIMO 的收购，从而开拓“调控光子”的激光光 学业务，并结合产生光子、调控光子的能力，拓展激光行业中游的光子应用模块和系统 的研发、生产和销售，即“提供光子应用解决方案”，包括激光雷达发射模组和 UV-L 光 学系统。目前，公司形成了高功率半导体激光元器件、激光光学元器件、汽车应用（激 光雷达）和光学系统四大核心业务领域。

2、从产品线来看，公司四大核心业务板块产品分别包括：1）半导体激光业务：以高功率半导体激光元器件为基础，分为开放式器件、光纤 耦合模块、医疗美容器件和模块、工业应用模块、预制金锡材料等；2）激光光学业务：包括光束准直转换系列（单（非）球面柱面透镜、光束转换器、 光束准直器、光纤耦合器）、光场匀化器、光束扩散器、微光学透镜组、微光学晶圆等；3）汽车应用业务：包含激光雷达面光源、激光雷达线光源、激光雷达光学组件等；4）光学系统业务：主要包括固体激光剥离线光斑、固体激光退火线光斑等多种光 学系统。公司控股股东、实际控制人为公司董事长兼总经理刘兴胜。公司董事长兼总经理刘 兴胜直接持有公司 13.29%的股

3、份，并通过一致行动人协议间接控制王东辉等一致 行动人持有的炬光科技股权合计 10.70%，因而控制了炬光科技 23.99%的表决权。公司总部位于西安，拥有六家全资子公司和两家控股子公司。在业务分工上，总公 司负责半导体激光业务和汽车激光雷达业务，域视光电负责半导体激光业务，东莞炬光 和 LIMO 负责激光光学业务，光学系统业务则由控股子公司海宁炬光和 LIMO Display 负责，欧洲炬光、美国炬光主要负责产品销售，香港炬光负责海外投资并购。1.2 管理团队、核心技术人员行业经验丰富，股权激励充分公司核心管理层行业经验丰富，曾任职于国内外知名公司，在公司任职时间多 数超过 5 年，管理层稳定

4、。此外，公司核心技术人员科研成果突出，拥有多项专利、 论文等。IPO 发行前，公司高管、核心技术人员合计持股 28.50%，持股比例高。在 IPO 发行中，公司高级管理人员与核心员工参与战略配售获配股数占比 IPO 发行数量比重的 6.75%（IPO 发行数量占公司发行后总股数的 25%），股权激励充分。1.3 营收增长提速，盈利质量改善收入端：21 年收入预计同比+32%。复盘公司历史营收情况，2019 年公司营业 收入同比下滑，主要原因为激光光学业务收入受德国经济下行、光纤激光器行业销 售减少下滑；2020 年受疫情影响，公司营收仅实现小幅增长；根据公司 2021 年业 绩快报，2021

5、年公司预计营收同比增长 32.2%，主要受益于半导体激光业务、激光 光学业务、汽车应用（激光雷达）业务中传统业务的稳步增长、新产品的拓展、工 艺创新和流程化，以及项目的稳步推进。分业务来看，1）分业务板块：公司目前收入主要集中在激光产业链上游元器 件环节，中游应用环节占比有望提升。处在上游元器件环节的半导体激光业务、激 光光学业务占比公司 21H1 营收的 90%，而中游应用环节的汽车应用业务、光学系 统业务占比公司 21H1 营收的 9%，我们认为，随公司逐步向中游光子应用环节进行 业务拓展，中游应用业务占比有望提升；2）分产业：公司收入来源目前集中在高端工业制造、光纤激光器、医疗健康 领域

6、，智能驾驶产业收入占比提升：高端工业制造、光纤激光器、医疗健康产业的收入合计占比公司 2020 年营业收入的 70%，其他业务上智能辅助驾驶产业的收入 占比显著提升，2020 年占比达 9%。毛利端：战略重组带动毛利率提升。公司当前毛利润主要来自于半导体激光 业务、激光光学业务。毛利率方面，2019 年公司毛利率下滑，一方面与光学系统业 务受全球 OLED 产线建设影响未实现收入有关，另一方面与高毛利的激光光学业务 收入下滑有关；2020 年公司激光光学业务对 LIMO 进行战略性重组，提升产能和生 产效率，并拓展国内市场，从而拉动了激光光学业务毛利率，带动综合毛利率提升； 2021H1 公司

