回收技术方案

1、尾气回收工序一、10000吨/年方案尾气回收系统的处理能力要与10000吨/年的产量相匹配，回收6的设计处理能力为1600吨/年，根据相关企业的实际运行经验，该套系统的处理能力能达到1800吨/年至2000吨/年。根据我公司还原系统相关数据,在老厂房区域的多晶硅生产能力要达到8000吨/年，依次能力对尾气回收系统的能力和设备进行核算。因回收1、2、5处理能力偏小，应全部拆除，在原有土地上重新修建处理量大、工艺更为先进的尾气回收系统。1、工艺条件1.1. 尾气系统物料处理量旧还原厂房区域改建后到达8000吨/年的产能，还原提供运行数据如下：项目名称单位指标尾气总量Nm3/h45244.44平均多

2、晶硅小时产量Kg/h1000回收氯硅烷平均流量Kmol/h361.11回收氢平均气量Kmol/h1647.77回收氯化氢液体平均流量Kmol/h10.961.2. 新增尾气回收系统需要制冷量及冷冻机（1）氯硅烷冷凝30还原尾气被冷凝到-40所需换热量如下为14.382×106KJ/h=3995 KW。（还原提供尾气温度为不高于70，若还原尾气至回收的温度高于30，则应增加水冷装置，完全靠氟利昂制冷是不经济的。）（2）内部喷淋循环制冷按照2000吨/年生产线喷淋液70m3/h计算，喷淋液温度从-10降至-40，所需换热量为：2.471×106×4=9.884

3、5;106KJ/h= 2746KW。若合理降低喷淋液的流量为50m3/h，则对应的换热量为1961 KW.（3）HCl液化、回流液制冷量根据CDI-6热负荷进行计算计算，将此部分气态物质冷凝为液相热负荷为：520 KW×4=2080 KW，合理控制塔底温度可使换热量降为1768 KW.总热负荷：3995 KW+1961KW+1768 KW=7724 KW，放40%的余量为10814 KW。回收1、2、5的制冷量为408 KW×7=2856 KW。若将原冷冻机组进行利用，则还需增加7958 KW制冷量，回收6一套机组的制冷量约为1600KW，-46与-15冷冻机组制冷量共33

4、31.6 KW。需增加制冷量为2200 KW 的-46机组2套，制冷量为2000 KW 的-15机组2套。若回收1、2、5原冷冻机组不再使用，需增加制冷量为3000 KW 的-46机组2套，制冷量为2500 KW 的-15机组2套。1.3. 氢气压缩机回收1、2、5单台氢压机的处理气量为2500 Nm3/h左右，6台处理能力共15000 Nm3/h，单台处理量太小，若使用，能耗必定较大。回收3、4压缩机的处理量更小。氢压机入口气量约为37400 Nm3/h，放30%的余量为48620Nm3/h，新建两套系统，单套系统氢压机处理量为25000Nm3/h，需压缩机至少4台，单台处理能力12500

5、Nm3/h.根据制冷量和氢气处理量，初步方案是新建2套回收系统，每套回收系统对应的生产能力是5200吨/年。新增制冷系统4套，新增氢气压缩机4台（2台组成1套）。1.4. 电力消耗新增2套回收系统，单套的耗电量为5800KW/h，电力消耗一共为116000 KW/h.1.5. 蒸汽蒸汽消耗为40吨/h（已考虑余量）。1.6. 其他设备及公用工程消耗回收1、2、5的换热器、吸附柱、塔器等均不能满足新方案的要求，少量换热器可能换热面积足够时，可以留用。循环水消耗量为55吨/h（已考虑余量）。新建尾气回收的氢气耗量均值为60 Nm3/h（吹扫氢气），峰值为600 Nm3/h（开车时补充再生氢）、氮气

6、耗量平均为30 Nm3/h（吹扫氮气），峰值300 Nm3/h（开车前或检修时系统充压、吹扫）。2、新增设备序号设备名称数量单位预算单价预算总价1氢压机(25000Nm3/hr)2套800.0000 1600.0000 2低温冷冻机(-46)2套800.0000 1600.0000 3低温冷冻机(-15)2套300.0000 600.0000 4吸收塔及填料2台100.0000 200.0000 5脱吸塔及填料2台110.0000 220.0000 6活性炭吸附塔及活性炭6台50.0000 300.0000 7还原尾气换热器2台15.0000 30.0000 8还原尾气一级深冷器2台30.00

7、00 60.0000 9还原尾气二级深冷器2台23.0000 46.0000 10吸收塔尾气换热器2台20.0000 40.0000 11贫富液换热器2套70.0000 140.0000 12贫液深冷换热器2台30.0000 60.0000 13脱吸塔再沸器2台22.0000 44.0000 14脱吸塔冷凝器2台15.0000 30.0000 15贫液预冷却器2台9.0000 18.0000 16热液体加热器2台9.0000 18.0000 17热液体冷却器2台4.50000 9.0000 18氯化氢汽化器2台10.0000 20.0000 19氯硅烷输送泵4台5.0000 20.0000 20富液输送泵4台5.0000 20.0000 21氯硅烷输送泵4台5.0000 20.0000 22热液体循环泵6台2.5000 15.0000 23氯硅烷储罐2台15.0000 30.0000 24缓冲罐4台2.0000 8.0000 25氯化氢储罐2台14.0000 28.0000 26塔间冷凝器2台15.0000 30.0000 27氯硅烷一级分离罐2台2.50000 5.0000 28膨胀罐2台2.50000 5.0000 小计7