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文档简介

1、NiAgAl合金反射层在合金反射层在GaN基大基大功率功率LED中的应用中的应用 大连路美-研发中心唐勇内容提要1、项目简介2、研发过程3、项目成果4、成果总结项目简介l项目目标：制作出反射率良好、粘附性强、 热稳定高的金属反射镜面。Sapphiren-GaNp-GaN反射镜研发过程-核心金属Ag-基本特性l元素英文名称：Silver l熔点：961.78 l电阻率：1.58610-8 m（20） l有很好的柔韧性和延展性，是导电性和导热性最好的金属。 研发过程-核心金属Ag-优点l反射率高达95%以上（460nm波段）l价格便宜，6元/g研发过程-核心金属Ag-缺点l粘附性差l球聚特性l热稳

2、定性差解决方案：合金！合金的特性：通过在纯金属中掺入不同比例的其他金属得到具有比纯金属更优良的特性的合金金属，分为二元合金和多元合金。研发过程-实验设计Ni 20nmAg 200nmAg 200nmAl 20nmAg 200nmAl 20nmAg 200nmNi 20nm蓝宝石蓝宝石蓝宝石蓝宝石研发过程-实验设计Table IRoughness and reflectivity of samples at 460nm退火前反射率（%） 退火后反射率（%）表面粗糙度（nm）Ag94.2%68.1%35.428Ni/Ag74.9%93.5%10.665Ag/Al93.7%86.3%15.268Ni

3、/Ag/Al73.6%92.6%11.736研发过程-退火之后 Ag：反射率 94.2% 68.1%, 粗糙度:35nmNi/Ag:反射率74.9% 93.5%,粗糙度:10nmAg/Al:反射率93.7% 86.3%,粗糙度:15nmNi/Ag/Al:反射率73.6% 92.6%,粗糙度:12nm研发过程-激光切割l激光切割工艺SapphireLED层反射镜激光研发过程-激光切割后Ag：反射率 68.1%,粗糙度:35nmNi/Ag:反射率93.5%,粗糙度:10nmAg/Al:反射率86.3%,粗糙度:15nmNi/Ag/Al:反射率92.6%,粗糙度:12nm项目成果-实验结论l薄Ni层的引入,改善了纯银镜面的黏附性,同时大大的缓和了纯银的球聚特性.l薄Al层的引入,改善了纯银镜面的高温稳定性,在600的高温下不会发生脱落现象.l在45mil芯片上制作Ni/Ag/Al结构镜面,最终白光封装提高亮度达到20%.我司P6型号大功率芯片突破100lm/W的技术指标,同时推向市场.成果分析-其他应用领域l垂直结构芯片l倒装结构芯片Metal Refle

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