半导体工厂超纯水简报xPPT学习教案

1、会计学1半导体工厂超纯水简报半导体工厂超纯水简报x总流程原水1.自来水由原水泵将水抽至CUB(中央动力厂房)。CUB是半导体工厂的心脏，制程用的水电空调化学品等一般都是从这里输出。运行参数：原水一般水量为195m/h，最大水量为250m/h，水压3bar。多介质过滤器(MMF/砂滤）1.原水加10%NaOCl后通过热交换器再次加10%PAC后进入多介质过滤器。2.桶内装填石英砂和无烟煤。3.配有风机，定期反洗。用途：主要去除不能溶解的悬浮颗粒和胶体杂物。运行参数：产水量最大为250m/h，压力1.5bar，温度20-20。玻璃钢水箱(FRP水箱)1.过滤水回收至玻璃钢水箱。2.过滤水箱前有两组

2、泵（每组两台），一组用于反清洗，一组用于给ACF活性炭过滤器供水。3.桶身直径5m，桶高5m。运行参数：出口压力为7bar，温度为20-30。迈博瑞生物膜技术南通有限公司迈博瑞生物膜技术南通有限公司活性炭过滤器(ACF/碳滤）1.三支，内部填充颗粒活性炭。2.此段过滤器分为正洗与反洗，正反洗水都回收至废水池，产水为过滤水。用途：再次处理水中不能溶解的悬浮颗粒和胶体杂物。运行参数：产水量为200-260m/h，出口压力为6bar，温度20-30。阴阳离子交换床1.ACF出水先经过CIX（阴离子桶）加HCl，后AIX（阴离子桶）加NaOH处理，CIX和AIX 可以单独运行。用途：处理水中的阴阳离子

3、。2.冲洗水进入过滤水箱，再生水进入废水池，出水为去离子水。运行参数：产水量为207m/h，压力为3bar，温度为20-30。保安过滤器(SFL)1.去离子水加30%NaOH后进入保安过滤器。2.产水为去离子水。用途：微滤过滤器保护后端RO膜，不达标的水质和频繁清洗都会影响RO膜的寿命、提升成本。运行参数：280m/h，出口压力2.6bar，温度21-30。反渗透过滤膜（RO膜）1.RO是前段水处理的核心。2.达标产水进入RO水箱，不达标产水进入过滤水箱，浓水进入废水池。3.产水为反渗透水。运行参数：产水水量为248m/h，出水压力为2bar，温度为21-30；浓水水量为18m/h，出水压力为

4、2bar，温度为24-30。RO水箱1.水箱采用玻璃钢材质，并使用氮气密封。2.RO水箱有三组水泵输出 ，一组UV供水，一组阴阳离子交换床冲洗水，一组冷凝设备供水。运行参数：产水水量为185m/h，出口为6bar，温度21-30。迈博瑞生物膜技术南通有限公司迈博瑞生物膜技术南通有限公司紫外线杀菌设备（UV装置）1.两组，一用一备，单组使用44跟紫外灯管。2.出水为反渗透产水。用途：杀灭水中的微生物，降低有机物含量。运行参数：产水水量为185m/h，出水压力为5.5bar，操作温度26。初级混床（MBX混床）1.内装阴离子树脂和阳离子树脂。用途：全面去除水中的阴阳离子，电阻率由4m/cm提升至1

5、7-18m/cm。2.定期对混床进行再生，使用HCl和NaOH。3.再生水进入废水池，冲洗水进入过滤水箱，产水为纯水。运行参数：产水量为185m/h，出口压力为4bar，温度23-30。脱气膜(MD)1.由两台真空泵和12支膜壳组成。2.水由上向下流出，气体由下向上抽出，主要气体为CO2和N2。3.出水为纯水进入纯水箱。运行参数：产水水量为180m/h，出口水压为1.5bar，温度为21-30。迈博瑞生物膜技术南通有限公司迈博瑞生物膜技术南通有限公司纯水水箱1.玻璃钢材质，内衬PP，氮封。2.有一组泵输出，输出水为纯水。运行参数：产水水量为230m/h，出口水压为8.5bar，温度为22-30

6、。冷交换器1.纯水进入交换器，温度降低为5。2.出水为纯水，进入UV装置。运行参数：产水水量为230m/h，出口水压为7.5bar。迈博瑞生物膜技术南通有限公司迈博瑞生物膜技术南通有限公司UV装置1.三组紫外线杀菌装置，每组44根灯管。2.出水为纯水进入增压泵。3.运行在恒温5环境中。用途：再次杀灭水中细菌，降低有机物含量。运行参数：产水量为230m/h，出水水压7.5bar。抛光混床（MBP）1.树脂为一次性，使用完后不需要再生。2.出水为超纯水，进入超滤装置。用途：进一步降低水中的阴阳离子含量，提高电导率至18m/cm以上。运行参数：产水量为190m/h，出水水压为9bar，回纯水箱10m/h，水压3bar。超滤（UF）1.分两组，抛光混床出水分两路，一路直接进入超滤，另一路通过热交换将水温提升至65-75再进入超滤。2.产水送