蔡司场发射扫描电镜操作培训

1、样品台的安装：请注意图片上箭头方向样品台的安装：请注意图片上箭头方向样品台背面：卡槽样品台背面：卡槽点击此处，可以选择灯丝的开关和高压的开关严禁擅自更改Fil I和Extractor V处的数值。如需更改，请先取得服务工程师的同意。双击或者拉动滑块可以改变不同的EHTSEM Control: Gun 界面选择不同的探头选择SE2 探头收集极电压值选择两种不同探头的信号进行混合混合信号时，两个探头的信号比例调节图像的亮度调节图像对比度选择不同的尺寸的光阑激活此处，可进行光阑对中光阑对中灯丝对中像散校准电子束移动高电流模式观察六孔光阑的位置和形状选择图像存储的分辨率扫描速度图像的冻结是以手动形式还

2、是扫完整幅图片后积分次数或者是平均次数图像噪音去除的六种方式选择：帧平均，帧积分，线平均，线积分，像素平均，连续平均。样品台目前所在的位置双击数据区，输入你想要去的位置。输入后，样品台移动到你输入的位置。点击功能块，输入你要移动的距离。例如：现在样品台X，Y的位置在64.125，64.485 你想让X和Y方向各移动2mm，你可在XY 激活后输入2，2后点击OK即可。激活此处：样品台泄真空时，Z方向自动下降到最低点激活此处：样品的上升时，SEM的工作距离自动进行更改。激活此处：样品台控制器失效点击Pump，样品室开始抽真空。点击Vent，泄掉样品室内的真空。激活此处：当机器在Standby状态时

3、，真空泵停止工作。快捷键：详细说明见下。数据区：显示电镜当前的一些参数控制真空，灯丝开关，EHT的开关。当Gun或者EHT出现绿勾时，代表正在工作。Vac出现绿勾时，代表真空已经达到工作要求显示鼠标左键和中键当前的功能基本介绍导出保存设定保存设定预览或更改保存设定导入注解保存设定管理保存注解点击Display LUT可以对图片的明亮对比度，三元色进行修改跳出对话框双击或者Ctrl+A跳出注解对话框选择注解对象选择鼠标控制撤销上次更改导入注解保存注解删除所有注解导出区域选择加入文字注解导出参数插入用户bmp格式图片圆型注解区长方形注解区注解区直线粘帖面板放大区域微标尺固定长度标尺点对点距离测量角

4、度测量正四边形测量圆测量左右宽测量上下宽测量可移动左右宽测量可移动上下宽测量激活对话框后调出状态栏激活对话框后调出用户工具栏数据区控制激活后，屏幕上显示米字准线常见问题：当使用AsB探头时，如果看不见影像。请先检查一下左图的设置是否在“high”,然后检查工作距离，EHT是否过低。光阑尺寸是否过小。样品台进行初始化。常见问题：当水冷机出现不正常工作后，重新启动水冷机并使之正常工作。有时会发生样品台不能动，重新启动电镜，EM Server 提示样品台没有初始化。这时需要初始化样品台连续中心点：激活此功能后，屏幕上出现一个十字座标。拖动十字座标到感兴趣点，点击鼠标左键。感兴趣点将自动移到屏幕中心。

5、样品台导航器：显示样品座的位置和一些参数。请注意：这只代表样品座的位置。不是样品的位置。样品台控制器：当1号操纵杆上下移动，控制样品台上下移动。当1号操纵杆左右移动，控制样品台左右倾斜。当2号操纵杆上下左右移动，控制样品台前后左右移动。当旋拧2号操纵杆，控制样品台顺时或逆时旋转。图片保存：当图片冻结后，鼠标移动到图片上，点击鼠标右键后， 选择Send to，然后选择需要保存图片的格式选中需要保存的图片格式后，跳出左边的对话框选择你要保存的目录输入要保存图片的名字保存图片调出图片(请注意只有TIFF格式的图片才能SmartSem软件中调出）：鼠标移动到屏幕中央。点击鼠标右键，点击Import T

6、iff点击Import TIFF后，跳出以下对话框选择要调入图片的文件夹选择要调入的图片Ag微球水溶液微球水溶液将将Ag微球水溶液超声处理微球水溶液超声处理2分钟分钟用移液枪取用移液枪取10 ul分散均匀的分散均匀的Ag微微球涂在清洁的硅片表面球涂在清洁的硅片表面 放在红外灯下烘干放在红外灯下烘干用导电胶把样品固定在样品台上用导电胶把样品固定在样品台上放入放入SEM腔室观测腔室观测5KV, 10k,Inlens探测器探测器 5KV, 25k,Inlens探测器探测器5KV, 40k,Inlens探测器探测器 5KV, 100k,Inlens探测器探测器 5KV, 150k,Inlens探测器探测器 5KV, 200k,Inlens探测器探测器 二次电子二次电子Inlens探测器探测器二次