7、战略重组协同性逐步显现，半导体激光业务、激光光学业务毛利率均 有小幅提升，综合毛利率达到 54%。费用端：期间费用率自 20 年起持续改善，研发费用率或维持高位。公司期间 费用率较高，20 年以来期间费用率有所改善。其中，公司研发费用率仍处于较高水 平，我们认为，公司正在拓展中游光子应用模块与解决方案业务，新业务项目研发 投入较大，预计研发费用率仍将维持较高水平。凭借持续的高研发投入，公司也取 得了诸多专利成果，截止 2021H1，公司共拥有 405 项已授权专利，其中境内发明 专利 117 项。利润端：2020 年实现盈利，21 年利润大幅增长。2020 年公司在归母净利润、 扣非后归母净利

8、润层面均实现盈利，根据公司 2021 年业绩快报，2021 年公司归母 净利润、扣非后归母净利润预计大幅增长，分别+94.33%、+148.35%，主要得益于 收入的增长和毛利率的提升，归母净利率、扣非后归母净利率也分别提升至 14%、 10%。1.4 募投加码微光学、激光雷达、医疗健康公司 IPO 成功募集 17.70 亿元，用于东莞微光学及应用项目、激光雷达发射模 组、研发中心建设、补充流动资金、医疗产业基地项目。通过本次募投，公司将实 现扩大相关业务产能、降低生产成本、提升研发实力和资金实力的效果，助力公司 增强市场竞争力。2. 产生光子：高功率半导体激光器大有可为，打破海外垄断2.1

9、高功率半导体激光器行业：半导体激光器具备性能优势，市场规模稳 步增长半导体激光器作为固体激光器、光纤激光器泵浦源性能优势显著：1）激光器三大功能部件包括泵浦源、增益介质和谐振腔。泵浦源为激光器提供光源， 增益介质吸收泵浦源提供的能量后将光放大，谐振腔为泵浦光源和增益介质之间的 回路，振腔振荡选膜输出激光。按照增益介质的不同，激光器可以分为固态（含固 体、光纤、半导体、混合）、液体激光器、气体激光器等。2）由于稳定性好、功率较高、维护成本低，固态激光器的应用占绝对优势。其中 半导体激光器相比于间接产生光的光纤激光器、固体激光器，具有电光转换效率高 （最高可达 60%-70%）、体积小（产品体积为

10、立方厘米量级）、寿命长可靠性高（高 功率可实现上万小时）、成本低（半导体工艺芯片集成）等优势，但光束质量差，直 接应用范围有限，所以半导体激光器多数作为光纤激光器、固体激光器的泵浦源， 即以半导体激光器发出的光，泵浦光纤增益介质或晶体增益介质产生光。3）半导体激光器由于体积较小，单个半导体激光器难以实现较大功率输出，需要 进行多层叠加。高功率半导体激光器市场稳步增长。根据长光华芯招股说明援引 Laser Focus world，预计 2021 年全球激光器市场规模为 184.8 亿美元，其中半导体激光器市场规模 为 79.5 亿美元，占比达 43%。公司招股书援引 Strategies Unl

11、imited 及公司结合市场调 研的数据预计 2021 年高功率半导体激光器市场规模达 19.8 亿美元，其中直接应用市场 为 9.40 亿美元、作为固体激光器泵浦源市场为 5.0 亿美元、作为光纤激光器泵浦源市 场为 5.4 亿美元，预计 2021-2025 年全球高功率半导体激光器市场规模复合增速约为 9.3%。在公司的客户中，创鑫激光等光纤激光器企业购买核心元器件自产通用、比较标准 化的半导体激光器作为光纤激光器泵浦源；中国科学院、D 公司等固体激光器科研单位 或企业会购买上游企业专用、高度非标准化的半导体激光器作为固体激光器泵浦源；以 色列飞顿、必盛激光等企业会购买各类半导体激光元器件

12、产品用于专业医疗美容、高端 工业制造等。2.2 海外企业占据主要市场，技术追赶打破垄断半导体激光器市场被海外厂商主导。半导体激光产品的市场参与者主要是欧美发达 国家的行业巨头，如美国相干公司、美国 IPG 光电、美国 nLight 和法国 Lumibird 等。 根据公司招股书援引新闻联播，高功率半导体激光器及相关元器件在炬光科技研发成功 前一直被少数几个国家垄断。公司多项技术达到国际、国内领先水平，“无铟化”封装技术提高半导体激光器可 靠性。在半导体激光产品领域，公司拥有自主研发的共晶键合技术、热管理技术、热应 力控制技术、界面材料与表面工程技术、测试分析诊断技术。其中，“无铟化”（包括共

