TFCalc说明书中文版

1、页脚 Contents目录目录 Introduction TheModel Capabilities FileMenu EditMenu OptionsMenu ModifyMenu Environment StackFormula Layers-Front/Back Groups Targets-Discrete Targets-Continuous Comments VariableMaterials Environments Materials Substrates Illuminants Detectors Distributions RunMenu AnalyzeOnly Optim

2、izeDesign GlobalSearch ComputeEFI ComputeSensitivity ComputeCone-AngleAverage ComputeMonitorCurve Menus 页脚 ComputeLayerSensitivity SetAnalysisParameters页脚 SetOptimizationParameters SetGlobalSearchParameters SetEFIParameters SetSensitivityParameters SetCone-AngleParameters SetMonitoringParameters Res

3、ultsMenu ShowTable ShowPlot ShowEFIPlot ShowColorChart ShowMonitorChartSavingResultsSaveasIlluminantMiscellaneousMenu Realitives DistributionWindows SetTableParameters SetPlotParameters LayerWindowOptions ComputeEquivalentIndexComputeEauivalentStackTarget(Discrete)WindowConfiguringTFCalc页脚 Introduct

4、ionIntroduction（说明）说明） 这是 TFCalc 薄膜设计软件。除了缺少图表说明外，它贴切得遵循 TFCalc 说明书的第一、二所提供的文件。你可以在 TFCalc 窗口或对话框按 Fl 来迅速获得此帮助。 TheModelTheModel（例）（例） 存储在光源数据库的光源是以波长对光强的方式给出的。入射角度可以从 0 度到 89.999 度。基底和基底部、外部的介质材料可在基底数据库中选择。基底可以被看作是一大厚度层，它的厚度可以单独指定。注意的是基底可以是比如说空气之类的物质。基底和出射介质都有可能是吸收介质。前层膜与后层膜之间的材料是从材料库中选择的或者从可变材料库中选

5、取的。现在的膜层极限是 5000 层。基底和材料的光学属性被存储在表格或反映反射率对波长关系的离散公式里。 现在可以确定光从哪一个面入射：前或后层。也就是说，光可以从膜层的任意一个面入射要获得这方面的细节还要看环境参量对话框。 这样第一层是紧靠基底的一层。 注意：如果基底和出射介质不同或有后层膜，反射率计算时就要考虑到后层膜。如果你想避免如此，出射介质就必须同基底材料一样而且没有后层膜。 CapabCapab 订订 itiesities（性能）性能）GOTOTOP TFCalc 软件可以使你分析设计多层薄膜，他们的一些功能如下： 它可以将反射率、透过率、吸收率、光密度、损失、颜色、亮度、PSI

6、、基于反射后投射的相移和电场强度计算并绘制表格。 它可以分析膜系设计同生产之间的误差。优化可以使误差最小化。膜层灵敏度可以计算并演示出来。 可以在一系列圆锥角（就像集中的光束一样）和用户定义的辐射发散角分析一个膜系。镀膜所用膜料、基底和外部介质可能是弥散或者吸收的，而部介质却是弥散的。弥散公式可以用来给定膜料和基底的相关系数。 基底或膜层的折射率（N 和 K）可以由测定的数据来确定。光源要详细说明。薄膜的折射或投射可以储存作为光源，所以滤光器的输出可作为另一个滤光器的输入。同样，黑体光源可以由此产生。 下面详细说明探测器的功能：基底有有限的厚度；折射和透射计算时要考虑到基底后表面和基底部的任何

7、衰减。 一个膜系最多可以有 5000 层 150 种材料组成。 膜堆以公式的形式出现，例如：H（LH）5 膜层可以被安排在组，可以整组优化。 全球搜索用来寻找最好的设计方案而不仅仅是 thelocalminimum 基底两侧的膜层可以同时优化。在优化过程中，膜层厚度可以限定在最小和最大厚度之间。有多达 5000 个优化目标可以指定。同样，一个目标可以是一个不等式，例如10%或90。复合环境可以用来开发像复合基底的膜系设计。 Needle 优化可以在设计中自动加入膜层，尤其是对那些有特殊要求的设计。这种掘进方法可以用来自动产生一系列最佳的设计。 目标可能会自动产生。同样，目标也可以从文件中读出，

