传感器技术第3章-电感式传感器

1、第第3章章 电感式传感器电感式传感器概述概述感测量感测量：位移、振动、压力、应变、流量、比重等。位移、振动、压力、应变、流量、比重等。电感式传感器电感式传感器电磁电磁感应感应 被测非电量被测非电量自感系数自感系数L L互感系数互感系数MM测量测量电路电路 U U、I I、f f自感式传感器自感式传感器互感式传感器互感式传感器电涡流式传感器电涡流式传感器种类：种类：根据转换原理，分自感式和互感式两种；根据转换原理，分自感式和互感式两种；根据结构型式，分气隙型和螺管型。根据结构型式，分气隙型和螺管型。概述概述优点：优点：不足：不足：存在交流零位信号，不宜于高频动态测量。存在交流零位信号，不宜于高频

2、动态测量。 重复性好，线性度优良重复性好，线性度优良在几十在几十m到数百到数百mm的位移范围内，输出特性的线性度较好的位移范围内，输出特性的线性度较好，且比较稳定。，且比较稳定。结构简单、可靠，测量力小结构简单、可靠，测量力小 衔铁为衔铁为(0.5200)10-4N时，磁吸力为时，磁吸力为(110)10-4N。分辨力高分辨力高机械位移：机械位移：0.1m，甚至更小；角位移：，甚至更小；角位移：0.1角秒。角秒。输出信号强，电压灵敏度可达数百输出信号强，电压灵敏度可达数百mV/mm 。电感式传感器电感式传感器3.1 3.1 自感式传感器自感式传感器3.2 3.2 差动式变压器差动式变压器3.3

3、3.3 电涡流式传感器电涡流式传感器 应用实例应用实例第第3章章 电感式传感器电感式传感器 电感式传感器是建立在电磁感应的基础上，利用线圈自感或互感的改变来实现非电量的检测。 电感式传感器的种类很多，本章主要介绍利用自感原理的自感式传感器(通常称为电感式传感器)，利用互感原理的互感式传感器(通常称为差动变压器式传感器)，利用涡流原理的电涡流式传感器。 3.1 自感式传感器 3.1.1 3.1.1 工作原理工作原理 自感式传感器是把被测量的变化转换成自感L的变化，通过一定的转换电路转换成电压或电流输出。 按磁路几何参数变化形式的不同，目前常用的自感式传感器有变气隙式、变截面积式和螺线管式三种。

4、第第3章章 电感式传感器电感式传感器 图所示是自感式传感器的原理图。第第3章章 电感式传感器电感式传感器气隙型电感传感器气隙型电感传感器2mNLR线圈电感：线圈电感：N - 线圈匝数线圈匝数Rm- 磁路总磁阻磁路总磁阻线圈线圈铁芯铁芯衔铁衔铁气隙型电感传感器气隙型电感传感器12ll气隙型电感传感器气隙型电感传感器线圈线圈铁芯铁芯衔铁衔铁气隙型电感传感器气隙型电感传感器Rm- 磁路总磁阻：磁路总磁阻：12ll1211220mlllRSSS1l 铁 芯 磁 路 总 长2l 衔 铁 磁 路 总 长S 气 隙 磁 通 截 面 积1S 铁 芯 截 面 积2S 衔 铁 截 面 积1 铁 芯 磁 导 率2

5、衔 铁 磁 导 率7004*10H / m真 空 磁 导 率 ，l 空 气 隙 总 长气隙型电感传感器气隙型电感传感器Rm- 磁路总磁阻：磁路总磁阻：1211220mlllRSSS1l 铁 芯 磁 路 总 长2l 衔 铁 磁 路 总 长S 气 隙 磁 通 截 面 积1S 铁 芯 截 面 积2S 衔 铁 截 面 积1 铁 芯 磁 导 率2 衔 铁 磁 导 率7004*10H / m真 空 磁 导 率 ，l 空 气 隙 总 长12012SSS且0mlRS气隙型电感传感器气隙型电感传感器线圈线圈铁芯铁芯衔铁衔铁22020mNRNlSLNSl气隙型电感传感器气隙型电感传感器线圈电感：线圈电感：12ll

6、N - 线圈匝数S 气 隙 磁 通 截 面 积7004*10H / m真 空 磁 导 率 ，l 空 气 隙 总 长气隙型电感传感器气隙型电感传感器线圈线圈铁芯铁芯衔铁衔铁20NSLl线圈电感：线圈电感：12llN - 线圈匝数S 气 隙 磁 通 截 面 积0 真 空 磁 导 率l 空 气 隙 总 长如果如果S S保持不变，则保持不变，则L为为l的单值函数，构成的单值函数，构成变气隙式变气隙式自感传感自感传感器器. .若保持若保持l不变，使不变，使S随被测量（如位移）变化，则构成随被测量（如位移）变化，则构成变截面式变截面式自自感传感器，感传感器， S 如果空气隙较小，且不考虑磁路的铁损，则线圈