13、晶键合技术、无铟化的界面材料与表面工程技术）为公司核心技术之一。具体来看，热 管理对高功率半导体激光器至关重要，器件的散热能力直接影响激光器的结温，结温过 高将显著影响半导体激光器巴条的性能，输出功率下降、阈值电流增大、慢轴发散角增 大和寿命缩短等，而铟焊料是大功率半导体激光器封装中最常用的焊料之一，但铟焊料 在脉冲情况下、高温低温循环下以及环境温度下产生热疲劳，影响半导体激光器的可靠 性，无铟化金锡封装工艺能极大提高器件的可靠性。公司于 2014 年自主研发金锡焊料 封装技术，用金锡合成材料替代金属“铟”，提高了激光器功率和器件的可靠性、环境 适应性和储存时间，并自主研发制备金锡薄膜界面材料

14、的工艺技术，已实现批量化生产。公司产品技术指标与海外产品相当。对比炬光科技与可比公司的半导体激光产品， 炬光科技的产品在功率、波长、占空比等多项技术指标上已实现优于或与可比公司产品 相当。2.3 21 年开启高增长，预制金锡材料实现突破复盘公司半导体激光业务营收，公司半导体激光业务营收在下滑后实现复苏。2019 年公司半导体激光业务收入对比 2018 年有所下滑，主要受工业应用模块客户项目周期 调整的影响；2020 年疫情影响下半导体激光收入大幅下滑；2021 年 Q1-Q3，公司半导 体激光业务同比增长 54.68%，实现较高增速，除疫情后下游需求复苏利好外，也得益 于公司在产品、市场上的突

15、破，公司在开放式器件、医疗美容器件和模块、工业应用模 块等业务产品优势和市场领先优势扩大，此外，公司预制金锡薄膜陶瓷热沉产品获得国 内外光纤激光器厂商的批量订单，实现规模化生产和销售，预制金锡陶瓷热沉产品为光 纤激光器所需的核心封装材料，有望持续受益于下游光纤激光器快速发展带动的需求，成为公司半导体激光业务的新增长点。2018-2021H1 公司半导体激光业务毛利率持续提升，从 2018 年的 35%提升至 2021H1 的 50%，主要得益于公司对产品性能的优化，以及 LIMO 光纤耦合模块、工业 应用模块产线迁至西安后生产效率的提升。3. 调控光子：收购 LIMO 补短板，战略重组提升盈利

16、质量3.1 收购微光学领导者 LIMO 加码“调控光子”，核心技术优势突出LIMO 成立于 2006 年（前身成立于 1992 年），是最早开发出高功率半导体激光器 整形微光学产品的制造商和无机光学材料为基础的高功率激光微光学整形领域领导者， 公司于 2017 年完成对 LIMO 的收购。在收购 LIMO 之前，公司核心竞争力主要来自于 半导体激光器光源技术，但光学、耦合技术一直相对薄弱，因而通过本次收购，公司成 功拓展了激光光学元器件的“调控光子”业务，并有助于实现未来通过光子应用模块和 系统“提供解决方案”的战略布局。我们认为，LIMO 在激光光学领域拥有核心技术优势，主要体现在：1）LI

17、MO 拥有自主研发的晶圆级同步结构化激光光学制造技术，具备高精度、高 重复性、低成本大批量制造的独特优势：LIMO 独有的微光学复杂球面、非球面柱面透 镜加工工艺，制备精度能够达到纳米级，可在 12 英寸（300mmx300mm）的光学衬底 材料上同步加工多个球面、非球面柱面透镜（柱面镜阵列也是激光光束控制和匀化应用 最多的微透镜阵列），仅用一块晶圆即可生产 2.5 万个标准尺寸的高精度 FAC 透镜，且加工精度、效率和一致性都能得到保证。2）纳米级精度折射型微透镜阵列（ROE）的技术能力，提升光能量利用率。LIMO 采用折射型微透镜阵列（ROE），而不是衍射型微透镜阵列（DOE），折射型微透