8、形成颜色和亮度目标。 第一、第二和第三阶关于波长或波数的导数可以用作目标。 GOTOTOP 页脚 可以计算出等效系数来将膜层用复合系数的等效膜堆例如：（HLH）p 或（LHL）p来代替。有三种 local 优化方法可选：梯度法、变尺度法和单纯形法。 对不限定数量的材料、基底、光源、探测器和分配的数据要输入。六层薄膜运算的结果放入一个表格进行对比。不同类的图表将被覆盖掉,例如：折射透射。最小、最大和平均参量（例如折射率）可以在一定波长围计算。结果被保存在文本文档中以供其他软件编辑。 光控曲线可以计算并列表。 MenusMenus（目录）（目录） FileMenuFileMenu（文件目录）（文件

9、目录）GOTOTOP 用此目录来读取、写入和打印膜系文件。一下主要介绍每个目录项： NewCoating（创建新膜系） 开始创建一个新的膜系， 如果在 TFCalc 程序同一目录下存在一个膜系名为 DEFAULT， 那么就会打开此膜系文件。快捷键：Control-N OpenCoating（打开文件） 读取磁盘中已经存在的膜系文件，程序会显示每一个膜系文件的名字并要求你选择一个打开。当 TFCalc 开始运行时就会显示此窗口。 全部膜系文件都是以 TFD 作为后缀名。 快捷键： Control-o ReopenCoating（从新打开膜系） 用来打开一个原来打开过的膜系，TFCalc 保存最近

10、 20 个用户打开的膜系，当用户选定此命令时，膜系会显示在一个窗口中。 CloseCoating（结束膜系） 选此命令将告知计算机你已经结束了当前的膜系设计，如果你没有保存当前的膜系，它会询问你是否想结束膜系。 SaveCoating（保存膜系） 此命令用来保存你设计的膜系，当一个膜系保存后你仍可以继续在这个膜系上设计。时常保存膜系是很好的习惯，这样如果你遭遇了停电，这样的行为会挽回你的数据。快捷键：Control-S SaveCoatingas（另存膜系为） 此命令是在一个新目录下保存膜系。你需要输入新名称，此命令尤其在你在相似的膜系上编辑或做运算时有很大用途。 ReverttoOrigin

11、al（返回原始膜系） 用来返回当前膜系的原始状态，例如，你用打开命令打开膜系或最后保存的膜系。此命令在你将一个膜系改动后却不及原来的膜系时有用。 页脚 PrintCoating（打印膜系） 打印当前膜系。快捷键：Control-P 打印机安装使你能指定怎样打印文本和图表， 你在设置打印机时会看到一个对话框来设置你的打印机。 ExitTFCalc（退出 TFCalc） 如果当前膜系没有保存，TFCalc 会询问你是否保存。 AboutTFCalc（关于 TFCalc） 给出一些 TFCalc 的信息，包括你所购买的程序的序列号。 EditMenuEditMenu（编辑目录）（编辑目录） GOTO

12、TOP 编辑目录列出了标准 Windows 目录，你可以使用这些命令来编辑你所需要的文本。下面主要讲述每一个目录项。 Undo（撤销命令） Undo 在当前的程序中是无效的，如果你犯了错误，此命令对你没有任何帮助。 Cut（剪切） 移除你选定的文本，文本被保存在剪切板里。 Copy（Copy） 复制你选定的文本，文本被保存在剪切板里 Paste（粘贴） 将剪切板里的容插入光标所在的位置。 Clear（清除） 将选定的文本擦除。 OptionsMenuOptionsMenu（选项目录）选项目录） 当特定窗口（例如膜层、目标、图表）被激活时，此目录显示。下面主要介绍前五个目录 项。因为选项 1、2

13、 和 3 是特定为各自窗口服务的，需要查阅相关部分来获取更多细节。 Add（增加） 在激活窗口中增加输入的数量。例如，在膜系设计中增加前表面膜层数量，先选定前表面膜系窗口再选此命令。 GOTOTOP 页脚 Delete（删除） 在激活窗口中减少输入的数量。例如，在膜系设计中减少前表面膜层数量，先选定前表面膜系窗口再选此命令。 Print（打印） 打印激活窗口的容。例如，打印膜层数据，先选定前表面膜系窗口再选此命令。 CopyandAppend（复制和添加） 此命令让你可以将已有的膜系信息复制到当前膜系中，选定此命令，windows 标准对话框会出现供选择源文件。 ModifyMenuModif

14、yMenu（修改目录）（修改目录） GOTOTOP Environment（环境参量） 当打开一个新的或从磁盘读出一个文件时，此窗口会弹出。这些信息叫做膜系设计环境 ReferencewavelengthReferencewavelength（参考波长）（参考波长） 与指定膜层 1/4 波长（QWOT）相关，改变参考波长 TFCalc 将优先改变光学厚度，继而所有膜层的物理厚度也随之改变。通常用入。来表示。 IncidentmediumIncidentmedium（中间介质）（中间介质） 中间介质是在基底目录下的选项,此名称在使用前必须先定义。如果它是吸收材料,TFCalc 会提醒用户并假定消

