喷嘴的常用知识

1、 喷嘴的常用知识脱硫除尘一般为湿式脱硫除尘，湿式脱硫除尘有水膜脱硫除尘，冲击水浴脱硫除尘等。湿式除尘的优点是易维护，且可通过配制不同的除尘剂，同时达到除尘和脱硫（脱氮）的效果；缺点是除尘液需处理，可能导致二次污染。不锈钢螺旋喷嘴是一种实心锥形或空心锥形喷雾喷嘴，喷流角度范围可为50°-170°。在3巴压强下，液体流率范围为5.5-4140升/分。这种结构紧凑的喷嘴有着畅通的流道设计，可以最大程度地减少液体阻塞，使液体在给定尺寸的管道上达到最大流量。喷嘴有内、外螺纹型。通常1/4英寸2英寸的喷头可分别用黄铜、316不锈钢铸件、TEFLON聚四氟乙烯或聚氯乙材料制造的。如需应用

2、于特殊领域，也可采用其它材料制造。液体（或料浆）通过与连续变小的螺旋面相切和碰撞后，变成微小的液珠喷出而形成雾状。喷嘴腔体内从进口至出口的流线型设计使得阻力系数降至最低，因而螺旋喷嘴适用于各种岗位。例如：化工、环保、电力、纺织等众多工业领域，特别是烟气脱硫除尘行业应用更为广泛。其耐磨性、耐腐性、成雾性、防堵性已被该行业众多用户所接受。螺旋喷嘴液体通过与连续变小的螺旋线体相切和碰撞后，变成小液滴喷出，并且喷嘴腔体内从进口至出口的畅通的通道设计最大程度的减少了阻塞现象的发生。 螺旋喷嘴的主要使用特点如下： 1、使用效率高。在3公斤使用压力下，单个喷嘴的流量可以达到25吨/小时。2、雾化效

3、果好。3、防堵塞。4、喷雾速度高。5、物理尺寸小，结构紧凑。适用范围1、废气洗涤；2、气体冷却；3、洗涤与漂淋过程；4、防火灭火；5、使用于烟气脱硫系统；6、使用于除尘降尘系统特点1、永久不堵塞；2、材料不锈钢耐腐蚀 碳化硅喷嘴是一种新陶瓷材料，具有耐高温、抗氧化、高强度、耐极冷极热、抗热震性好、高温变小、热传  碳化硅喷嘴1导性好、耐磨、耐腐蚀等特点。作为节能耐火材料在卫生陶瓷、日用瓷、电瓷、磁性材料、微晶石、粉末冶金、钢铁热处理等行业的高温窑炉中被广泛应用，由它制成的各种部件也逐渐应用在发电、造纸、石油、化工、机械密封、水泵、表面处理、热交换、选矿、航天等领域脱硫除尘中

4、过滤介质除雾器冲洗喷嘴用途 除雾器喷嘴是一种新型锥形的喷雾喷嘴，喷流角度为60°-170°。除雾器喷嘴设计紧凑，可使液体在给定尺寸的管道上达到最大流量，由于具有畅通的通道设计，因而最大程度上减少了喷嘴的阻塞现象。这种喷嘴可在绝大多数管道系统上安装和更新。 除雾器喷嘴具有1/2寸3/4英寸1英寸的喷嘴外螺纹尺寸，适合大多数常见的管道，并具有多种流量和喷射角度可供选择，以满足各种需求。一般应用于环保领域，如废气脱硫；除尘；气体洗涤；冷却等；产品特点：采用玻璃纤维增强聚丙烯(PP1)、聚甲醛(POM)、聚偏二氟乙烯(PVDF)模压制成，此三种材料均具有优良的抗化学性，其最高使用温

5、度分别为92、90、150。玻璃纤维增强聚丙(PP1)材质是普通应用的首选，性价比最高；聚甲醛(POM)材质具有更佳的耐磨使用寿命；聚偏二氟乙烯(PVDF)是一种超级坚韧的含氟聚合物，具有极优异的抗化学腐蚀性能，能有效抵抗各种酸基，碱基，胺基和各种卤化物，抗老化性能极佳，特别适用于要求超纯度的生产工序。通用塑胶喷嘴具有1/8"，1/4",3/8",1/2",3/4",1"等入口螺纹尺寸，适合大多数常见的管道，具有多种流量和喷射角度可供选择，以满足各种需求。通用塑胶喷嘴提供扇形和实心锥形两种不同类型的喷雾模式。一般应用：在应用领域上具有