18、镜阵 列基于几何光学原理，对比基于物理光学原理的衍射光学器件，没有零级衍射效应，对 人眼安全，而且光能量的利用率高，光能量利用率达到 90%以上。高加工精度、高折射玻璃材质应用使得激光光学产品性能优于可比公司。对比公司 与海外可比公司的激光光学产品，公司激光光学产品受益于微透镜阵列高加工精度、高 折射玻璃材质的应用，关键参数指标如发散角、产品不均匀度、视场角等均优于可比公 司。3.2 激光光学产品应用领域广阔，供货知名客户公司光束整形产品满足不同应用场景要求。公司的微光学透镜能够在零维（点）、 一维（线）、二维（面）三个维度对各类型激光器进行光束整形。无论何种入射光源类 型（VCSEL 芯片、

19、VCSEL 阵列、EEL/Nanostack、DPSSL/光纤激光器），光束形状、 光束质量如何（发散角大小、是否对称），整形后均可形成圆形、矩形、线形等各种光 斑形状，满足激光加工需求；也可形成较大的发散角，满足照明、3D 感知等应用需求。公司激光光学产品已实现向光纤激光器、光刻机核心设备供应商、激光雷达等 领域知名客户供货：1）单（非）球面柱面透镜（快轴准直镜）供货国内龙头光纤激光器厂商，未 来有望受益于下游光纤激光器国产化率提升带动的需求增长。近年来，光纤激光器 国产化趋势显著，公司为国内龙头光纤激光器厂商创鑫激光、锐科激光等提供单（非） 球面柱面透镜（快轴准直镜）。2）光场匀化器供货

20、A 公司，应用于 ASML 核心设备。公司的光场匀化器应用 于国内主要光刻机研发项目和样机中，并供应给世界顶级光学企业 A 公司，最终应 用于全球高端光刻机生产商 ASML 的核心设备。2020 年公司半导体光刻收入达 1818 万元，向 A 公司销售 78 件光场匀化器。3）为激光雷达客户供光束准直系列产品、光场匀化器、光束扩散器。公司已 与 Velodyne LiDAR、 Luminar、Argo AI 等汽车激光雷达行业多家客户开展技术与 业务合作。3.3 战略重组驱动增长，价格下探增强市场竞争力2019 年末，公司开始对 LIMO 进行战略重组，将 LIMO 拆分为三个独立的资产组 运

21、营，激光光学产品线业务及资产保留在 LIIMO 中，半导体激光产品线及资产组分拆至 母公司，光学系统产品线及资产注入海宁炬光光学系统业务运营，裁撤冗余人员，并在 东莞炬光新增光束准直转换系列产品的后端生产工艺，即新增镀膜、切割、清洗、检验 环节，从而提升产能和生产效率，并拓展国内市场。战略重组带动了公司激光光学业务 在 2020、2021 年的快速增长，2020 年公司激光光学业务收入达 1.82 亿元，同比增长 了 93.56%，2021 年 1-9 月公司激光光学业务较 2020 年同期增长 23.86%，其中光束 准直系列产品较 2020 年同期增长 72.53%。此外，公司激光光学业务

22、毛利率在 2020、2021 年持续提升，2021H1 达到 62%。 我们认为主要得益于公司自建后端生产工艺带来的规模效应，且国内相比德国人工成本 更低。生产成本的下降也带动了产品均价的下探，公司的光束准直系列产品均价从 2018 年的 36 元/件下降到 2021H1 的 11 元/件，我们认为这将有利于公司产品进一步打开市 场。4. 光子应用模块和系统：“产生光子”+“调控光子”，拓宽 半导体激光器应用边界结合“产生光子”和“调控光子”，打开半导体激光器直接应用市场。与其他类型激光器相比，高功率半导体激光器在效率、可靠性、成本、尺寸等 各方面都具有优势，但高功率半导体激光器主要用于固体激

23、光器、光纤激光器的泵 浦源，而直接应用范围有限，主要原因在于高功率半导体激光器的光束质量较差， 尤其是高功率边发射腔半导体激光器的光束质量在快慢轴极端不对称：快轴方向 BPP 良好，慢轴方向 BPP 很大，光束发散角大，光斑成椭圆形。但通过微光学透 镜对激光进行整形，使得低光束质量的半导体激光器产生的光子直接整形为符合更 多特定应用所需的光斑形状、功率密度和光强分布。公司立足于上游高功率半导体激光元器件、激光光学元器件的核心能力，结合 半导体激光器光束输出特点，设计和制备微光学整形元器件，改变了过去使用高光 束质量零维点光源激光器进行扫描的方式，直接产生一维的线光斑或二维的面光斑， 从而实现特

