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1、2010年3月22日扩散炉工作原理扩散炉主要性能参数扩散炉总体结构扩散炉各组成部分 扩散炉扩散原理简介 扩散炉控制原理 由于硅太阳电池实际生产中均采用型硅片，因此需要形成型层才能得到结，这通常是通过在高温条件下利用磷源扩散来实现的。 太阳电池制造工艺中，磷扩散一般有三种方法，一是三氯氧磷（POCl3）液态源扩散，二是喷涂磷酸水溶液后链式扩散，三是丝网印刷磷浆料后链式扩散，本公司目前采用的是第一种方法。 用保护性气体，通过恒温的液态源瓶（鼓泡或吹过表面），把杂质源蒸汽带入高温扩散炉中，经高温热分解同硅片表面反应，还原出杂质原子，并向硅片内扩散。 炉膛有效内径： 320mm 温度控制范围： 600

2、1100 恒温区长度及精度： 0.5/1080mm （8011100） 1.0/1080mm （400800） 单点温度稳定性： 1/4h （880时） 升降温速率可控范围： 爬升率: 15/min (最大) 下降率: 5/ min (最大) 具有超温、断偶、短路报警和保护功能。 具有自动斜率升降温及恒温功能。 送片方式： 采用SiC桨悬臂自动送片机构，舟速20500mm/min连续可调； 定位精度:2mm，SiC桨最大载片承重:16Kg,建议不超过14Kg。 炉门当悬臂完全进入炉管，达到极限位置的时候会自动关闭。 工艺过程由工控计算机全自动控制，直接在触摸屏上操作。 设备总体结构图 主要组成部分 电气控制部分、加热炉体部分、推舟净化机构和气源部分 电气控制部分 推舟净化机构 加热炉体部分 气源部分 整个控制柜分为四层，工控机控制部分分为上、中和下层3个独立部分，每层分别控制对应层的舟、炉温及气路部分，是整个系统的控制中

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