6、广泛的通用性。对于调湿、前处理、冲洗、润滑和化学应用等方面都是一个理想的选择。塑胶喷嘴，塑料喷嘴，除雾器冲 除雾器喷嘴是冲洗系统中最重要的执行部件。冲洗水压过低，冲洗效果差，易产生结垢现象；冲洗水压过高则易增加烟气带水，并会降低波形板的使用寿命。冲洗水压力应根据冲洗喷嘴的特征和冲洗喷嘴与除雾器之间的距离(一般为0.40.8m)等因素决定。一般情况下，第一级除雾器的冲洗水压应高于第二级除雾器，除雾器迎风面的冲洗水压高于顺风面的冲洗水压。有时为了节约成本、简化控制系统，也常选取基本相同的冲洗水压（0.2MPa）。   产品质量可靠，价格优惠，欢迎订购：重庆喷嘴/成都喷

7、嘴/喷头/螺旋喷嘴/空气雾化喷嘴/雾化喷头/不锈钢喷嘴，期待与您的合作，行业客户首选！冲洗覆盖率是指冲洗水对除雾器断面的覆盖程度。根据不同工况条件，冲洗覆盖率一般选取100300。必须保证的是绝对不能留有冲洗死角，否则极易造成结垢现象。一般条件下，喷嘴的喷洒投影面的外围冲洗力较弱，应该考虑有一定程度的冲洗重叠，以确保良好的冲洗效果。   除雾器冲洗周期指除雾器每次冲洗的时间间隔。冲洗不宜过于频繁，否则会导致烟气带水量加重；同时冲洗间隔也不能太长，否则易产生结垢现象。除雾器冲洗周期主要根据烟气特征及吸收剂状况确定，一般应不超过2小时。除雾器冲洗水量一方面应满足除雾器

8、自身冲洗效果的要求，另一方面还需考虑系统水平衡的要求。有时需要采用大水量短时间冲洗，有时则要小水量长时间冲洗，具体冲水量可由工况条件确定。在设计除雾器冲洗系统时要考虑的因素有:冲洗面选择、冲洗水压力、冲洗强度、喷嘴角度、冲洗频率、冲洗水水质等。为了减少烟气通过除雾器后的携带水量,冲洗系统通常设计成只冲洗除雾器初级叶片的迎风面和背风面。冲洗水的压力一般要求200 kPa以上,冲洗强度在40 l/ (m2·min)左右,喷嘴角度一般选择 90°或110°, 200%重叠。通过调整各冲洗通道的间隔时间可调节补充水量,冲洗通道可以按空间顺序依次冲洗,也可以将一个周期内的冲

9、洗次数调整为迎风面多于背风面。冲洗频率一般取决于吸收塔每小时的蒸发水流量,当吸收塔内的水位低于设定值时,自动控制系统将执行除雾器冲洗程序。冲洗水要尽可能采用新鲜水,以迅速降低除雾器叶片上附着浆液的饱和度,避免结垢。工矿除尘喷嘴喷淋装置在输煤粉尘治理中的应用设备用途：一般应用：冲印、脱氧、脱泡，印刷电路的精确显影，电子清洗设备，冷却和除尘系统，超声波洗净前处理，金属表面前处理，低压化学药水散步，研磨洗净印刷板（UPE专用）摘要：防腐煤矿除尘喷嘴除尘喷嘴喷淋装置在输煤粉尘治理中的应用1、输煤系统粉尘治理工作的意义及我厂治理效果2、除尘喷嘴喷淋装置系统的工作原理和装置组成除尘喷嘴喷淋装置喷淋系统工作

10、原理：喷淋除尘是利用喷头把压力水转换成雾罩，保证喷头的雾化效果和雾化角度，大大减少耗水量；使用防尘罩使尘源封闭，将尘源限制在一定的空间内，增加尘粒与水滴的碰撞几率和速度，提高除尘效率。使含尘气体的湿度增加，尘粒相互凝聚，体积增大而沉积到燃料表面，一起送至原煤仓，而达到消除粉尘，净化环境的目的。喷淋系统装置组成：由水系统和控制系统组成。水系统由水源、水管路、阀门、过滤器和除尘喷头组成；控制系统由电磁阀、传感器、控制器等构成。3、治理方案的规划和设想31治理的关键在于输煤系统头部压尘，重点治理卸车棚的螺旋卸车机和1号皮带的叶轮给煤机的扬尘点。在卸车棚对称配置多台轴流风机，改善卸车棚的除尘效果。32

