ISO14644-1洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级_第1页
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1、ISO14644-1洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级ISO等级序号（N）大于或等于表中粒径的最大浓度限值（pc/m3）0.1um0.2um0.3um0.5um1um5umISO Class 1102-ISO Class 210024104-ISO Class 31000237102358-ISO Class 4100002370102035283-ISO Class 51000002370010200352083229ISO Class 61000000237000102000352008320293ISO Class 7-352000832002930ISO Class 8-35200

2、0083200029300ISO Class 9-352000008320000293000洁净送风量（静态）和气流流行空气洁净度等级气流流型平均风速（m/s）换气次数（次/h）15单项流或混合流0.20-0.45-6非单项流-50607非单项流-152589非单项流-1015注：1、换气次数适用于层高小于4.0米的洁净室 2、室内人员少、热源少。宜采用下限值。各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求产品、工序空气洁净度等级控制粒径（um）半导体材料拉单晶680.5切、磨、抛570.30.5清洗460.30.5外延460.30.5芯片制造氧化、扩散、清洗、刻蚀、薄膜、离子注入、CMP250.10

3、.5光刻150.10.3检测360.20.5设备区680.30.5封装划片、键合570.30.5封装680.30.5TFT-LCD陈列板（光刻、刻蚀、薄膜、剥离）250.20.3成盒（涂复、摩擦、液晶注入、切割磨边）360.20.3模块460.30.5彩模板250.20.3STN-LCD67（局部5级）0.30.5HDD制造区340.10.3其他区670.30.5POP核心区670.30.5支持区780.30.5锂电池干工艺670.5其他区780.5彩色显像管涂屏、电子枪装配、荧光粉670.5锥石墨涂覆、荫照装配80.5表面处理570.5电子仪器、微型计算机装配8（0.5）高密磁带制造68（局部5级）（0.5）印刷版的照相、制版、干膜78（0.5）光导纤维预制棒670.30.5拉丝570.30.5光盘制造680.30.5磁头生产核心区50.3清洗区60.3片是陶瓷电容

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