Array工艺原理及工程检查-检查

1、1Array检查概要检查概要2nArrayArray检查流程检查流程n检查项目及使用装置检查项目及使用装置nTNTN的的G G检检nTNTN的的D D检检nTNTN的的A A检检nTNTN的显影后检查的显影后检查3ARRAY 检查流程4日文名日文名中文名中文名英文名英文名装置陈列检测设备装置ARRAY TESTER MACHINE自動外観検査装置光学自动外观检查装置AUTOMATIC OPTICAL INSPECTION MACHINE特性測定装置特性测试设备TEG Prober Equipment装置激光修补仪Laser Repair MachineCVD装置激光化学气相沉积修补设备 Las

2、er CVD Repair Machine断路或短路检验装置FLAT PANEL O/S TEST OF MACHINE検査装置微观/宏观检查装置MACRO/MICRO CHECK OF MACHINEMacro検査装置宏观检查装置MACRO CHECK OF MACHINE Macro検査装置自动宏观检查装置AUTO MACRO CHECK OF MACHINE 检查设备一览表5ARRAYARRAY检查流程检查流程TN：4Mask ProcessG工程工程O/S检查检查AOI检查检查Laser RepairD/I工程工程G检检AOI检查检查Laser RepairLaser CVDD检检C工

3、程工程PI工程工程特性检查特性检查Array TestLaser RepairMMO最终检查最终检查GPR显影后检查显影后检查DPR显影后检查显影后检查CPR显影后检查显影后检查PIPR显影后检查显影后检查6ArrayArray检查项目检查项目nTNTN的的G G检检nTNTN的的D D检检nTNTN的的A A检检nTNTN的显影后检查的显影后检查7TN的的G检检使用设备使用设备：O/S检查、自动外观检查、激光切断检查、自动外观检查、激光切断检查目的：检查目的：通过对通过对ARRAY工程中像素电气特性的比较检查，对于检出工程中像素电气特性的比较检查，对于检出 的短路可以进行修复的短路可以进行修

4、复对应措施对应措施：layer缺陷缺陷修复修复GateGateGate、ComCom短路短路激光切断激光切断GateGate、ComCom断路断路激光修复激光修复8TNTN的的D D检查检查检查目的通过对通过对ARRAYARRAY工程中画素图案的比较检查工程中画素图案的比较检查、可以检出图形缺陷可以检出图形缺陷、工程不良工程不良和异物付着等缺陷。对于检出的短路和断路和异物付着等缺陷。对于检出的短路和断路不良不良之后可以进行修复之后可以进行修复使用设备自自动动外外观检查观检查装置装置( (ORBOTECH )ORBOTECH )LaserLaserRepairRepair装置（装置（NECNEC

5、）LaserLaserCVDCVD装置（装置（NECNEC）检出缺陷LayerLayer缺陷缺陷修复修复GateGateGateGate、ComeCome短路短路激光切断激光切断GateGate、ComCom断路断路激光修复激光修复图图形形不良不良根据缺陷判断是否修复根据缺陷判断是否修复IslandIslandSiSi残留残留根据缺陷判断是否修复根据缺陷判断是否修复DrainDrainDrainDrain短路短路激光切断激光切断DrainDrain断路断路激光激光CVDCVD图图形形不良不良根据缺陷判断是否修复根据缺陷判断是否修复9TNTN的的D D检查流程检查流程DrainDrain刻蚀刻蚀

6、剥離完剥離完成成自自动动外外观检查观检查激光切断激光切断激光激光 CVD短路短路断路断路对于对于工程工程的的完成完成品品，使用，使用自动外观检查自动外观检查装置进行抽检装置进行抽检，检出的短路，检出的短路不良，使用激不良，使用激光切断进行修光切断进行修复，检出的可复，检出的可修复的断路不修复的断路不良，使用激光良，使用激光CVDCVD进行修复进行修复。Ok10Drain 刻蚀剥離完成检查结果例检查结果例：欠陥：欠陥：420.115420.115Y Y: : 223.765223.765Size:Size:ZONEZONE：自动外观检查装置自动外观检查装置（、全数）Drain 刻蚀完成后，对外观

7、上的缺陷进行检出自动外观检查自动外观检查激光切断激光切断（短路）（短路）激光激光CVDCVD（断路）断路）短路断路点缺陷断路断路点缺陷(D-PI)短路11Drain 刻蚀剥離完成自动外观检查自动外观检查激光切断激光切断（短路）短路）激光激光CVDCVD（断路）断路）激光切断激光切断根据座根据座标标数据数据对对短短路的部分路的部分进进行激光行激光切断切断D-D短路点缺陷（将来）激光激光 CVDCVD根据座标数据对断根据座标数据对断路的部分进行激光路的部分进行激光CVDCVD修复修复断路12System controllerKeyboardMouseJoystickSystem monitorIm

8、age computer8bit AD ConverterMachine controller自动外观检查装置示意图13检查方法概略取得画像画像处理 （比较）例）例）Lot NoPanel No缺陷NoX座標座標 Size Mode等例）重复比较相邻画素图案对Array基板全面扫描使用Sensor进行取像（、）area 3Origin获得缺陷情报14缺陷检出方式Real time bufferReal time buffer Delayed bufferDelayed buffer Defect detectionComparisonDifferenceNo DifferenceDiffere

9、nceComparisonComparison15实时缺陷信息（、）area 3Origindy:5dx:6width:2length:5size:18Analog ImageDigital ImageA to MinMaxPeak1Peak216D工程后象素图形17D工程后短路缺陷18TNTN的的ArrayArray检查流程检查流程检查目的检查检查TNTN型产品画素图形是否良好型产品画素图形是否良好测定方式是根据测定方式是根据TFTTFT的正负电压的变换而产生的的正负电压的变换而产生的二次二次电子量电子量进行检出进行检出之后可以对检出的短路不良进行修复之后可以对检出的短路不良进行修复使用设备

10、ArrayArray检查装置检查装置( (岛津岛津) )激光切断激光切断装置（装置（NECNEC）检出缺陷短路短路画素短路画素短路激光切断激光切断G-G G-G 短路短路激光切断激光切断D-D D-D 短路短路激光切断激光切断其他其他点缺陷等点缺陷等根据缺陷判断是否修复根据缺陷判断是否修复19TNTN的的ArrayArray检查流程检查流程ArrayArray基板基板完成品完成品Array检查检查激光切断激光切断短路短路PIPI工程工程完成后完成后，使用，使用ArrayArray检检查装置对基板进查装置对基板进行电气特性检查行电气特性检查。对于短路不良。对于短路不良，之后可以用激，之后可以用激

11、光切断装置进行光切断装置进行修复修复20TNTN的的ArrayArray检查流程检查流程Array检查装置激光切断激光切断（短路）（短路）Array检查装置激光切断激光切断（短路）（短路）检查结果例Sheet NoPanel 、Panel 、Array检查装置（全数）对对ArrayArray基板的完成品进基板的完成品进行缺陷检出行缺陷检出点缺陷激光切断根据座标数据对根据座标数据对短路的部分进行短路的部分进行激光切断激光切断点缺陷21检查的基本原理Data SignalGate SignalSignal in normal TFT itselfSE Signal in normal TFTTimeGate LineITOTFT二次电子ee入射电子高能量电子束打在TFT基板上给TFT基板加电压二次电子从ITO上出射测量ITO电极上的二次电子信