11、其次是皮带机系统的转运站的扬尘点，即每条皮带机头部、导料槽部位（即落煤管落差较高部位）和碎煤机间上、下部位的扬尘点。33皮带机系统的除尘中，在封闭导料槽上配合现有的多管水冲击除尘器的负压通风系统，提高皮带机除尘的效率。34通过头部压尘后，粉尘浓度大大降低，煤仓间的除尘用现有的布袋式除尘器即可满足除尘要求。配合水冲洗地面，煤仓间位置较高，可选用管道泵增压，以满足供水需要。35在皮带机系统中完善暖气系统，配置防水灯具、防水电控箱、电缆桥架，制作水冲洗地面、墙壁，完善水压系统和废水沉淀回收系统，营造水冲洗环境。4、螺旋卸车机和叶轮给煤机除尘喷嘴喷淋装置41供水方式水槽供水方式。在螺旋卸车机棚一侧设计

12、与卸车棚等长（现场为200 m）的供水水槽；在叶轮给煤机全行程范围的一端到另一端，沿着煤斗外壁固定安装水槽。安装在螺旋卸车机和叶轮给煤机上的除尘装置（水槽靠卸车侧开矩形整体长槽，并用胶条密封，以免进入煤粉，堵塞喷嘴），通过插在水槽内的吸管经加压泵吸水。随螺旋卸车机和叶轮给煤机的行走，吸管沿水槽上的开口边走边吸水。为保证水槽供水充足又不至溢出，设计水槽水位控制装置，由电控装置自动补水。42喷头选用选用PCL20系列除尘喷头。此喷头出水口和内流道断面大，不易堵塞。喷头所产生的水雾锥角为50°100°，有利于对尘源的封堵。且价格较低，能够满足除尘需要。3号螺旋卸车机选用法国专利喷

13、头，造价较高，但雾化程度较好。以上两种均可选用。企鹅Q（6*4*3*3*7*后面是9*6*5*8）咨询139+8373+023743实施的要点和关键（1）卸车和喷淋同时进行，两侧墙壁可分别设置2个不同角度的喷嘴，在卸车的同时，可将卸车棚墙壁清洗干净。（2）喷淋关键是将螺旋头旋转范围全部覆盖住，螺旋头两侧和起升机构两侧机构喷嘴配置合理，保证将煤的卸车流动方向全部覆盖，起到除尘效果。螺旋头适当增加喷嘴数量，并提高雾化效果，但应避免煤表面水分饱和，影响煤的流动性。（3）螺旋头起升部位部分水管可用高压胶管连接，喷头可采用铁板打孔固定，避免因螺旋头卸煤导致损坏喷嘴。（4）选用适宜的增压泵，避免发生水泵与

14、水槽的虹吸现象。喷淋装置使用后注意将余水放净，避免冬季冻裂水管路。（5）电控机构可采用螺旋头和起升机构、喷嘴的分组控制，开启时顺序可逐组开启，以延长水泵、管路和相关元件的使用寿命，减小启动时水管路的压力。44叶轮给煤机喷淋装置工程实施（1）喷嘴设置2个不同的方向，采取交叉布置，一部分喷嘴对准叶轮给煤机的落料方向；另一部分对准叶轮给煤机内煤的流动方向，以达到更好的除尘效果。（2）喷淋电控箱与叶轮电控箱分开布置，便于值班工人视煤的干燥程度随时启动喷淋电控箱，避免电能和水量的浪费。（3）水槽在煤斗两侧分别布置，并安装牢固，长度根据叶轮给煤机行走长度确定。5、带式输送机喷淋装置实施要点51皮带喷淋喷头

15、安装的高度位置应适宜，以喷头喷水锥角覆盖皮带宽度的90为宜，避免用水量的浪费。52喷淋水管路水截门前应安装过滤器，以适应水质的要求，避免堵塞喷嘴。53喷水电磁阀应选用性能可靠的元件，以保证皮带机启动时喷淋的正确动作，避免误动。54在皮带机头部适当布置喷嘴，于落煤管上部在煤流下落位置（即落煤管头部）适当布置喷嘴，以更好达到除尘目的。6、煤场除尘喷嘴喷淋装置煤场除尘喷嘴喷淋主要考虑春、夏、秋三季使用。应环煤场设置，选用可摇摆式喷头。扬程视煤的堆积高度而定。根据水压情况设置增压泵。喷水管路采用预埋方式，喷水喷嘴部位设置截门和放水管，喷水管喷头部位建围池，冬季用稻草预埋，并把喷水管路的余水放干净，避免