7、的自感可按下式计算： 因为导磁体的磁导率远大于空气磁导率，即气隙磁阻远大于铁芯和衔铁的磁阻，所以线圈的自感为 21ii02niiNLlSS220022NSNLS第第3章章 电感式传感器电感式传感器 由式可以看出，当线圈匝数一定时，电感量与空气隙厚度成反比，与空气隙相对截面积成正比。若不变S，变化 ，则L为的单值函数，可构成变气隙式传感器，如图(a)所示。若不变 ，变化S，则可构成变截面积式传感器，如图 (b)所示。若线圈中放入圆柱形衔铁，则是一个可变自感，当衔铁上、下移动时，自感量将相应发生变化，这就构成了螺线管型自感传感器，如图(c)所示。 第第3章章 电感式传感器电感式传感器 上述自感传感

8、器，虽然结构简单，运行方便，但也有缺点，如自线圈流往负载的电流不可能等于0，衔铁永远受有吸力，线圈电阻受温度影响，有温度误差，不能反映被测量的变化方向等，因此在实际中应用较少，而常采用差动自感传感器。差动自感传感器对干扰、电磁吸力有一定补偿的作用，还能改善特性曲线的非线性。第第3章章 电感式传感器电感式传感器差动变隙式电感传感器的原理结构图 第第3章章 电感式传感器电感式传感器 差动变隙式自感传感器的工作原理如下: 初态时：若结构对称，且动铁居中，则 动铁上移时：则第第3章章 电感式传感器电感式传感器 动铁下移时：同理可得 由以上分析可得，动铁位移时，输出电压的大小和极性将跟随位移的变化而变化

9、。输出电压不但能反映位移量的大小，而且能反映位移的方向。由前面的推导可知，输出电压正比于，因而灵敏度较高，非线性减小第第3章章 电感式传感器电感式传感器3.1.2 3.1.2 电感计算及输出特性分析电感计算及输出特性分析 根据上式，自感式传感器特性曲线如图所示，可以看出不是线性的，是一双曲线，当L为时，如果考虑到导磁体的磁阻，即L不等于，而有一定的数值当时，其曲线在较小时，如图中虚线所示。如上、下移动衔铁使面积S改变，从而改变L值时，则特性为一条直线。 第第3章章 电感式传感器电感式传感器 第第3章章 电感式传感器电感式传感器 设电感式传感器初始气隙为 ，初始电感量为，衔铁位移引起的气隙变化量

10、为 ，从式中可知，L与之间是非线性关系。初始电感量为为了保证一定的测量范围和线性度，一般取20002NSL0)2 . 01 . 0(第第3章章 电感式传感器电感式传感器0D d 电感的变化量为电感的相对变化量为 220000020000002()2(1)2NSNSLLLNSL 000011LL 第第3章章 电感式传感器电感式传感器 当 时，用泰勒级数展开级数形式，即 忽略高次项，可得 式中，负号表示若气隙增大，则电感减小；若气隙减小，则电感增大。 由式可知，气隙型电感传感器的灵敏度为 1023000001LL （） （）00LL 00/1L LK第第3章章 电感式传感器电感式传感器 非线性误差

11、与 的大小有关，其表达式为 实际上，高次项是造成非线性的主要原因。当越小时，则高次项迅速减小，非线性得到改善。 由此可见，变气隙式电感传感器的测量范围与灵敏度及线性度相矛盾，所以变气隙式电感传感器用于测量微小位移时是比较精确的。为了减小非线性误差，实际测量中广泛采用差动式电感传感器。2000100%0第第3章章 电感式传感器电感式传感器 从图可知，若衔铁向上移动时，差动式电感传感器的电感变化量为 电感的相对变化量为 22001200200000002002()2()()2121()NSNSLLLNSL 2000121()LL第第3章章 电感式传感器电感式传感器 当 时，上式用泰勒级数展开成级数

12、形式为 忽略高次项，可得其灵敏度为 非线性误差为 102480000021()LL（） （）002LL00/2L LK32000100%第第3章章 电感式传感器电感式传感器 可见，灵敏度提高了1倍，非线性误差减小了一个数量级。 比较单线圈和差动两种变隙式电感传感器的特性，可以得到如下结论： 差动式比单线圈式的灵敏度高1倍。 差动式的非线性项等于单线圈非线性项乘以( )因子，因为，所以差动式的线性度得到明显改善。0/ 第第3章章 电感式传感器电感式传感器3.1.3 3.1.3 测量电路测量电路 自感式传感器实现了把被测量的变化转变为自感的变化，为了测出自感的变化，同时也为了送入下级电路进行放大和