15、光系数 k=0。 IlluminantIlluminant（光源）（光源） 光源目录下的选项，在使用之前必须定义。 IncidentangleIncidentangle（入射角）（入射角）就像在示意图所示，入射角是指从法线到基底平面的角。 SubstrateSubstrate（基底）（基底） 基底是在基底命令下的选项，此名称在使用前必须先定义。基底被看作是一个没有干涉效应的块状介质。而如果它是吸收材料那么就看作只有衰减效应的介质。 ThicknessThickness（厚度）（厚度） 指基底的物理厚度，以毫米做单位。 ExitmediumExitmedium（出射介质）（出射介质） 在基底目录

16、下的选项，此名称在使用前必须先定义。如果基底材料与出射介质相同（没有backlayers）,那么基底可看作是无限大厚度的（在后表面没有反射）；如果他们不同，那么就要考虑到若干反射。同样的，如果基底材料与出射介质相同（没有 backlayers），那么计算所得的透过率就是基底的透过率，如果不等，那么基底的透过率就可以计算出来。 DetectorDetector（探测器）（探测器） 在探测器目录下的选项。此名称在使用前必须先定义。在为探测器设计一个滤光器时要指定一个探测器，除此之外最好选择 IDEAL FirstSurfaceFirstSurface（第一面）（第一面） FirstSurface

17、是指前面或后面， “前面”指光从第一层膜入射， “后面”指光从出射介质入射。 当数据输入完毕时点击 0K（或 Return 或 Enter）。AnalysisParametersAnalysisParameters（参量分析）将显示页脚 SetAnalysisParameters（参量分析设置）窗口。如果你点击 Cancel（取消）你所做的一切改动将被忽略。 当定义了不止一个环境参量时，你可以使用 Environmentpop-up 目录来选择一个环境，被选择的环境参量叫做当前环境参量。要获得更多信息，参看 EnvironmentsWindow（环境参量窗口） StackFormula（膜堆）

18、 此项使你可以用公式输入一个膜堆。公式最长可由 32000 个字符组成，最多可以包括由 26 个单个字母组成的标识。就像上面所述的“L”和“H”。使用和按钮增加更多的标识。注意基底在紧靠第一层膜的左边。公式的语法十分简单。 任何次序的标识可以相互放置在一起，例如：ABCCCBA 标识可用圆括号分分组，例如：（ABC） 在右边圆括号必须跟注脱字符号）和一个整数，例如：（ABCBA）10 乘号优先于任何标识符或膜层组，例如：1.2（0.5AB0.5C）2 可使用组系数，如：G1（HL）5G2（HL）5 表示前 10 层膜在组 G1 里，后 10 层膜在组 G2 里。 为了清楚起见可以在任何地方使用

19、空格，例如：（1.5A2.3B.7C 厂 5（ABC）2. 在输入公式后，就应该输入标识的意义了。你必须对公式中用到的每一个标识材料所代表的厚度、 是否优化此层、 属于哪一组进行指定.。 如果是光学厚度优先 （在 configure 配置窗口中设置） ，那么厚度的值就假定为 QWOT（Quarter-WaveOpticalThickness1/4 波长）。另外，物理厚度单位为毫微米（十亿分之一米）。你也可以使用qw（quarter-wave）或nm来表明厚度单位。 如果你要使用组，那么必须在输入公式前在 Groups 窗口中事先定义。 在表格中切换是最好用 Tab 按钮。 当你选定 Gener

20、ateLayers（产生膜层）按钮时，程序会依照膜层公式来改变 Frontlayers（前表面膜层）窗口的容。如果你选定 Cancel（取消）按钮就不会有任何改变。如果你已经对膜层窗口做了实质的改动，你可以使用 ClearFormula（清除公式）按钮擦除膜层公式来避免你在使用膜堆公式设计时意外地取代前表面膜层。 Layers-Front/Back（前/后表面膜层） 显示基底前/后表面膜层，基底两侧最多可各有 5000 层膜。 有两个膜层窗口：前表面窗口和后表面窗口。这些窗口显示组成膜系的膜层信息。对每个膜层你必须指定以下信息： materialmaterial（材料）：必须是在材料库或在机动