16、冬季冻裂水管路。在夏季投入露天煤场喷淋可在一定程度上避免煤的热量和挥发分损失，对节能降耗能起到一定的作用。7、使用效果及评价结论实践证明，在湿式除尘器的基础上配置干式除尘器，除尘效果会更加显著，能够满足国家规定的关于除尘的粉尘浓度标准的要求。喷嘴喷淋装置喷淋除尘装置可以在实践的基础上继续完善，不断提高。螺旋喷嘴设计紧凑，具有畅通不堵塞的无内芯直通式流道设计，可使液体在给定尺寸的管道上达到最大流量，喷雾模式有实心锥形和空心锥形两种，使用效率高，喷射角度大，防堵塞。液体（或料浆）通过与连续变小的螺旋面相切和碰撞后，变成微小的液珠喷出而形成雾状。喷嘴腔体内从进口至出口的流线型设计使得阻力系数降至最低

17、，因而螺旋喷嘴适用于各种岗位。例如：化工、环保、电力、纺织等众多工业领域，特别是烟气脱硫除尘行业应用更为广泛。其耐磨性、耐腐性、成雾性、防堵性已被该行业众多用户所接受。螺旋喷嘴可以在大多数管道系统上安装或更换。可提供的喷嘴有NPT或BSPT（外）螺纹型。通常，1/4英寸4英寸的喷嘴可分别用Cu、304SS、316SS、316L、PVDF、 PP或碳化硅材料制造。锈钢(SS304、303、316、316L），黄铜（BRASS），碳化硅，塑胶（PVC、ABS、FUD），陶瓷等材料。螺旋喷嘴最大喷流角度为60-170度。在3Mpa压强下，液体流率范围为5.5一140升/分。螺旋喷嘴螺纹大小有1/4，

18、3/8，1/2，3/4，1，1-1/2，2，3等多种规格，常规为英制管螺纹，可以提供相应尺寸的内螺纹或外螺纹接头。螺旋喷嘴广泛应用于环保领域，废气脱硫、气体冷却、 蒸发冷却、洗涤与漂淋过程、 除尘、防火灭火、环保化工行业、脱硫塔脱硫、气体洗涤、陶瓷厂除尘塔、垃圾焚化厂、炼钢转炉中烟道除尘降温、脱硫、除尘、洗涤、冷却、消防、清洁，去污、气体冷却、加湿、 脱硫除尘、 喷腐蚀性液体等。常见尺寸 ：1/8 、3/8 、1/4、 3/4 、1/2 、1寸 、1.5寸 、2寸、 3寸常见压力：1Mpa、2Mpa、3Mpa、4Mpa、5Mpa、10Mpa常见流量：0.5L/min、1L/min、5L/min

19、、10L/min、20L/min、30L/min常见度数：30°、45°、60°、90°120°、360°（可根据需求定制角度0°-360°）常用材质：不锈钢(SS304、303、316、316L），塑胶（PVC、ABS、FUD），黄铜（BRASS）更多技术参数请上快拆式喷嘴采用塑胶注塑加工成型、快拆系统的科学设计使得喷嘴安装和拆卸的工作方便快捷、喷嘴和底座可以毫不费力的迅速分离、您在几秒钟内不需要任何工具就可以完成拆卸、安装的工作、消除了人为因素产生的因喷头拧不到位而产生的冲脱、遗失等现象。该类喷嘴具有强度高、耐

20、磨损耐化学腐蚀的优点、能够防止冲洗液结块和聚积。适用于磷酸盐类、酸类、溶剂类和其他腐蚀性溶液的清洗应用要求。该类喷嘴有1/8、1/4、3/8三种规格、提供PPR、PVDF、PVC等多种材质制作。目前，印刷电路板(PCB)加工的典型工艺采用"图形电镀法"。即先在板子外层需保留的铜箔部分上，也就是电路的图形部分上预镀一层铅锡抗蚀层，然后用化学方式将其余的铜箔腐蚀掉，称为蚀刻。    要注意的是，这时的板子上面有两层铜.在外层蚀刻工艺中仅仅有一层铜是必须被全部蚀刻掉的，其余的将形成最终所需要的电路。这种类型的图形电镀，其特点是镀铜层仅存在于铅锡抗蚀层