13、处理，就要用转换电路把自感转换为电压或电流的变化。一般，可将自感变化转换为电压(电流)的幅值、频率、相位的变化，它们分别称为调幅、调频、调相电路。 在自感式传感器中一般采用调幅电路，调幅电路的主要形式有变压器电桥和交流电桥，而调频和调相电路用得较少。第第3章章 电感式传感器电感式传感器 1. 变压器电桥第第3章章 电感式传感器电感式传感器电桥两臂Z1和Z2为传感器两线圈的等效阻抗，另外两臂为交流变压器的两个副边，副边电压均为U/2，供桥电源由带中心抽头的变压器次级线圈供给，在图示状态下，由电路分析可得oABUUU1121212122ZUZZZZUZZ第第3章章 电感式传感器电感式传感器 初态时

14、：由于动铁居中即 ， 说明电桥处于平衡状态。 动铁芯上移时：则代入式得 动铁芯下移时：同理可得12ZZZo0U o122ZZZUUUZZZZZ o122ZZZUUUZZZZZ 第第3章章 电感式传感器电感式传感器 由以上分析可知，输出电压的大小反映动铁位移的大小，输出电压的极性反映动铁位移的方向。当衔铁上、下移动时，输出电压大小相等，但方向相反。 变压器电桥的输出电压幅值与输出阻抗均与交流电桥的相同。这种电桥与电阻平衡臂电桥相比，元件少，输出阻抗小，桥路开路时电路呈线性；缺点是变压器副边不接地，容易引起来自原边的静电感应电压，使高增益放大器不能工作。第第3章章 电感式传感器电感式传感器2. 2

15、. 带相敏整流的交流电桥带相敏整流的交流电桥 差动自感传感器采用如上图所示的变压器电桥，可根据上式判别衔铁位移的大小，然而输出端的交流电压表不能直接指示电桥输出电压的极性，因此无法确定动铁位移的方向，在使用交流电压表时，其实际输出特性曲线如图所示。第第3章章 电感式传感器电感式传感器基本测量电桥输出特性曲线 由于电路结构不完全对称，初态时电桥不完全平衡，因而产生静态零偏压，称之为零点残余电压，如图中实线所示，图中虚线为理想对称状态下的输出特性。第第3章章 电感式传感器电感式传感器带相敏整流的交流电桥 为了既能判别衔铁位移的大小，又能判断出衔铁位移的方向，通常在交流测量电桥中引入相敏整流电路，把

16、测量桥的交流输出转换为直流输出，而后用零值居中的直流电压表测量电桥的输出电压，原理电路如图所示。第第3章章 电感式传感器电感式传感器 Z1、Z2和两个R构成了交流电桥，差动自感传感器的两个线圈Z1、Z2作为两个相邻的桥臂，平衡电阻为另外两个桥臂；VD1VD4只二极管组成相敏整流电路。 为供桥交流电压，U0为测量电路的输出电压，由零值居中的直流电压表指示输出电压的大小和极性。iu第第3章章 电感式传感器电感式传感器 当衔铁处于中间位置时，即Z1=Z2=Z，由于桥路结构对称，此时UB=UC，即U0=UB-UC=0。当衔铁上移时，Z1增大，Z2减小，即Z1=Z+Z，Z2=Z-Z 。 如果输入交流电压

17、为正半周，即Ui上正下负时(A点电位为正，D点电位为负)，则电路中二极管VD1、VD4导通，VD2、VD3截止，电流通路为Az1VD1BRD，AZ2VD4DRC，电流方向I1和I2，如图所示。 因为Z1Z2，所以I1I2，此时 第第3章章 电感式传感器电感式传感器n如果输入交流电压为负半周，即Ui上负下正时(D点电位为正，A点电位为负)，则电路中二极管VD2、VD3导通， VD1、VD4截止，电流通路为DR VD3Z1A，DRB VD2Z2A，电流方向I1和I2如图中所示。同理可分析出U00。n 这说明无论电源正半周或负半周，测量桥的输出状态不变，输这说明无论电源正半周或负半周，测量桥的输出状

18、态不变，输出均为出均为U0U00 0，此时直流电压表反向偏转，读数为负，表明衔铁上，此时直流电压表反向偏转，读数为负，表明衔铁上移。移。第第3章章 电感式传感器电感式传感器 当衔铁下移时，当衔铁下移时，Z Z1 1减小，减小，Z Z2 2增大，增大， 即即Z Z1 1=Z-=Z-Z Z，Z Z2 2=Z+=Z+Z Z 当输入交流电压为正半周时，因为Z2Z1，所以I1I2，此时 当输入交流电压为负半周时，同理可分析出U00。 这说明无论电源正半周或负半周，测量桥的输出状态这说明无论电源正半周或负半周，测量桥的输出状态 不变，输出均为不变，输出均为U U0 0 0 0，此时直流电压表正向偏转，读数