21、材料窗口中定义过的材料。 在 QWOTQWOT 中的 1/4 波长或物理波长：注意每一层只有一个厚度需要输入，如果输入光学厚度，那么将会计算物理厚度，反之亦然。如果膜层含有在一定波长有明显吸收的材料，那么就不可能计算页脚 通常的 1/4 光学厚度。在此情况下，程序会显示 n/a 或 QWOT 的相近值。查看 configuringTFCalc获取更多信息。 是否需要优化膜层。 膜层属于哪一组。如果你需要使用组，就要先在 Groupswindow 中对其定义。 是否限制膜层厚度。 以纳米或 1/4 波长为单位给出厚度最小和最大值。 是否需要用 Needle 法在优化过程中加入膜层。 同样查看 L

22、ayerWindowOptions Groups（组） 显示组的数据，此选项使我们可以对一组膜层用同一种方法对待。例如，当在组 1 输入单数膜层在组 2 中输入双数膜层后，我们很容易只将组 1 中的膜层厚度增加 10，最多可分 5000 组。 对每一组你必须输入： ThegroupFactor （组因数） 在给定组中与膜层厚度相成的系数。 此数值通常从 1.0 开始，膜层的实际厚度可以将膜层窗口中的厚度和其组的组因数相成得到。 在优化过程中是否要改变组因数。 在优化过程中是否约束组因数。 如果约束值为 yes，那么最小和最大组因数值。 当组窗口在最顶时，你可以使用 Optionsmenu 来演

23、示多种操作。除增加、删除、打印、复制和添加组之外，此目录还有另外一项选项： NormalizeGroupsNormalizeGroups（规格化组）命令是将每一层的厚度与组因数相乘后将结果保存为膜层新的厚度，然后将所有组因数值设为 1.0，例如，将组 1 中所有膜层厚度增加 10，就可以将组 1 的组因数值设为 1.1 然后使用此命令。 Targets-Discrete（单点目标） 显示优化膜系的单点目标。单点目标是在单点波长上的目标。程序可以帮助你设计多达 5000 层具有指定折射率、透过率、吸收率、PSI、密度、颜色、亮度或相移的膜系。 在所有优化开始前必须输入目标，对每一个单点目标你必须

24、指定： 页脚 目标是光强 I 或是相位 P（也有颜色、光源和导数型目标，但是最好是在添加颜色目标和生成导数目标命令下设定）。 用户需要优化的数量：通常为折射率（R）或透过率（T）,也可以是吸收率（A）、PSI（P）或密度 （D） 。可以输入折射率和透过率的乘积如 R*T,Rp*Ts,orRs*Tp。 下标 p 和 s 代表偏振光种类。如果输入 R*T 就可以在窗口中选择优化 Rs*Ts、Rp*Tp 或 Rave*Tave。 PolarizationPolarization 偏振目标：P 或 S 代表纯偏振光；A 代表平均偏振光；D 代表 P-S 偏振光的差值。举例说明，如果目标是折射率，那么平

25、均偏振光为 0.5X（Rp+Rs）,差值为 Abs（Rp-Rs）。 targetwavelengthtargetwavelength（目标波长）（在 Configure 对话框中选定的单元） incidentangleincidentangle（单位为度）：在光发出的介质中测量所得。 targetvaluetargetvalue （目标值） 单位由目标类型决定。 以百分数显示像折射率和透射率之类的强度目标；以度为单位显示相位和 PSI 目标。R*T 的乘积在 0 到 100。任何目标可以是不等式，就是说目标值可以由（或）号来表示结果大于（或小于）目标值。 tolerancetolerance（

26、公差）公差的翻转叫做权重因子。参照评价函数来确定此公差的使用。虽然 1.0 的公差通常是满足要求的， 但你可以减小公差值来降低计算值与目标值之间的差距。 注意所有的公差值是相关联的，如果所有的公差相同，那么同所有公差为 1.0 时的效果相同。 environmentenvironment（环境）在传统膜系设计下其值为 1。然而然后定义了 multipleenvironments 多重环境那么你可以在此输入环境参量的数值。 同样参看 TargetWindowOptions Targets-Continuous（连续目标） 显示优化膜系的连续目标。连续目标是在连续波长上的目标。最多可有 100 个

27、连续目标。不论是单点或连续目标都必须在优化前输入。对每一个理想目标，你必须设定： 优化目标是强度 I 或是相位 P。 优化的数目。通常为折射率（R）或透射率（T）。也可以是吸收率（A）、PSI（P）或密度（D）。可以输入折射率和透过率的乘积如 R*T,Rp*Ts,orRs*Tp。 下标 p 和 s 代表偏振光种类。 如果输入 R*T就可以在窗口中选择优化 Rs*Ts、Rp*Tp 或 Rave*Tave。 P 或 S 代表纯偏振光；A 代表平均偏振光；D 代表 P-S 偏振光的差值。举例说明，如果目标是折射率，那么平均偏振光为 0.5X（Rp+Rs）,差值为 Abs（Rp-Rs）。Thepola