24、定应用所需的光斑形状、功率密度和光强分布，减轻传统领域对激光光 源高光束质量的严苛要求，形成光子应用模块和系统。目前公司布局于中游三大领 域：车载激光雷达、半导体制程、家用医疗健康。4.1 车载激光雷达长坡厚雪，布局半固态、闪光式激光雷达发射模组4.1.1 市场规模：千亿级市场，发射端模组价值量占比高我们认为，车载激光雷达作为 L3 级别及以上车型必备的传感器，伴随着自动 驾驶技术的快速发展，市场前景广阔。根据长光华芯招股说明书援引 Yole 预测，全 球激光雷达无人驾驶市场销售额将在 2025 年将达到 46.55 亿美元，在 2032 年达到 82.11 亿美元；预计全球激光雷达高级辅助驾

25、驶市场在 2025 年将达到 15.35 亿美元， 在 2032 年将达到 96.18 亿美元。激光雷达发射模组在激光雷达成本中占比较高。根据汽车之心微信公众号，以 Valeo 的转镜式激光雷达为例，BOM 成本约为 300 美元，激光单元板和激光机械部 件合计占比达 30%。4.1.2 技术路径：从点光源到线光源、面光源，VCSEL 或将取代 EEL，多类型激 光雷达融合1）点光源 VS 线光源、面光源：线光源、面光源有望替代点光源。对比传统的单点、多点光源，线光源通过 光束扫描器进行宽视场角扫描实现激光雷达探测，且拥有较高的模组集成度，结合 新型阵列探测技术可大幅增加分辨率的同时保持较低成

26、本，能量利用效率较高，有 效提高了探测距离和探测精度；而面光源应用在 Flash 激光雷达领域，可以减少运 动部件的使用，从而大幅提高系统可靠性。面光源和线光源适用于车身不同位臵。面光源存在能量密度低的短板，探测 距离近，适用于车身侧面和后面，而线光源能量利用率高，测距远，配合转镜或一 维扫描的大口径 MEMS 等混合固态激光雷达系统，能够适用于前向激光雷达系统。2）EEL VS VCSEL：EEL 为激光雷达主流发射器，VCSEL 当前适用于近距离， 未来在远距离领域或将取代 EEL。在发射器类型上，当前用于激光雷达的主流发射 器为 EEL，EEL 在峰值功率上具备突出优势，标准化程度高，供

27、应链相对成熟，为 目前激光雷达行业旋转式激光雷达和 MEMS 激光雷达中的主流光源技术，占据激光 雷达发射器 55%的市场份额，而 VCSEL 易于二维集成、采用 wafer 级制造，成本 更低，且温漂系数小、高温工作稳定，但功率密度有待提升，当前更适合于中短距 离的 Flash 激光雷达，若用于远距离扫描式激光雷达需要提升能量密度或者增大体 积。但未来随着 VCSEL 技术的进步，基于 VCSEL 的线光斑一维扫描激光雷达可能 取代基于 EEL 的线光斑一维扫描雷达。3）多类型激光雷达融合。我们预计，激光雷达市场将朝“长探测距离使用混 合固态激光雷达+短探测距离使用全固态激光雷达”的融合方向

28、发展。根据电子工 程专辑微信公众号、智车行家微信公众号援引 Yole，当前公布搭载激光雷达的车型 主要以搭载单个激光雷达为主，但在汽车需要改变车道的场景中，需要在侧面安装 中短距离激光雷达，因而预计未来车厂将逐步实现在单车中融合使用短距、中距、 远距激光雷达，有望搭载多种激光雷达的车型包括：雷克萨斯 LS 2021 汽车搭载的 4 台激光雷达（1 台长距离 Denso 激光雷达、3 台短距离 Continental 激光雷达）等。 根据炬光科技的预测，未来 LIDAR 光源有望实现在前向使用 1 台 EEL 线光斑一维 扫描式激光雷达实现远距探测，侧向、后向使用 35 台基于 VCSEL 大视

29、场角的低 成本 Flash 激光雷达实现短距探测。4.1.3 激光雷达发射模组产品适用不同路线，面光源模组已量产公司在激光雷达发射模组的多种技术路线上均有技术储备。公司已开发出基于 边发射半导体激光器（EEL）、垂直腔面发射半导体激光器（VCSEL）、固体激光器 等光源技术的模组，应用于半固态线扫描式激光雷达路线的线光斑光源模组和闪光 式固态激光雷达技术路线的面光斑光源模组。公司的面光源模组主要用于车身侧面及后方激光雷达，已实现量产。2019 年， 公司与德国大陆集团签订框架协议，供货固体激光器作为光源的 Flash 激光雷达， 总金额预计约为人民币 4 亿元，该框架协议已于 2020 年 9