19、为正，表明衔铁下移，此时直流电压表正向偏转，读数为正，表明衔铁下移。第第3章章 电感式传感器电感式传感器 可见采用带相敏整流的交流电桥，得到的输出信号既 能反映位移大小，也能反映位移的方向，其输出特性如图所示。由图可知，测量电桥引入相敏整流后，输出特性曲线通过零点，输出电压的极性随位移方向而发生变化，同时消除了零点残余电压，还增加了线性度。第第3章章 电感式传感器电感式传感器3.2 3.2 差动变压器式传感器差动变压器式传感器 将被测量的非电量转换为互感变化量的传感器称为互感式传感器。这种互感传感器是根据变压器的基本原理制成的，并且次级绕组都用差动形式连接，故称差动变压器式传感器，简称差动变压

20、器。在这种传感器中，一般将被测量的变化转换为变压器的互感变化，变压器初级线圈输入交流电压，次级线圈则互感应出电动势。 差动变压器结构形式较多，有变隙式、变面积式和螺线管式。第第3章章 电感式传感器电感式传感器3.2.1 工作原理及特性 1.工作原理 差动变压器主要由一个绝缘线框、三个线圈(一个初级线圈N1、两个次级线圈N21、N22)和插入线圈中央的圆柱形铁芯组成。在线框上绕有一组一次线圈作为输入线圈，在同一框架上另绕两组二次线圈作为输出线圈，并在线框中央圆柱孔中放入铁芯，如图 (a)所示。第第3章章 电感式传感器电感式传感器 1 1初级线圆；初级线圆； 2121，2222次级两差动初线圆；次

21、级两差动初线圆； 3 3线圆绝缘框架；线圆绝缘框架； 4 4活动衔铁活动衔铁第第3章章 电感式传感器电感式传感器 在图 (a)中，1表示变压器初级线圈，21和22表示变压器次级两差动线圈，为反向串联。3为线圈绝缘框架，4表示活动衔铁，变量X表示活动衔铁的位移变化量。 在忽略线圈寄生电容及衔铁损耗的理想情况下，差动变压器的等效电路如图 (b)所示，R1、L1为初级线圈1的损耗电阻和自感，R21和R22表示两次级线圈的电阻，L21和L22表示两次级线圈的自感，M1、M2为初级线圈N1与次级线圈N21、N22间的互感系数，e21和e22表示在初级电压u1作用下在两次级线圈上产生的感应动势，图中两次级

22、线圈反向串联，形成差动输出电压u2。第第3章章 电感式传感器电感式传感器 当一次线圈加以适当频率的电压激励时，根据变压器的作用原理，在两个二次线圈中就会产生感应电动势，如果工艺上保证变压器结构完全对称，则当活动衔铁处于初始平衡位置时，必然会使两次级线圈的互感系数M1=M2。根据电磁感应原理，将有E21=E22，则U2=E21-E22=0，即差动变压器输出电压为0。 当铁芯向右移动时，在右边二次线圈内穿过的磁通比左边二次线圈多些，所以互感也大些，感应电动势E21增加；另一个线圈的感应电动势E22随铁芯向右偏离中心位置而逐渐减小；反之，铁芯向左移动时，E21减小，E22增加。两个二次线圈的输出电压

23、分别为U21和U22(空载时即为感应电动势E21，E22)，如果将二次线圈反向串联，则传感器的输出电压U2=U21-U22。第第3章章 电感式传感器电感式传感器 当铁芯移动时，U2就随着铁芯位移x成线形增加，其特性如图所示，形成V形特性。如果以适当方法测量U2，就可以得到与x成正比的线性读数。第第3章章 电感式传感器电感式传感器 从图中可看出，当铁芯位于中心位置，输出电压U2并不是零电位，这个电压就是零点残余电压Ux，它的存在使传感器的输出特性曲线不经过零点，造成实际特性和理论特性不完全一致。 产生零点残余电压的原因有很多，不外乎是变压器的制作工艺和导磁体安装等问题，主要是由传感器的两次级绕组