28、rizationofthe 目标开始和结束的波长（单位为 Configure 对话框中设定的目标类型）。 incidentangleincidentangle（单位为度）：在光发出的介质中测量所得。 页脚 目标值的起始和终点单位由目标种类决定。以百分比描述像折射率和透射率之类的强度目标；以度来显示相位和 PSI 目标。R*T 的乘积在 0 到 100。任何目标可以是不等式，就是说目标值可以由（或）号来表示结果大于（或小于）目标值。 tolerancetolerance（公差）公差的翻转叫做权重因子。参照评价函数来确定此公差的使用。虽然 1.0 的公差通常是满足要求的， 但你可以减小公差值来降低

29、计算值与目标值之间的差距。 注意所有的公差值是相关联的，如果所有的公差相同，那么同所有公差为 1.0 时的效果相同。 environmentenvironment（环境）在传统膜系设计下其值为 1。然而然后定义了 multipleenvironments 多重环境那么你可以在此输入环境参量的数值。 当连续目标窗口为最顶时你可以使用选项命令来增加、删除、打印复制和添加目标。 注意在结合单点目标和连续目标；如果公差相同，那么单点目标与连续目标具有相同的权重因子。 Comments（注释） 显示膜系的注示。 你可以在注释窗口中点击鼠标来编辑容。在特定地方输入文字时用鼠标直接在要输入文字的地方点击。按

30、回车键或用鼠标在另外一个窗口中点击来结束编辑。所输入的容被保存在膜系文件中。 在注释窗口中的页眉部分的文字将在一些窗口和打印出来的 remark 项后显示。当注释窗口为最顶 时 你 可 以 使 用 Optionsmenu 来 从 另 外 的 膜 系 文 件 中 复 制 或 添 加 容 或 打 印 注 释 。VariableMaterials（机动材料） 显示多达 150 种可改变参数的膜层材料。 机动材料不像在材料库中的材料，它是膜系设计过程中的一部分；就是说你可以给每一个所设计的膜系不同的材料。 你可以在任何使用材料的地方使用机动材料。 对每一个机动材料你必须设定： 机动材料的名称。每一个机

31、动材料必须有一个唯一的名称。同样不能同材料库中的材料名称相同。使用机动材料时只需要在膜层窗口中输入材料的名称。 机动材料的原始系数（N 和 K）。 机动材料可能具有的最小和最大折射率（N）,在优化过程中才使用到此限制。 是否优化机动材料的折射率（N）。 机动材料可能具有的最小和最大消光比率（K）,在优化过程中才使用到此限制。 是否优化机动材料的消光比（K）。 注意：单纯形法不改变此系数。 页脚 当机动材料窗口为最顶时，你可以通过选项目录来增加、删除、复制和添加机动材料。 在对两种材料的结合在膜系生成过程中不断变化的膜系进行试验时就要用到机动材料。这种膜系可以有许多薄膜层模拟而成，每一膜层的系数

32、都与前一膜层系数略微不同。例举例来说，模拟一个系数（1.5 到 2.5）随厚度成线形变化的膜系时，你可以输入 11 个机动材料，它们的系数为1.5,1.6,1.7,2.5,在 FrontLayers 窗口中加入等厚的机动材料。 机动材料还可以用来确定未知层的系数。在这种情况下，优化目标值会被分光光度法或ellipsometrie 法的数据。参看附录 C 获得更多信息。 机动材料的另外一个用途是寻找单层或多层膜的理想系数；这时通过equivalentstackcomputation 计算得到的 HLH 或 LHL 膜堆就可以用来取代机动材料。 Environments EnvironmentsW

33、indow（环境参量窗口）GOTOTOP 多重参量对设计由不同条件控制膜系特性的膜系时是很重要的。（例如不同光源、不同入射出射介质、不同基底、或比如探测器）如果所设计膜系中的膜层折射率是受外界影响的（例如温度、光强、电流、磁场、湿度）那么就要用到此窗口的 Activematerials（活 动材料）。多重环境可用来设计折射率由入射角和偏振来决定的双折射基底。在 Environment 环境窗口中你必须指定： Incidentmedium（中间介质） 中间介质是在基底目录下的选项,此名称在使用前必须先定义。 如果它是吸收材料,TFCalc 会提醒用户并假定消光系数 k=0. Substrate（