21、的下面。另外一种工艺方法是整个板子上都镀铜，感光膜以外的部分仅仅是锡或铅锡抗蚀层。这种工艺称为“全板镀铜工艺“。与图形电镀相比，全板镀铜的最大缺点是板面各处都要镀两次铜而且蚀刻时还必须都把它们腐蚀掉。因此当导线线宽十分精细时将会产生一系列的问题。同时，侧腐蚀会严重影响线条的均匀性。    在印制板外层电路的加工工艺中，还有另外一种方法，就是用感光膜代替金属镀层做抗蚀层。这种方法非常近似于内层蚀刻工艺，可以参阅内层制作工艺中的蚀刻。    目前，锡或铅锡是最常用的抗蚀层，用在氨性蚀刻剂的蚀刻工艺中.氨性蚀刻剂是普遍使用的化工药液，与锡或

22、铅锡不发生任何化学反应。氨性蚀刻剂主要是指氨水/氯化氨蚀刻液。此外，在市场上还可以买到氨水/硫酸氨蚀刻药液。    以硫酸盐为基的蚀刻药液，使用后，其中的铜可以用电解的方法分离出来，因此能够重复使用。由于它的腐蚀速率较低，一般在实际生产中不多见，但有望用在无氯蚀刻中。有人试验用硫酸-双氧水做蚀刻剂来腐蚀外层图形。由于包括经济和废液处理方面等许多原因，这种工艺尚未在商用的意义上被大量采用.更进一步说，硫酸-双氧水，不能用于铅锡抗蚀层的蚀刻，而这种工艺不是PCB外层制作中的主要方法，故决大多数人很少问津。重庆喷嘴/成都喷嘴/喷头/螺旋喷嘴/空气雾化喷嘴/雾化喷头/ &

23、#160;     蚀刻质量及先期存在的问题对蚀刻质量的基本要求就是能够将除抗蚀层下面以外的所有铜层完全去除干净，止此而已。从严格意义上讲，如果要精确地界定，那么蚀刻质量必须包括导线线宽的一致性和侧蚀程度。由于目前腐蚀液的固有特点，不仅向下而且对左右各方向都产生蚀刻作用，所以侧蚀几乎是不可避免的。    侧蚀问题是蚀刻参数中经常被提出来讨论的一项，它被定义为侧蚀宽度与蚀刻深度之比，称为蚀刻因子。在印刷电路工业中，它的变化范围很宽泛，从1：1到1：5。显然，小的侧蚀度或低的蚀刻因子是最令人满意的。  

24、60; 蚀刻设备的结构及不同成分的蚀刻液都会对蚀刻因子或侧蚀度产生影响，或者用乐观的话来说，可以对其进行控制。采用某些添加剂可以降低侧蚀度。这些添加剂的化学成分一般属于商业秘密，各自的研制者是不向外界透露的。至于蚀刻设备的结构问题，后面的章节将专门讨论。    从许多方面看，蚀刻质量的好坏，早在印制板进入蚀刻机之前就已经存在了。因为印制电路加工的各个工序或工艺之间存在着非常紧密的内部联系，没有一种不受其它工序影响又不影响其它工艺的工序。许多被认定是蚀刻质量的问题，实际上在去膜甚至更以前的工艺中已经存在了。对外层图形的蚀刻工艺来说，由于它所体现的“倒溪现像比绝大多数

25、印制板工艺都突出，所以许多问题最后都反映在它上面。同时，这也是由于蚀刻是自贴膜，感光开始的一个长系列工艺中的最后一环，之后，外层图形即转移成功了。环节越多，出现问题的可能性就越大。这可以看成是印制电路生产过程中的一个很特殊的方面。从理论上讲，印制电路进入到蚀刻阶段后，在图形电镀法加工印制电路的工艺中，理想状态应该是:电镀后的铜和锡或铜和铅锡的厚度总和不应超过耐电镀感光膜的厚度，使电镀图形完全被膜两侧的“墙挡住并嵌在里面。然而，现实生产中，全世界的印制电路板在电镀后，镀层图形都要大大厚于感光图形。在电镀铜和铅锡的过程中，由于镀层高度超过了感光膜，便产生横向堆积的趋势，问题便由此产生。在线条上方覆

26、盖着的锡或铅锡抗蚀层向两侧延伸，形成了“沿，把小部分感光膜盖在了“沿下面。    锡或铅锡形成的“沿使得在去膜时无法将感光膜彻底去除干净，留下一小部分“残胶在“沿的下面。“残胶或“残膜留在了抗蚀剂“沿的下面，将造成不完全的蚀刻。线条在蚀刻后两侧形成“铜根，铜根使线间距变窄，造成印制板不符合甲方要求，甚至可能被拒收。由于拒收便会使PCB的生产成本大大增加。    另外，在许多时候，由于反应而形成溶解，在印制电路工业中，残膜和铜还可能在腐蚀液中形成堆积并堵在腐蚀机的喷嘴处和耐酸泵里，不得不停机处理和清洁，而影响了工作效率。 &#