24、的电气参数与几何尺寸不对称，以及磁性材料的非线性等引起的，一般UX在几十毫伏。在实际使用时，必须设法减小，否则将会影响传感器的测量结果。第第3章章 电感式传感器电感式传感器2. 等效电路分析 差动变压器是利用磁感应原理制作的。在制作时，理论计算结果和实际制作后的参数相差很大，往往还要借助于实验和经验数据来修正。如果考虑差动变压器的涡流损耗、铁损和寄生(耦合)电容等，其等效电路是很复杂的。在理想情况下(忽略线圈寄生电容及衔铁损耗)，差动变压器的等效电路如图 (b)所示。 第第3章章 电感式传感器电感式传感器 当次级开路时，初级线圈的交流电流为当次级开路时，初级线圈的交流电流为次级线圈的感应电动势

25、为次级线圈的感应电动势为差动变压器的空载输出电压为差动变压器的空载输出电压为其有效值为其有效值为 1111jUIRL211 1222 1jjEM IEM I 1221222111jjUUEEMMRL21212211MMUURL第第3章章 电感式传感器电感式传感器 输出阻抗为 其复阻抗的模为 由以上分析可得： 当活动衔铁处于中间位置时M1=M2，故此时输出电压U2=0。 当活动衔铁上移时，M1M2，此时输出电压 U20。 21222122jjZRRLL2221222122ZRRLL第第3章章 电感式传感器电感式传感器 当活动衔铁处于中间位置时，互感M1=M2，U2=0。 当活动衔铁上移时，M1M

26、2，此时输出电压U20。 当活动衔铁下移时，M10。 输出电压还可以写成2122112()MUURL 2222112()MUURL12s0221122()MUMMUEMMRL第第3章章 电感式传感器电感式传感器3.2.2 3.2.2 测量电路测量电路 由于差动变压器的输出电压为交流，用交流电压表测量其输出值只能反映衔铁位移的大小，不能反映移动的方向。另外，其测量值必定含有零点残余电压。为了达到能辨别移动方向和消除零点残余电压的目的，实际测量时，常采用差动整流电路和相敏检波电路。 第第3章章 电感式传感器电感式传感器1. 差动整流电路 差动变压器最常用的测量电路是差动整流电路，如图所示，把差动变

27、压器的两个次级输出电压分别整流，然后将整流的电压或电流的差值作为输出。图(a)和图(b)为电压输出型，用于连接高阻抗负载电路，图中的电位器用于调整零点残余电压。图 (c)和图(d)为电流输出型，用于连接低阻抗负载电路。采用差动整流电路后，不但可以用0值居中的直流电表指示输出电压或电流的大小和极性，还可以有效地消除残余电压，同时可使线性工作范围得到一定的扩展。第第3章章 电感式传感器电感式传感器第第3章章 电感式传感器电感式传感器 下面结合图 (b)全波电压输出电路，分析差动整流电路的工作原理。 全波整流电路，是根据半导体二极管单向导通原理进行解调的。 设某瞬间载波为正半周，此时差动变压器两个次

28、级线圈的相位关系为A正B负，C正D负； 在上线圈中，电流自A点出发，路径为A1291143B，流过电容的电流是由2到4，电容C1上的电压为U24。 在下线圈中，电流自C点出发，路径为C56101187D，流过电容C2的电流是由6到8，电容两端的电压为U68。 差动变压器的输出电压为上述两电压的代数和，即U2=U24 - U68 。 第第3章章 电感式传感器电感式传感器 同理，当某瞬间载波为负半周时，即两次级线圈的相位关系为A负B 正、C负D正，按上述分析可知，不论两个次级线圈的输出瞬时电压极性如何，流经C1的电流方向总是从2到4，流经电容C2的电流方向总是从6到8，可得差动变压器输出电压U2的

29、表达式仍为U2=U24-U68 当铁芯在中间位置时，U24=U68 ，所以U2=0 ； 当铁芯在零位以上时，因为U24U68 ，则U20； 当铁芯在零位以下时，因为U24U68 ，则U20。 第第3章章 电感式传感器电感式传感器n 铁芯在零位以上或以下时，输出电压的极性相反，于是零点残余电压会自动抵消。由此可见，差动整流电路可以不考虑相位调整和零点残余电压的影响。此外，还具有结构简单、分布电容影响小和便于远距离传输等优点，获得广泛的应用。在远距离传输时，将此电路的整流部分放在差动变压器的一端，整流后的输出线延长，就可避免感应和引出线分布电容的影响。第第3章章 电感式传感器电感式传感器2. 相敏

30、检波电路 相敏检波电路的形式很多，过去通常采用分立元件构成的电路，它可以利用半导体二极管或三极管来实现。随着电子技术的发展，各种性能的集成电路相继出现，例如单片集成电路LZX1，就是一种集成化的全波相敏整流放大器，它以开关元件的全波相敏解调器，能完成把输入交流信号经全波整流后变为直流信号，以及鉴别输入信号相位等功能。该器件具有重量轻、体积小、可靠性高、调整方便等优点。第第3章章 电感式传感器电感式传感器 差动变压器和LZX1的连接电路如图所示。u2为信号输入电压，us为参考输入电压，R为调零电位器，C为消振电容，若无C则会产生正反馈，发生振荡。移相器使参考电压和差动变压器次级输出电压同频率，相