34、基底）基底是在基底命令下的选项,此名称在使用前必须先定义。基底被看作是一个没有干涉效应的块状介质。而如果它是吸收材料那么就看作只有衰减效应的介质。 Thickness（厚度） 指基底的物理厚度,以毫米做单位。 Exitmedium（出射介质） 在基底目录下的选项,此名称在使用前必须先定义。如果基底材料与出射介质相同（没有 backlayers）,那么基底可看作是无限大厚度的（在后表面没有反射）；如果他们不同，那么就要考虑到若干反射。同样的，如果基底材料与出射介质相同（没有 backlayers）,那么计算所得的透过率就是基底的透过率， 如果不等， 那么基底的透过率就可以计算出来。 DeTecT

35、or （探测器）在探测器目录下的选项。此名称在使用前必须先定义。在为探测器设计一个滤光器时要指定一个探测器，除此之外最好选择 IDEAL 最多可以有三个折射率随外部条件变化的机动材料。 光入射的第一个面：前表面或后表面。一般为前表面，也就是说光从入射介质发出。然而，我们可以对光从两个面入射膜层进行环境定义。 页脚 当使用机动材料时，每一个环境代表一个特定的外部条件。例如，如果外部条件是温度，那么每一个环境参量代表一个不同的温度。 那么， 对每一个环境参量来说机动材料的名称就会改变。确保当前环境里至少有一个膜层使用在环境参量栏（加注星号）的机动材料。如果改变当前环境参量，TFCalc 将在保持每

36、一层物理厚度不变的情况下自动将机动材料加入膜系窗口。这些将在多重环境下根据优化目标进行优化时自动完成。 需要注意的是当分析一个膜系时的当前环境参量，此参量在第一行将以星号标注。当 EnvironmenTswindow（环境参量窗口） 在窗口最上层时， 你可以使用 OpTionsmenu（选项目录）来添加、删除、打印、复制和应用环境参量。 MaTerials（材料）G0TOTOP 此选项使你可以显示和修改膜系材料。材料名称按照字母顺序排列。 SubsTrates（基底） 此选项使你可以显示和修改任何基底的光学参数。基底材料名称按照字母顺序排列。入射材料和出射材料（例如空气和水）是与基底材料存放在

37、一起的。 MaTerialsandSubsTraTesWindowsMaTerialsandSubsTraTesWindows 当任意一个窗口在最顶时，使用选项目录来增加、删除和打印材料和基底的名称。 在相应名称上点击来查看特定材料或基底的数据。当材料或基底数据窗口在最顶时，使用 OptionsMenu 选项目录来增加、删除和打印材料和基底的名称。 当用户选定 AddMateriaAddMateria1 1 增加材料或 AddSubstrateAddSubstrate 增加基底命令后就要输入材料或基底的名称。折射率数据在数据表格中给出或以分布函数形式给出。如果选定后者，那么就要为复杂折射率中的

38、 n 和 k 值选择函数类型。点击 0K 会出现一个空白表格或出现一个函数。 表格中可以最多存储 1001 个光学数据。当程序需要在一个超出表格所含的波长时它会用线形插补法推算其值；如果波长超出了设定围，那么就采用最接近其值的终点值。程序以波 长为标准来保存数据。 对所有的材料，参数 N 必须大于零，消光系数 K 对无吸收材料（电介质材料）为零。对吸收材料 K0。对 Formaterialexhibitingopticalgain,K 或 ExcludeDesignsHavingDeviationExcludeDesignsHavingDeviation来完成此操作。第一项中排除了实际厚度比设

39、定厚度大的膜层，第二项排除了与区域极值相差很大的设计方案。 SetEFIParameters（设置电场强度参量） SetEFIParameters （设置电场强度参量） 使你可以控制电场强度的计算。 你可选择你感兴趣波长、膜层、分辨率和在入射介质还是基底中计算电场强度。在高分辨率模式下 EFI 在 400 点下计算，而对中底分辨率相应的有 200 点和 100 点。 SetSensitivityParameters（设定灵敏度参量） SetSensitivityParameters（设定灵敏度参量）使你可以控制灵敏度计算。 注意膜层厚度误差和/或折射率会被模拟出来； 选定 VaryThickn

40、essbyVaryThicknessby 和/或 VaryIndexbyVaryIndexby 膜层厚度的分布状态和折射率可以是统一的或一般状态（髙斯分布）。膜层厚度变化可以是相关的或完全的（无论物理厚度或光学厚度）；在你想要进行的选项上点击鼠标并输入你要求的误差值。折射率误 差 通 常 为 相 关 量 。 选 择 分 析 类 型 ； worstworst- -caseanalysiscaseanalysis （ 最 差 情 况 分 析 ） 使 用MonteCarlosimulation（蒙特卡洛模拟法）确定膜系变化的最小和最大值；四分位分析法使用蒙特卡洛模拟法确定膜系分布的四分位数；wors