27、160;  设备调整及与腐蚀溶液的相互作用关系    在印制电路加工中，氨性蚀刻是一个较为精细和复杂的化学反应过程。反过来说它又是一个易于进行的工作。一旦工艺上调通，就可以连续进行生产。关键是一旦开机就需保持连续工作状态，不宜干干停停。蚀刻工艺在极大的程度上依赖设备的良好工作状态。就目前来讲，无论使用何种蚀刻液，必须使用高压喷淋，而且为了获得较整齐的线条侧边和高质量的蚀刻效果，必须严格选择喷嘴的结构和喷淋方式。    为得到良好的侧面效果，出现了许多不同的理论，形成不同的设计方式和设备结构。这些理论往往是大相径庭的。但是所有

28、有关蚀刻的理论都承认这样一条最基本的原则，即尽量快地让金属表面不断的接触新鲜的蚀刻液。对蚀刻过程所进行的化学机理分析也证实了上述观点。在氨性蚀刻中，假定所有其它参数不变，那么蚀刻速率主要由蚀刻液中的氨(NH3)来决定。因此用新鲜溶液与蚀刻表面作用，其目的主要有两个：一是冲掉刚刚产生的铜离子;二是不断提供进行反应所需要的氨(NH3)。    在印制电路工业的传统知识里，特别是印制电路原料的供应商们，大家公认，氨性蚀刻液中的一价铜离子含量越低，反应速度就越快.这已由经验所证实。事实上，许多的氨性蚀刻液产品都含有一价铜离子的特殊配位基(一些复杂的溶剂)，其作用是降低一价

29、铜离子(这些即是他们的产品具有高反应能力的技术秘诀)，可见一价铜离子的影响是不小的。将一价铜由5000ppm降至50ppm，蚀刻速率会提高一倍以上。    由于蚀刻反应过程中生成大量的一价铜离子，又由于一价铜离子总是与氨的络合基紧紧的结合在一起，所以保持其含量近于零是十分困难的。通过大气中氧的作用将一价铜转换成二价铜可以去除一价铜。用喷淋的方式可以达到上述目的。    这就是要将空气通入蚀刻箱的一个功能性的原因。但是如果空气太多，又会加速溶液中的氨损失而使PH值下降，其结果仍使蚀刻速率降低。氨在溶液中也是需要加以控制的变化量。一些用户

30、采用将纯氨通入蚀刻储液槽的做法。这样做必须加一套PH计控制系统。当自动测得的PH结果低于给定值时，溶液便会自动进行添加。在与此相关的化学蚀刻(亦称之为光化学蚀刻或PCH)领域中，研究工作已经开始，并达到了蚀刻机结构设计的阶段。在这种方法中，所使用的溶液为二价铜，不是氨-铜蚀刻。它将有可能被用在印制电路工业中。在PCH工业中，蚀刻铜箔的典型厚度为5到10密耳(mils)，有些情况下厚度则相当大。它对蚀刻参量的要求经常比PCB工业中的更为苛刻。    有一项来自PCM工业系统中的研究成果，目前尚未正式发表，但其结果将是令人耳目一新的。由于有较雄厚的项目基金支持，因此研

31、究人员有能力从长远意义上对蚀刻装置的设计思想进行改变，同时研究这些改变所产生的效果。比如，与锥形喷嘴相比，最佳的喷嘴设计采用扇形，并且喷淋集流腔(即喷嘴拧进去的那段管子)也有一个安装角度，能对进入蚀刻舱中工件呈30度喷射.如果不进行这样的改变，那么集流腔上喷嘴的安装方式会导致每个相邻喷嘴的喷射角度都不是完全一致的。第二组喷嘴各自的喷淋面与第一组相对应的略有不同(它表示了喷淋的工作情况)。这样使喷射出的溶液形状成为叠加或交叉的状态。从理论上讲，如果溶液形状相互交叉，那么该部分的喷射力就会降低，不能有效地将蚀刻表面上的旧溶液冲掉而保持新溶液与其接触。在喷淋面的边缘处，这种情况尤其突出。其喷射力比垂直方向的