31、位相同或相反。第第3章章 电感式传感器电感式传感器 对于测量小位移的差动变压器，由于输出信号小，还需在差动变压器的输出端接入放大器，把放大的信号输入到LZX1的信号输入端。 一般经过相敏检波和差动整流输出的信号，还需通过低通滤波器，把调制时引入的高频信号衰减掉，只让铁芯运动所产生的有用信号通过。第第3章章 电感式传感器电感式传感器3.2.3 3.2.3 零点残余电压及消除方法零点残余电压及消除方法 与自感传感器相似，差动变压器也存在零点残余电压问题。它的存在使得传感器的特性曲线不通过原点，并使实际特性不同于理想特性。 零点残余电压的存在使传感器的输出特性在零点附近的范围内不灵敏，限制分辨率的提

32、高。零点残余电压太大，将使线性度变坏，灵敏度下降，甚至会使放大器饱和，阻塞有用信号的通过，致使仪器不再反映被测量的变化。因此，零点残余电压是评定传感器性能的主要指标之一，必须设法减小和消除。消除零点残余电压的方法主要有以下几种：第第3章章 电感式传感器电感式传感器误差因素分析11RL激励电源电压幅值的波动，会使线圈激励磁场的磁通发生变化，直接影响输出电势。而频率的波动，只要适当地选择频率，满足 时，其影响不大。L1R22L21M1M2L22R21R11e2e21e22e1、激励电压幅值与频率的影响L1R22L21M1M2L22R21R11e2e21e22e2、温度变化的影响周围环境温度的变化，

33、引起线圈及导磁体磁导率的变化，从而使线圈磁场发生变化产生温度漂移。当线圈品质因数较低时，影响更为严重，因此，采用恒流源激励比恒压源激励有利。适当提高线圈品质因子并采用差动电桥可以减少温度的影响。 3、零点残余电压 当差动变压器的衔铁处于中间位置时，理想条件下其输出电压为零。但实际上，当使用桥式电路时，在零点仍有一个微小的电压值(从零点几mV到数十mV)存在，称为零点残余电压。x-x0e2e201 基波正交分量(a)残余电压的波形 (b)波形分析13245e20te1e20et图中e1为差动变压器初级的激励电压，e20包含基波同相成分、基波正交成分，二次及三次谐波和幅值较小的电磁干扰等。 2 基

34、波同相分量3 二次谐波4 三次谐波 5 电磁干扰零点残余电压产生原因 基波分量 由于差动变压器两个次级绕组不可能完全一致，因此它的等效电路参数（互感M、自感L及损耗电阻R）不可能相同，从而使两个次级绕组的感应电动势数值不等。又因初级线圈中铜损电阻及导磁材料的铁损和材质的不均匀，线圈匝间电容的存在等因素，使激励电流与所产生的磁通相位不同。 零点残余电压产生原因 高次谐波 高次谐波分量主要由导磁材料磁化曲线的非线性引起。由于磁滞损耗和铁磁饱和的影响，使得激励电流与磁通波形不一致产生了非正弦(主要是三次谐波)磁通，从而在次级绕组感应出非正弦电势。另外，激励电流波形失真，因其内含高次谐波分量，这样也将

35、导致零点残余电压中有高次谐波成分。1从设计和工艺上保证结构对称性 为保证线圈和磁路的对称性，首先，要求提高加工精度，线圈选配成对，采用磁路可调节结构。其次，应选高磁导率、低矫顽力、低剩磁感应的导磁材料。并应经过热处理，消除残余应力，以提高磁性能的均匀性和稳定性。由高次谐波产生的因素可知，磁路工作点应选在磁化曲线的线性段。 消除零点残余电压方法：采用相敏检波电路不仅可鉴别衔铁移动方向，而且把衔铁在中间位置时，因高次谐波引起的零点残余电压消除掉。如图，采用相敏检波后衔铁反行程时的特性曲线由1变到2，从而消除了零点残余电压。U0+x-x210相敏检波后的输出特性 2选用合适的测量线路 3采用补偿线路