41、tworst- -possibleanalysispossibleanalysis （最差情况分析） 使用优化法在给定生产误差下计算膜系最差的状态。反复的次数只有在两个蒙特卡洛模拟法下使用。一般，如果一个膜系有更多的膜层，那么它会需要更多的反复运算来使灵敏度会聚到最小和最大值。如果选定VaryAllLayersVaryAllLayers 那么每一层的厚度就会改变；另外，只有标记为可优化的膜层才会改变厚度。如果选定 ComComputeColorSensitivityputeColorSensitivity 那么每一次的运算得到的颜色将在颜色窗口中显示。 注意：在一般分布状态下，所有生成的厚度在

42、在标称设计中的两个标准偏差之。在一般偏差时，在 RelativeandAbsolute 中的数值被认为是膜层厚度的标准偏差。 SetCone-AngleParameters（设定圆锥角参量） SetCone-AngleParameters （设定圆锥角参量） 使你可以指定计算平均圆锥角时光辐射的圆锥面。圆锥的中心角（圆锥轴线于膜层法线见的夹角）通常为环境窗口中的 incidentangle（入射角）圆锥角的大小可以在 half-angle 半角或 f/number 中写入。 计算时，膜系分析依照在最后一项中输入的角度计算数量，此数值必须为奇数且值越大计算越精确；当计算角度的数值加倍时，计算结果

43、的误差因子就降低 4 位。用户可以选择程序置的辐射分布（等效强度或 Lambertian）或用户自定义的分布形式。 SetMonitoringParameters（设定监控参量） SetMonitoringParametersSetMonitoringParameters（设定监控参量）命令使用户可以指定计算曲线计算过程中的参量，反射率、透射率、A值或PSI都可以监控。Eitherreflectance,transmittance,delta,orpsimaybemonitored 当监控反射率或投射率， P 光、S光以及平均偏振光都被监控。可以在低、中、髙以及设定的分辨率（单位为 nm）下计

44、算曲线。可以使用三个波长监控任意层薄膜。 基底必须选择在基底库列表的材料， 如果基底的背面反射光线那页脚 么就要在基底框核实。 当基底材料有吸收时才考虑基底的厚度。 监控角为光控源与基底平面的夹角 Relatives 相关 DistributionWindows（分布状态窗口） 在 Cone-AngleAverage（圆锥平均角度）计算中可以使用用户定义的辐射分布。窗口中显示可用的辐射分布名称。当此窗口为最顶时，在 Optionsmenu 选项目录下加入、删除和打印分布状态的名称。 点击分布名称来查看特定分布的相对强度。 注意所给出的强度是一百分比。 程序使用线形插法来确定没有给定角度的分布强

45、度； 如果角度超出了表格中所给的围，那么就会应用最接近其值的终点值。每个分布可以有 1001 个数据点组成。注意：你必须将改变的窗口关闭才能使对当前膜系设计所做的改动生效。 当分布设计窗口为最顶时，Optionsmenu（选项目录）可用来增加、删除和打印数据。可在每个分布状态中加入小段文字说明。 通过相应选项还可以查看用户生成的文件中的分布状态数据。 此选项在附录 AppendixA 中有说明。 用户也可以在文件中写入数据使在其他软件中使用此数据更为简便。 NormalizedistributionNormalizedistribution（标准分布）命令可以衡量分布状态数据来使分布最大亮度为

46、 100。 每一个分布状态的数据都是单独存放的。例如，DISTRIBU 目录下叫做 EQUAL 的文件。这样的结构使得复制数据、与同事分享数据或将数据移动到此软件在 Macintosh（麦金托什机）上的版本更加容易。注意：重命名或创建新文件时要保证文件名最多包含 8 个字符并且扩展名是正确的；分布状态数据使用 DST 扩展名。 SetTableParameters（设定表格参量） SetTableParameters（设定表格参量）控制表格窗口中显示的容。 如果选择 dB（分贝）为单位，那么参量就会以 dB 为单位显示；也就是说：以 10Log（x）为单位，其中 x 是反射率、透射率等参量。如

47、果前一个结果已保存，那么可以通过点击 ShowsavedResults（显示保存结果）将其显示在当前窗口中。注意此方法可用来显示灵敏度计算结果 （1 为差情况最小，2 为差情况最大，3 为第一四分位，4 为第三四分位，5 为中间状态。 SetPlotParameters（设定图表参量） SetPlotParametersSetPlotParameters（设定图表参量）控制着图表窗口的显示容。 大多数输入都是自说明性的。选定 DisplayOverlay（覆盖显示）来覆盖两种不同类型的显示。此时 OverlayParameters（覆盖参量）按钮就被激活。点击就会显示要覆盖的参量并且按钮的名称

