无尘室基础知识

1、无尘室基础知识Cleaning room training共二十页 1.污染(wrn)定義 1.污染(wrn)定义 a).所有存在于產品上，會對產品產生直接或 間接危害的物質； b).所有存在于產品上，超出產品要求之外的 物質； c).任何客戶不允許存在于產品上的物質。 2.污染危害 a).打印白點，白線； b).電路短路：導電物質在IC線路間；共二十页 c).ESD：不導電物在IC線路間，靜電積聚 Charge ESD； d).粘結力不夠：加膠； e).腐蝕，溫度積聚。 3.污染來源 人是無塵室中污染的最大來源。無塵室空气(kngq) 中檢測到的污物中，80%來源于人，15%來源 于工具和設

2、備，5%來源于環境。共二十页 4.污染的去除 污染控制的一個最大突破是無塵室的使用。 擦洗(c x)：用無塵抹布蘸溶劑水擦除灰塵、污漬。 共二十页 5.污染(wrn)的逐級清洁控制 即從外圍環境到工作區域進行台階式漸進 控制，直至達到工作環境要求。如下圖1：无尘室 Clean RoomClass100/1K/10K/100K办公室 + 普通工场 Class300K 廠區 Class 500-800K 共二十页无尘室定义无尘室分类无尘室组成无尘室控制瀚誠無塵室主要控制指標无尘室知识共二十页 1、無塵室(Cleaning Room,C/R)定義 使室內(厂房)空气的塵粒、溫度、濕度壓力 等技術指標

3、成為一穩定受控的區域，用來保 証某一生產或試驗過程所必需的環境要求， 該區域即被稱為無塵室。2、無塵室一般(ybn)的分類： Class-100/1K/10K（ISL C/R)/100K四种級別的無塵室。共二十页 3、無塵室的基本(jbn)組成： 更衣室、風浴室、無塵室(工作區域)。 更衣室：相對普通工場及辦公室而言，是一個更 洁淨的區域，主要用來穿脫無塵衣， 時也能保証無塵衣貯存在一個 相對清洁的區域內。 共二十页 風浴室：兩側牆壁上密排空气噴咀，它能噴出 1624M/S的高速(o s)洁淨的空气，其目的是用強的 洁淨空气流吹去無塵工衣表面的懸浮塵埃,從 而達到清洁無塵工衣表面的目的。同時,

4、地板 上鋪有地板膠，其目的是將無塵鞋套底部處 的臟東西粘下來，從而達到清洁鞋底部的功效。 共二十页 無塵室：從無塵室天花板高效清洁過濾器吹 出的空气非常清洁，Hepa Filter能將99.97% 的大于等于(dngy)0.3um的塵粒過濾掉，過濾后 的空气每立方尺中大于等于0.3um的塵粒 一般不超過1粒，從Hepa Filter吹下的洁淨 空气吹過無塵室工 作區域的所有空間，源 源不斷地用干淨的空气替換已污臟的空气，最 共二十页 經回風口帶出無塵室，同時，通過調整進風 量与回風量從而使得工作區域靜壓力高于外 界气壓(約高5-10pa)，從而使外界空气不致 灌進無塵室。另外，所有用來建造無塵

5、室 的牆壁材料(cilio)均為表面低發塵性的專用材料(cilio), 應注意其牆壁的保護，不可刻畫及張貼而 損坏牆壁表面。 共二十页 人机料法环4、無塵室 的控制共二十页 無塵室控制思想： a).少進多出 一要做到“多出”，也就是盡可能快及盡可能多地 將無塵室的塵粒排出無塵室之外； 二要做到“少進”，試想，如果進入無塵室的塵粒 數量大于無塵室所能排出的數，結果可想而知， 所以“少進”也是一個非常重要的因素(yn s)，為了達 到“少進”的目的，需從人、机、料、法几個方 面尋找問題根源，盡量減少這几個方面產生塵 粒的可能性。共二十页 b).防止交叉污染 物体与物体、物体与環境等之間的相互污染。

6、 主要(zhyo)有以下途徑： 干淨物体 相對污臟的環境或物体 污臟物体 相對干淨的環境或物体共二十页 5、無塵室控制注意事項人：在所有(suyu)影響到無塵室清洁度的因素中，人是最主 要因素，發塵量占85%左右，實驗証明在人員走 動頻繁的時間內(上下班時間)，無塵室塵粒數量 明顯高于穩定的工作時間的塵粒數量。為什么人 會對塵粒控制產生如此大的影響呢？因為人是活 躍的，人的新陳代謝會產生大量的頭屑、皮屑等， 呼出的气体中也帶有大量的塵粒人到處走動尤其共二十页 有劇烈動作時會將自身這個最大的污染源到處 傳播，因而使得無塵室因人的出現而難以控制。 所有(suyu)這些都要求我們必須正确穿著無塵衣及

7、嚴 格遵守無塵室紀律，同時需講究良好的個人衛 生，如勤洗澡、勤換衣等。即要做到以下几點： a).避免劇烈動作； b).講究個人衛生； c).嚴禁在無塵室中解開無塵衣及其它無塵室違 紀行為。 共二十页 机：包括所有用在無塵室內的儀器、設備，如生產 的一系列儀器、設備等，再如平常(pngchng)無塵室內用 的桌椅等，需滿足以下要求，就是： a).清洁合格，保証不將塵粒帶进無塵室內； b).產生塵粒的能力低 杜絕塵粒污染源； c).定期清洁，保持机器隨時處于干淨狀態。共二十页瀚誠無塵室主要(zhyo)控制指標共二十页The EndThanks!共二十页内容摘要无尘室基础知识。Class100/1K/10K/100K。使室內(厂房)空气的塵粒、溫度、濕度壓力。Class-100/1K/10K（ISL C/R)/100K四种級別的無塵室。更衣室、風浴室、無塵室(工作區域)。的臟東西粘下來，從而達到清洁鞋底部的功效。的大于等于0.3um的塵粒過濾掉，過濾后。的牆壁材料均為表面(biomin)低發塵性的專用材料,。到“少進”的目的，需從人、机、料、法几個方。