检测~传感器与检测技术

1、2022-7-41第十一章：第四节第十一章：第四节 磁栅传感器磁栅传感器 磁栅价格低于光栅，且录磁方便、易磁栅价格低于光栅，且录磁方便、易于安装，测量范围宽可于安装，测量范围宽可超过十几米超过十几米，抗干，抗干扰能力强。磁栅可分为扰能力强。磁栅可分为长磁栅长磁栅和和圆磁栅圆磁栅。长磁栅主要用于直线位移测量，圆磁栅主长磁栅主要用于直线位移测量，圆磁栅主要用于角位移测量。磁栅传感器主要由磁要用于角位移测量。磁栅传感器主要由磁尺、磁头和信号处理电路组成。尺、磁头和信号处理电路组成。 2022-7-42磁栅的外形及结构磁栅的外形及结构磁尺磁尺静态磁头静态磁头去信号处理电路去信号处理电路固定孔固定孔20

2、22-7-43磁头与磁尺相对运动时的输出波形演示磁头与磁尺相对运动时的输出波形演示2022-7-44鉴相型磁栅数显表的原理框图鉴相型磁栅数显表的原理框图 磁尺与磁头接触，使用寿命磁尺与磁头接触，使用寿命不如光栅，数年后易退磁。不如光栅，数年后易退磁。设置两个磁头的设置两个磁头的意义何在？意义何在？2022-7-45磁栅测量系统磁栅测量系统压板压板磁头磁头磁尺磁尺2022-7-46磁栅在磨床测长系统中的应用磁栅在磨床测长系统中的应用磁尺磁尺磁头安装在何处？磁头安装在何处？2022-7-47第五节第五节 容栅传感器容栅传感器 容栅传感器是基于容栅传感器是基于变面积变面积工作原理工作原理的电容传感器

3、，它的的电容传感器，它的电极排列如同栅状电极排列如同栅状。与其他大位移传感器，如光栅、磁栅等与其他大位移传感器，如光栅、磁栅等相比，虽然精度稍差，但相比，虽然精度稍差，但体积小、造价体积小、造价低、耗电省低、耗电省，广泛应用于电子数显卡尺、，广泛应用于电子数显卡尺、千分尺、高度仪、坐标仪等千分尺、高度仪、坐标仪等几百毫米以几百毫米以下下行程的测量中。行程的测量中。 2022-7-48结构及工作原理结构及工作原理 容栅传感器可分为三类：容栅传感器可分为三类：直线型容直线型容栅、圆容栅栅、圆容栅和圆筒形容栅。其中，直线和圆筒形容栅。其中，直线型和圆筒形容栅传感器用于直线位移的型和圆筒形容栅传感器用

4、于直线位移的测量，圆形容栅传感器用于角位移的测测量，圆形容栅传感器用于角位移的测量。量。 2022-7-49各种容栅测量装置各种容栅测量装置2022-7-410各种容栅数显表各种容栅数显表2022-7-411各种容栅数显卡尺各种容栅数显卡尺各种容栅数显卡尺（续）该卡尺的分辨力为多少微米？该卡尺的分辨力为多少微米？2022-7-413各种容栅卡尺（续）各种容栅卡尺（续）2022-7-414各种容栅数显卡尺（续）各种容栅数显卡尺（续）外卡尺外卡尺汽车专用卡尺汽车专用卡尺2022-7-415各种容栅数显卡尺（续）各种容栅数显卡尺（续）内卡尺内卡尺2022-7-416容栅数显卡尺的结构容栅数显卡尺的结

5、构容栅数显卡尺内的数据容栅数显卡尺内的数据和信号处理组合功能块和信号处理组合功能块数显千分尺数显千分尺该千分尺的分辨力为多少微米？该千分尺的分辨力为多少微米？数显千分尺（续）数显千分尺（续）数显外径测量台数显外径测量台2022-7-421数显内螺孔深度尺数显内螺孔深度尺2022-7-422容栅数显百分表容栅数显百分表红宝石红宝石测头测头2022-7-423其他容栅数显百分表其他容栅数显百分表2022-7-424容栅数显千分表容栅数显千分表 可以显示可以显示1 m位位移量的千分表移量的千分表 千分表与百分表的千分表与百分表的本质区别在哪里？本质区别在哪里？2022-7-425容栅数显测高仪量程量程 750mm分辨率分辨率 0.001mm示值误差示值误差 0.0075mm示值重复性示值重复性 0.002mm (3)测量力测量力 13N 可调可调测量滑架的最大速度测量滑架的最大速度1 米米/秒秒 底座底座测测头头2022-7-426容栅数显测高仪容栅数显测高仪1.测力调节测力调节2.测头导轨测头导轨3.测头测头4.坐坐垫垫5.液晶屏显示液晶屏显示6.触摸开关触摸开关7.RS-232 输出输出8.