48、也变成 PrimaryParameters。当显示覆盖材料时，注意图表类型（波长或波数）可能不随之改变。如果图表围与主表坐标围不同， 那么Plot 图表窗口将在图表的右侧显示第二个坐标 （就像在ShowPlot页脚 目录中描述的情况相同）。 MinorTicks（最小栅格距）为是设置在已有编号栅格线中附加栅格线的数量。 LayerWindowOptions（膜层窗口选项） 当膜层窗口在最顶时，你可以用 Optionsmenu 选项目录来显示不同的操作。在增加、删除、打印、复制和添加膜层之外，此目录还有如下其他 10 项选项： ReverseLayersReverseLayers（翻转膜层）将膜

49、层翻转的命令，同样注意在 Miscmenu 中也有一个swapthefrontandbacklayers 命令。 AdjustLayersforAngleAdjustLayersforAngle（根据角度调整膜层） 改变所有没有吸收膜层的厚度来保证在新的角度条件下光的有效路程（光程）保持不变。注意此对话框对所有角度初始值一般为 0.0。此功能通常叫做角度匹配。 ConsolidateLayersConsolidateLayers（压实膜层）将膜系优化后厚度为零的膜层去掉。同样的如果相邻两膜层有同样的材料并属于同一组那么就会将两膜层合并。 ComputeEquivalentIndex（计算等效折

50、射率）命令计算一定围膜层的等效折射率。 ComputeEauivalentStack（计算等效膜堆）命令计算等效于给定膜层的 HLH 或 LHL 膜堆 ShowThicknessTotalsShowThicknessTotals（显示总厚度）命令显示膜系中所使用的每一种材料的物理厚度和所有膜层的总厚度。最薄的膜层在对话框的最下端显示。 ReadLayerDatafromFileReadLayerDatafromFile（从文件中读取膜层信息）命令是从文件中读取两栏信息：材料名称和厚度 （单位为纳米） 。 用户在标准对话框中输入文件名称。 这是 TFCalc 中读取膜系设计的一条捷径。 Save

51、LayerDatainFileSaveLayerDatainFile（在文件中保存膜层数据）命令将每一膜层的材料名称和物理厚度（nm）写入文件。在创建运行平台时此命令非常有效。标准对话框会要求用户输入文件名称。 SaveLayerDatainClipboardSaveLayerDatainClipboard （在剪切板中保存膜层数据） 命令将每一膜层的材料名称和物理厚度 （nm）保存到剪切板。在为膜系创建运行平台时此命令有效。 SubstituteLayerDataSubstituteLayerData（替代膜层数据）命令使用户快速处理大量数据项。其运行方式为：它寻找到所有满足第一栏全部要求的

52、膜层，然后将膜层的区域按照第二栏的值改变。如果第一栏全空，那么它就满足所有膜层要求。在第一栏 QWOT 和厚度项可以不等就像10。 ComputeEquivalentIndex（计算等效折射率） 要分析的膜层围必须是一个均衡的膜堆。 也就是说第一层膜的厚度与最后一次膜的厚度相等， 第二层膜的厚度与倒数第二层膜的厚度相等，依此类推。在一般情况下，此命令计算在给定波长和角度时与一层膜的折射率和相位厚度等效的膜层围。注意如果波长在 stopband 截止带一定膜层的等效折射率就无法定义。 页脚 ComputeEquivalentStack（计算等效膜堆） 如果入射角为 0 度就必须选择 polari

53、zation（偏振）；等效膜堆只会与选择偏振的膜层相配。选择是否需要产生 HLH 或 LHL 膜堆。 输入所用材料名称； 它们并不一定要在材料库或机动材料窗口中。点击 Calculate 按钮就可计算等效膜堆。实际上有无数个解决方法；我们只显示那些相位厚度小于 360 度（正常情况下 4 倍 QWOT）的结果。左右键切换计算方法。在厚度增加过程中处理结果也保存下来。（QWOT 设定为参考波长）。点击 Replace（替换）按钮可以将显示的处理结果替换在膜层窗口中的给定膜层。 Target（Discrete）WindowOptions（单点目标窗口选项） 当单点目标窗口在最低逆光时，你可以使用 Optionsmenu 增加、删除、打印、复制和添加目标。也可以通过选项来自动生成目标和从文件中读取目标。 GenerateTargetsGenerateTargets（生成目标）使你可以生成许多相似的目标。对话框中的大多数项与 Targets（目标）窗口中的相似。目标可以是不等式的；就是说，目标值可以