CDA系统及制程真空系统简介解读课件

1、 压缩干燥空气及制程真空系统厂务四处空调课第1页，共37页。 第一单元压缩干燥空气系统第2页，共37页。压缩干燥空气系统系统目的?提供低含水量之压缩洁净空气需求设备?离心式空气压缩机(螺旋式空气压缩机)?吸附式干燥机(冷冻式干燥机)?微粒子过滤器质量要求(各厂需求略有不同)?系统末端压力高于7.0kg/cm2?空气露点温度低于-70(水份含量低于0.12ppm)?微粒数少于10颗/ft3 第3页，共37页。压缩干燥空气系统压力单位?inHg、mmAq、kg/cm2、Psi (lb/in2)、Pa (N/m2)、Bar (105 Pa)、Torr大气压力?1atm=29.92inHg=10,32

2、8mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi=101,325Pa=1.01Bar=760Torr绝对压力?表压力+大气压力压力换算?1kg/cm2=14.7/1.033=14.2psi 第4页，共37页。压缩干燥空气系统风量单位?CMM(m3/min)、CMH(m3/hr)、CFM(ft3/min)单位换算?1CMM(m3/min)=1m3/(1/60hr)=60CMH=(3.28ft)3/min=35.3CFM特定风量条件?Standard Condition(SCMM)：1atm、20、65%R.H?Normal Condition(NCMM)：1atm、0、0%R.H第5页，共37

3、页。压缩干燥空气系统Standard&Normal风量转换?理想气体定律?(P1*V1)/T1=(P2*V2)/T2?P：绝对压力?T：绝对温度Standard&Normal风量转换范例?100SCMM= NCMM?理想气体定律(1.033kg/cm2*100SCMM)/(20+273)=(1.033kg/cm2* NCMM)/(0+273)?Ans：93.17NCMM?Q(Standard) Q(Normal)第6页，共37页。压缩干燥空气系统压缩干燥空气处理流程第7页，共37页。压缩干燥空气系统离心式空气压缩机第8页，共37页。压缩干燥空气系统离心式空气压缩机 冷 凝 水 橈 性 接 頭

4、油 過 滤 器 油 温 控 制 阀 油 冷 却 器主 油 泵 油 加 热 器 油 箱 旁 通 阀 过 滤 網 油 空 氣 水 後 冷 却 器中 間 冷 卻 器中 間冷 卻 器 辅 油 泵進 口 空 氣 过 滤 器 和 消 音 器進 口 調 節 導 葉 止 回 阀 排 油 氣 風 扇 及 過 滤 器第9页，共37页。压缩干燥空气系统IGV&BOV第10页，共37页。压缩干燥空气系统干燥机组件介绍第11页，共37页。压缩干燥空气系统干燥机组件介绍气动控制阀件第12页，共37页。压缩干燥空气系统干燥机温度/压力表(机械式)入口壓力出口壓力A桶槽壓力 B桶槽壓力冷卻壓力A桶槽溫度B桶槽溫度排氣出口溫度

5、第13页，共37页。压缩干燥空气系统干燥机温度/压力表(机械式)Inlet PressureLeft Chamber PressureA桶槽B桶槽Outlet PressurePurgeRight Chamber PressureMoisture Indicator1.蓝色?正常2.粉红?含水第14页，共37页。压缩干燥空气系统干燥机温度/压力表(机械式)B桶槽冷却压力第15页，共37页。压缩干燥空气系统干燥机温度/压力控制开关(电子式)加热温度控制开关(维持200)加热器温度保护开关(370)B桶槽高温切换保护开关(50)A桶槽高温切换保护开关(50)空气出口温度监视点A桶槽建压压力开关(4

6、5psi)B桶槽建压压力开关(45psi)加热结束温度控制开关(80)第16页，共37页。压缩干燥空气系统Cycle Time(22hr)?单一桶槽依续完成吸附与再生过程之总时间吸附过程(11hr)?干燥粒吸收压缩空气所含水份之程序再生过程(11hr)?泄压程序(8min)：泄除欲再生桶槽保有之压力?加热程序(240min max)：加温移除干燥粒子所含水份?冷却程序(410min max)：冷却干燥粒以恢复吸附能力?建压程序(15min)：建立再生完成桶槽之压力第17页，共37页。压缩干燥空气系统工作流程吸附过程入口阀(桶槽切换时作动)A桶排气阀(OFF)B桶排气阀(OFF)A桶泄压阀(OF

7、F)B桶泄压阀(OFF)吸附桶槽待机桶槽建压阀(OFF)桶槽切换依据1.侦湿器作动(7.513kHz)2.时间控制(11hr)B桶槽高温切换保护开关(50)A桶槽高温切换保护开关(50)第18页，共37页。压缩干燥空气系统再生过程泄压程序(8min)入口阀A桶排气阀(OFF)B桶排气阀(OFF)A桶泄压阀(ON)B桶泄压阀(OFF)泄压桶槽吸附桶槽建压阀(OFF)第19页，共37页。压缩干燥空气系统再生过程加热程序(240min max)入口阀A桶排气阀(ON)B桶排气阀(OFF)A桶泄压阀(OFF)B桶泄压阀(OFF)加热桶槽吸附桶槽建压阀(OFF)加热温度控制开关(维持200)加热器温度保

8、护开关(370)加热结束温度控制开关(80)1.鼓风机启动2.加热器启动第20页，共37页。压缩干燥空气系统再生过程冷却程序(410min max)入口阀A桶排气阀(ON)B桶排气阀(OFF)A桶泄压阀(OFF)B桶泄压阀(OFF)冷却桶槽吸附桶槽建压阀(ON)35第21页，共37页。压缩干燥空气系统再生过程建压程序(15min)入口阀A桶排气阀(OFF)B桶排气阀(OFF)A桶泄压阀(OFF)B桶泄压阀(OFF)建压桶槽吸附桶槽建压阀(ON)35A桶槽建压压力开关(45psi)B桶槽高温切换保护开关(50)A桶槽高温切换保护开关(50)第22页，共37页。压缩干燥空气系统微粒子补捉原理气流惯

9、性/冲击粒子粒子粒子栏截扩散/静电粒子运动路径粒子运动路径第23页，共37页。 第二单元制程真空系统第24页，共37页。制程真空系统系统目的?移除系统内气体、创造具真空度之空间需求设备?真空机 (真空泵)质量要求(各厂略有不同)?系统末端真空度高于25.0 inHg第25页，共37页。制程真空系统压力单位?inHg、mmAq、kg/cm2、Psi (lb/in2)、Pa (N/m2)、Bar (105 Pa)、Torr大气压力?1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi=101,325Pa=1.01Bar=760Torr绝对压力?表压力+大气压力真空度?负压力单位or压力单位(vac)第26页，共37页。制程真空系统真空系统流程图第27页，共37页。制程真空系统真空机组成第28页，共37页。制程真空系统真空机工作流程空 气 部 份润滑油部份第29页，共37页。制程真空系统真空机表件/图控点/附属组件第30页，共37页。制程真空系统真空机入口导引阀真空开关设定：下限?-26.0inHg上限?-28.0inHg设备启动(真空度小于26.0inHg vac)真空度大于26.0inHg(vac)小于28.0inHg(vac)(重载)真空度大于28.0inHg(vac)