检漏仪维修操作说明-SmartTest

1、PV_2005-04_E.pptHelium Leak Detector产品规格介绍产品规格介绍产品结构及功能介绍产品结构及功能介绍测试方式介绍测试方式介绍产品设计优点产品设计优点售后服务售后服务HLT HLT 拆解拆解参考客户参考客户PV_2005-04_E.pptPV_2005-04_E.ppt产品规格介绍产品规格介绍 HLT 560 HLT 565 HLT 570(Dry) HLT 572 (Dry) 最小测漏率最小测漏率(mabr l/s) 5.10-12 5.10-12 5.10-12 5.10-12分子泵型式分子泵型式 分流式分流式 分流式分流式 分流式分流式 分流式分流式 前级抽

2、速前级抽速(m3/h) 5 30 2 7.5启动时间启动时间(min) 3 3 3 3反应时间反应时间(s) 0.5 0.5 0.5 0.5最大进口压力最大进口压力(mbar) 25 25 25 25内部校准泄露内部校准泄露 标准标准 标准标准 标准标准 标准标准自动校准功能自动校准功能 有有 有有 有有 有有附小车附小车 无无 有有 无无 有有PV_2005-04_E.ppt产品结构及功能介绍产品结构及功能介绍RC260：显示屏幕显示屏幕Mass spectrometer：质谱仪质谱仪Oil mist filter：油雾分离器油雾分离器Test port：测试口测试口Valve block：

3、阀组模块阀组模块Test leak：标准漏率棒标准漏率棒EVV：讯号放大器讯号放大器V1V6：valve block 阀组阀组DUO 5A: 机械泵机械泵TMH 071: 分子泵分子泵PV_2005-04_E.ppt检漏仪显示面板检漏仪显示面板此控制面板包含了controller、display，对于使用者而言，操作简单(one touch) 。 Controller：Start、Stop、 Zero、Setup. Display：漏率显示、状态显示、操作显示、参数显示.PV_2005-04_E.ppt离子源离子源 / Ion source材质为材质为 iridium / yttrium使用寿

4、命长。使用寿命长。(其他品牌材质为其他品牌材质为 wolfram)2 cathodes 设计，若其设计，若其中一组损毁机台会自动中一组损毁机台会自动切换至第二组。切换至第二组。PV_2005-04_E.ppt质谱管质谱管 / Mass spectrometer Mass spectrometer 180 离子轨域及离子轨域及 filter 设计，不设计，不但提高对于侦测气体之灵但提高对于侦测气体之灵敏性，更加强了漏率之准敏性，更加强了漏率之准确性。确性。PV_2005-04_E.ppt油雾分离器油雾分离器 / Oil mist filter 在前级搭配油式机械泵在前级搭配油式机械泵(Rotar

5、y vane pump)，氦气测漏仪之型号，氦气测漏仪之型号中中 (HLT 260 、HLT 265) ，配置配置油雾分离器油雾分离器(oil mist filter) 可以可以分离油气分离油气, ,避免造成工作环境之污避免造成工作环境之污染。染。PV_2005-04_E.ppt分子泵分子泵 / Turbo pump独特的独特的 PFEIFFER TMH 071 Split-flow turbo pump 之设计可承受更高之进气压之设计可承受更高之进气压力，并且保持最佳之抽气效力，并且保持最佳之抽气效率，同时率，同时可大幅度降低因进可大幅度降低因进气压力突然增大而对气压力突然增大而对 turb

6、o pump 所造成所造成的损坏。的损坏。PV_2005-04_E.ppt真空阀组真空阀组 / Valve blockValve block 与与 Split-Turbo pump 之搭配设计，在于最大工作之搭配设计，在于最大工作压力可达压力可达 18 mbar(18 mbar(业界最高业界最高) )，提升待测之时效性。提升待测之时效性。对于使用者之误操作对于使用者之误操作( (破大气破大气) )，提供保护功能，避免提供保护功能，避免 turbo pump 造成损坏及氦气测漏仪内部严重污造成损坏及氦气测漏仪内部严重污染。染。PV_2005-04_E.ppt测试方式介绍测试方式介绍 (Vacuu

7、m & Sniff) 正压测试正压测试 (Sniffer mode)将待测物体利用示踪气体将待测物体利用示踪气体 (4He，3He，H2) 施加内压，施加内压，并利用并利用 Sniffer probe 于待测物体外侧检漏可能之漏点。于待测物体外侧检漏可能之漏点。 负压测试负压测试 (Vacuum mode)将待测之腔体连接上氦气测漏仪之将待测之腔体连接上氦气测漏仪之 test port，以真空以真空装置或氦气检漏仪装置或氦气检漏仪 (本身为本身为 vacuum sysytem) 对待测对待测系统做抽真空，使其压力低于系统做抽真空，使其压力低于25 mbar, ,再于可能的泄再于可能的泄

8、漏点喷少许示踪气体检漏。漏点喷少许示踪气体检漏。PV_2005-04_E.ppt产品设计优点产品设计优点业界最高的入口压力 25 mbar，即可进入检漏状态独一无二的外接真空计功能，可直接在检漏仪面板上显示系统真空度Roughing pump 选择性高 Vacuum + Sniff 为标准配备内置标准漏率棒,可自动校准PV_2005-04_E.ppt模块化设计便于维护和维修操作简单,一个按钮启动,3分钟内进入工作状态专利型的双流设计,高灵敏度能对检漏仪及被检件提供保护灯丝寿命长（铱/钇材质、两组切换使用设计)灵敏度高,侦测到漏气 0.5 秒钟内即会有警报产生产品设计优点产品设计优点PV_200

9、5-04_E.ppt售后服务售后服务维修保养能力：维修保养能力：工程师受德国原厂技术训练且认证，并且设备最重要组件 turbo pump 亦为 Pfeiffer 生产，所以对设备的保养及维修具备丰富的经验及效率之保障。维修保养时效性：维修保养时效性：全产品均由 Pfeiffer 生产组装，上海伯东作为德国原厂设立的产品维修服务中心，能够及时提供备件的支持及快速反应能力。技术支持能力：技术支持能力：因产品应用广泛,上海伯东可依据客户实际使用状况,提供相应的教育培训及应用建议。PV_2005-04_E.ppt氦检漏仪拆解图氦检漏仪拆解图PV_2005-04_E.ppt分子泵、阀组分解图分子泵、阀组分解图turbo pumpvalve blockPV_2005-04_E.pptTMH 071 拆解图buttom, coilturbo dragspacing ringstatorshousingrotormag bearingPV_2005-04_E.ppt参考客户参考客户 深圳南玻、