半导体器件物理

1、半导体器件物理第1页，共12页，2022年，5月20日，1点43分，星期二1参考书：微电子器件物理基础1、施敏美著 ，半导体器件物理与工艺，苏州大学出版社，2002年。2、孟庆巨、刘海波、孟庆辉编著，半导体器件物理，科学出版社，2005年。3、刘树林、张华曹、柴常春编著，半导体器件物理，电子工业出版社，2006年。4、半导体物理与器件 (美)D.A. Neamen 赵毅强等译 电子工业出版社5、半导体制造技术Michael Quirk et al. 电子工业出版社6、半导体器件基础 (美)B.L. Anderson, R.L. Anderson, 邓宁等译 清华大学出版社7、微电子学概论 张兴

2、 北京大学出版社8、固体物理黄昆高等教育出版社9、Handbook of Semiconductor Fabrication TechnologyNew York :Marcel Dekker,c2000 10、半导体中的杂质深能级 A.G.米尔恩斯 科学出版社11、以及其他的papers、conferences、handouts第2页，共12页，2022年，5月20日，1点43分，星期二2微电子发展史上的几个里程碑1962年Wanlass、C. T. SahCMOS技术 现在集成电路产业中占95%以上1967年Kahng、S. Sze 非挥发存储器1968年Dennard单晶体管DRAM19

3、71年Intel公司微处理器计算机的心脏目前全世界微机总量约6亿台，在美国每年由计算机完成的工作量超过4000亿人年工作量。美国欧特泰克公司认为：微处理器、宽频道连接和智能软件将是21世纪改变人类社会和经济的三大技术创新。第3页，共12页，2022年，5月20日，1点43分，星期二3不断提高产品的性能价格比是微电子技术发展的动力集成电路芯片的集成度每三年提高4倍，而加工特征尺寸缩小 倍，这就是摩尔定律微电子发展的规律第4页，共12页，2022年，5月20日，1点43分，星期二4集成电路技术是近50年来发展最快的技术微电子技术的进步按此比率下降，小汽车价格不到1美分第5页，共12页，2022年，

4、5月20日，1点43分，星期二55000 4000 3000 2000 1000 0 1000 2000 3000 4000石器时代 35000年铜器时代 1800年铁器时代 3200年硅器时代XX 年？3000BC 1200BC 1968第6页，共12页，2022年，5月20日，1点43分，星期二6我国年微电子发展展望上海IC产业发展战略目标 到2010年总投资量600 亿美元，建成20 40条生产线，200 个设计公司及20家封装/测试厂带动上海700 亿美元相关产业发展，成为第一大产业第7页，共12页，2022年，5月20日，1点43分，星期二7我国年微电子发展展望上海中芯国际：14.7

5、6亿美元，8英寸，0.25微米，4.2万片/月上海宏力16.37亿美元，8英寸，0.25微米，4万片/月北京华夏半导体13亿美元，8英寸，0.25微米天津Motorola MOS1714.75亿美元，8英寸，0.25微米，6000片/周第8页，共12页，2022年，5月20日，1点43分，星期二8新的存储器NOR (Not OR gate) Flash Memory 闪存NAND (Not AND gate) Flash Memory 闪存：韩国三星：2005年9月突破50 nm工艺技术，制造出NAND闪存卡 (16 G，164亿个晶体管)，有可能取代硬盘，(纳电子学)；中国朗科：0.18m

6、(180 nm)工艺技术，优芯II号优盘， (微电子学)。从180 nm90 nm50 nm 工艺技术，我们在技术上与别人比差两代。 2006年集成电路线宽已经突破45 nm。第9页，共12页，2022年，5月20日，1点43分，星期二92005年10月10日 中芯国际 (SMIC)和光刻印刷增强技术系统供应商朗明科技公司(Luminescent Technologies Inc.)近日共同宣布将朗明科技的反向光刻印刷技术(Inverse Lithography Technology)应用在中芯国际的65纳米及以下技术工艺的生产中。双方共同致力于将反向光刻印刷技术应用于最先进的集成电路设计中。

7、两家公司的合作始于将朗明科技所研发的“探索者”(Explorer TM)光刻开发平台安装在中芯国际的制造厂中。 第10页，共12页，2022年，5月20日，1点43分，星期二10广州也拥有自己的“芯” “十五”期间，广州进一步提升了区域科技中心城市地位。2004年，广州科技领域发生了一件大事：广州拥有了自己的“芯”。由中国南科集团股份有限公司投资的广州第一条芯片生产线正式动工，这是华南地区第一条芯片生产线，近年来，广州有从事集成电路生产和设计的企业及相关科研机构50多家。 天河软件园以40%增速前进。 第11页，共12页，2022年，5月20日，1点43分，星期二11 从微电子学到纳电子学在过去的25年，晶体管的尺度每2至3年减少30%，而功能增加1倍。2006年，晶体管的栅宽为60 nm；2008年初，45nm的CPU已经商业化；人们预