30、 月进入量产阶段，订单 将在2020-2024年逐步释放，公司供货大陆的面光源模组目前已在雷克萨斯LS 500 系列、丰田 mirai 车型上得到应用。重点投入混合固态线光斑激光雷达发射模组，与 B 公司合作。公司重点投入 易过车规、成本更低的混合固态线光斑路线的激光雷达发射模组，主要是基于 EEL+ 一维转镜的方案，2020 年 9 月，公司与 B 公司签署车用激光器领域框架合作协 议，合作生产转镜式半固态激光雷达，此外，公司积极推动单轴 MEMS 线光斑方 案。4.2 “颜值经济”催化家用医美市场，与 Cyden 签订框架协议家用医美渗透率低，市场规模有望快速增长。根据中国消费者报 202

31、10802 期数据， 国内家用美容仪的渗透率在天猫平台上仅为 0.5%，京东平台为 3%，日本家用美容仪的 渗透率是 11%，美国则达到 20%，整体来看，家用医美渗透率处于较低水平。我们认为， 对比专业美容机构、美容院的美容服务，家用美容仪使用便捷、性价比更高，能够满足 消费者的日常美护需求，我们预计随着消费升级、个人护理意识的增长以及人口老龄化 趋势，消费者对家用美容仪的需求将持续增长，家用医疗美容仪渗透率有望逐步实现逐 步提升。PSmarketresearch 的预测数据显示，2020 年全球家用美容仪的市场规模达 95.72亿美元，预计在 2030 年达到 895.35亿美元，2020

32、-2030年的年复合增速达 25.1%。激光医美优势突出。激光在家用医美领域的应用包括家用脱毛、家用嫩肤等。1）家用脱毛：波长 808nm 的激光在专业脱毛领域已被广泛认可，家用脱毛领域， 对比市场上的 IPL 脱毛，家用激光脱毛光谱更窄，激光能量能够更多地被毛囊吸收，并 达到更高的能量密度，脱毛效果更好，同时，由于大多数半导体激光器在近红外光谱工 作，半导体激光器使得激光功率能够最大限度被毛发吸收、最小限度被其他部位吸收；2）家用嫩肤领域：目前主流嫩肤仪器主要采用光子嫩肤和射频嫩肤，光子嫩肤使 用 LED 或闪光灯，射频嫩肤通过射频产生热量进行皮肤提拉，而家用嫩肤采用 1470nm 波长非剥

33、脱点阵技术，可深入真皮层，通过激光点阵进行微创，有效刺激胶原蛋白增生 并实现皮肤新生，对痘印、痘坑、细纹等有明显的改善作用，效果相比前两者更加显著。家用激光嫩肤模块与 Cyden 签订框架协议，拓展家用净肤等应用。公司开发的家 用激光嫩肤模块，在 2020 年 8 月与全球知名家用医疗美容设备制造商英国 Cyden 公 司签订总价值约 8 亿元长期独家战略合作协议，订单将在 2020-2026 年间逐步释放， 2021 年 8 月产品已进入小批量生产阶段，预计 2022 年 5 月前进入量产阶段。同时公 司积极拓展家用净肤等其他激光家用医疗健康应用领域。4.3 半导体制程：集成电路、OLED

34、市场拓展稳步推进4.3.1 集成电路晶圆退火：激光退火提升先进制程晶圆良率，供货台积电随着半导体集成电路集成度不断提高，关键尺寸从微米级到纳米级，集成电路制造 难度增加，在 28nm 及以下的芯片制程中，传统的热退火工艺不能满足快速退火的需求， 激光退火能够更好消除离子注入所产生的晶格缺陷，同时由于加热时间短，可避免破坏 集成电路的浅结电导率及其他特性，从而提升晶圆生产良率。激光退火对激光能量的均匀性和稳定性要求高。公司推出的 DLightS 系列半导体 集成电路晶圆退火系统，能够产生近红外波段极窄线光斑，并在光斑长度方向达到 95%的能量均匀性和98%的能量稳定性。公司在 2020 年进入台积电供应链并通过产线验证，预计 2021 年订单可形成稳定 供应，并于 2020 年取得国内领先半导体设备集成商上海微电子和华卓精科用于集成电 路晶圆退火的高功率激光器模块的订单。4.3.2 OLED 激光剥离和退火：固体激光系统有望取代准分子激光系统激光剥离