36、CR(a)1U0U在差动变压器次级绕组侧串、并联适当数值的电阻、电容元件，当调整这些元件时，可使零点残存电压减小。在次级绕组侧并联电容。由于两个次级线圈感应电压相位不同，并联电容可改变绕组的相位，并联电阻R是为了利用R的分流作用，使流入传感器线圈的电流发生变化，从而改变磁化曲线的工作点，减小高次谐波所产生的残余电压。 （1） 设计和工艺上保证结构的对称性（2） 选用合适的测量线路（3）采用补偿线路第第3章章 电感式传感器电感式传感器3.3 电涡流式传感器 根据法拉第电磁感应定律，块状金属导体置于变化的磁场中或在磁场中作切割磁力线运动时，导体内将产生呈漩涡状流动的感应电流，称之为电涡流，这种现象

37、称为电涡流效应。涡流的大小与金属体的电阻率、磁导率、金属板的厚度以及产生交变磁场的线圈与金属导体的距离x、线圈的励磁电流频率f等参数有关。若固定其中若干参数，就能按涡流大小测量出另外的参数。 第第3章章 电感式传感器电感式传感器3.3.1 3.3.1 工作原理工作原理 1. 高频反射式电涡流传感器 高频反射式电涡流传感器的结构比较简单，主要是一个安置在框架上的线圈，线圈可以绕成一个扁平圆形粘贴于框架上，也可以在框架上开一条槽，导线绕制在槽内而形成一个线圈。线圈的导线一般采用高强度漆包线，如要求高一些，可用银或银合金线，在较高的温度条件下，须用高温漆包线。第第3章章 电感式传感器电感式传感器 传

38、感器的结构示意图1线圈； 2框架； 3框架衬套； 4支架； 5电缆； 6插头第第3章章 电感式传感器电感式传感器高频反射式电涡流传感器第第3章章 电感式传感器电感式传感器 如图 (a)所示，传感线圈由高频电流I1激磁，产生高频交变磁场H1，当被测金属置于该磁场范围内，金属导体内便产生涡流I2，I2将产生一个新磁场H2，H2和H1方向相反，因而抵消部分原磁场H1，从而导致线圈的电感量、阻抗和品质因数发生变化。 可见，线圈与金属导体之间存在磁性联系。若将导体形象地看作一个短路线圈，临近高频线圈L一侧的金属板表面感应的涡流对L的反射作用，可以用图 (b)所示的等效电路说明。电涡流第第3章章 电感式传

39、感器电感式传感器 传感器类似于次级短路的空心变压器，可把传感器空心线圈看作变压器初级，线圈电阻为R1，电感为L1，金属导体中的涡流回路看作变压器次级，回路电流即I2，回路电阻为R2，电感为L2，电涡流产生的磁场对传感器线圈产生的磁场的“反射作用”，可理解为传感器线圈与此环状电涡流之间存在着互感M，其大小取决于金属导体和线圈的靠近程度，M随着线圈与金属导体之间的距离x减小而增大。第第3章章 电感式传感器电感式传感器 根据图(b)所示的等效电路，按KVL可列出电路方程组为解此方程组可得电涡流传感器的等效阻抗为电涡流传感器的等效阻抗可表示为 等效电阻 等效电感 1 11 12122221jjjj0R

40、 IL IMIUR IL IMI22221121222222212222j UMMZRRLLIRLRLjZRL221222222MRRRRL221222222MLLLRL第第3章章 电感式传感器电感式传感器 线圈的品质因数由无涡流时的下降为 可见，由于涡流的影响，线圈复阻抗的实数部分增大，虚数部分减小，因此线圈的品质因数Q下降。 2222221122222122212211LMLLRLLQRMRRRRL第第3章章 电感式传感器电感式传感器2. 低频透射式电涡流传感器第第3章章 电感式传感器电感式传感器 图所示为低频透射式涡流传感器结构原理图。在被测金属的上方设有发射传感器线圈L1，在被测金属板

41、的下方设有接受传感器线圈L2。当在L1上加低频电压u1时，则在L1上产生交变磁通1，若两线圈之间无金属板，则交变磁场直接耦合至L2中，L2产生感应电压u2。如果将被测金属板放入两线圈之间，则L1线圈产生的磁通将导致在金属板中产生电涡流i0，此时磁场能量受到损耗，到达L2的磁通将减弱为2，从而使L2产生的感应电压u2下降。显然，金属板厚度尺寸d越大，穿过金属板L2到达的磁通2就越小，感应电压u2也相应减小。因此，可根据u2的大小得知被测金属板的厚度。第第3章章 电感式传感器电感式传感器 由图可知，频率越低，f1f2f3，磁通穿透能力越强，在接受线圈上感应的电压u2也越高；频率较低时，线性较好，因

42、此要求线性好时应选择较低的激励频率(通常为1kHz左右)；d较小时，f3曲线的斜率较大，因此测薄板时应选较高的激磁频率，测厚板时应选较低的激磁频率。 低频透射式涡流传感器的检测范围可达1mm100mm，分辨率为0.1。第第3章章 电感式传感器电感式传感器3.3.2 测量电路 根据电涡流测量的基本原理和等效电路，传感器线圈与被测金属导体间距离的变化可以转化为传感器线圈的品质因数Q、等效阻抗Z和等效电感L的变化。测量电路的任务是把这些参数的变化转换为电压或电流输出，可以用三种类型的电路：电桥电路；谐振电路；正反馈电路。 利用Z的测量电路一般用桥路，属于调幅电路。利用L的测量电路一般用谐振电路，根据

43、输出是电压幅值还是电压频率，谐振电路又分为调幅和调频两种。第第3章章 电感式传感器电感式传感器1. 电桥电路 这种电路结构简单，主要用于差动式电涡流传感器。图中L1和L2为差动式传感器的两个线圈，分别与选频电容C1和C2并联组成相邻的两个桥臂，电阻R1和R2组成另外两个桥臂，电源由振荡器供给，振荡频率根据涡流式传感器的需求选择。电桥将反应线圈阻抗的变化，线圈阻抗的变化将转换成电压幅值的变化。第第3章章 电感式传感器电感式传感器 当静态时，电桥平衡，输出电压uAB=0。 当传感器接近被测金属导体时，传感器线圈的阻抗发生变化，电桥失去平衡，即uAB0 ，经过线性放大和检波器检波后输出直流电压U，显

44、然此输出电压U与被测距离成正比，可以实现对位移量的测量。第第3章章 电感式传感器电感式传感器2. 谐振电路 这种方法是把传感器线圈与电容并联组成LC并联谐振电路。并联谐振电路的谐振频率为 谐振时LC并联谐振回路的等效阻抗最大，等于 式中，R为谐振回路的等效电阻；L为传感器线圈的自感。012fLC0LZR C第第3章章 电感式传感器电感式传感器 当传感器接近被测金属导体时，线圈电感L发生变化，回路的等效阻抗和谐振频率将随着L的变化而变化，因此可以利用测量回路阻抗的方法或测量回路谐振频率的方法间接反映出传感器的被测量，相对应的就是调幅法和调频法。 1) 调幅法 电路由传感器线圈的等效电感和一个固定

45、电容组成并联 谐振回路，由频率稳定的振荡器(如石英晶体振荡器)提供高频激励信号，如图所示。图中R为耦合电阻，可用来降低传感器对振荡器工作的影响，其数值大小将影响测量电路的灵敏度，耦合电阻的选择应考虑振荡器的输出阻抗和传感器线圈的品质因数。第第3章章 电感式传感器电感式传感器 调幅法测量电路调幅法测量电路 谐振调幅电路特性谐振调幅电路特性第第3章章 电感式传感器电感式传感器 电路的输出电压为式中，i0为高频激磁电流；Z为LC回路的阻抗。 在初态时，传感器远离被测体，调整LC回路的并联谐振频率 等于石英晶体振荡器频率，此时LC回路的阻抗最大，即 ，输出电压的幅值也是最大。 工作时，当传感器线圈接近

46、被测金属导体时，线圈与被测体之间的距离x变化，导致线圈的等效电感L发生变化，谐振回路的谐振频率和等效阻抗也跟着发生变化，致使回路失谐而偏离激励频率，谐振峰将向左或右移动，如图所示。0ui Z01/2fLC0/ZL R C第第3章章 电感式传感器电感式传感器 从图可见，若被测金属导体为非磁性材料，由于磁导率减小，传感器线圈的等效电感L减小，LC回路的谐振频率提高，谐振曲线右移，对应的谐振频率为f1、f2，回路等效阻抗减小，输出电压u0减小到u1、u2。若被测材料为磁性材料时，由于磁导率增加，谐振回路的等效电感L增大，LC回路的谐振频率降低，谐振曲线左移，对应的谐振频率为f3、f4，回路等效阻抗减小，输出电压u0减小到u3、u4 。因此，可以由输出电压的变化来表示传感器与被测导体间距离x的变化，从而实现对位移量的测量，故称调幅法 第第3章章 电感式传感器电感式传感器2) 调频法 传感器线圈作为组成LC振荡器的电感元件，当传感器的等效电感L发生变化时，引起振荡器的振荡频率变化，该频率可直接由数字频率计测得，或通过频率/电压转换后用数字电压表测量出对应的电压。调频电路原理图第第3章章 电感式传感器电感式传感器 这种方法稳定性较差，因为LC振荡器的频率稳定性最高只有10-5数量级，虽然可以通过扩大调频范围来提高稳定性，但调频的范围不能无限制扩大。 采用这种测量电路时，不