模块化学习-温度系统

1、设备模块培训资料设备模块培训资料温度控制系统温度控制系统培训基本内容1.1.学习了解所有工序温度控制系统的结构学习了解所有工序温度控制系统的结构 2.2.学习熟悉温度系统的控制方式学习熟悉温度系统的控制方式3.3.学习熟悉学习熟悉温度控制温度控制系统的电气原理，元器件原理系统的电气原理，元器件原理目 录制绒及工序温度控制系统制绒及工序温度控制系统扩散工序温度控制系统扩散工序温度控制系统工序温度控制系统工序温度控制系统丝网印刷工序温度控制系统丝网印刷工序温度控制系统一湿制一湿制程工序程工序( (多晶多晶) )温度控制的主要元器件有：温度控制的主要元器件有：PCPC机机PLCPLCPT100PT1

2、00温控仪温控仪加热器加热器5PLC温控仪PCPT100加热器PT100浸泡温度槽液温度显示设定槽体冰水机温度控制原理图温度控制原理图SSR/接触器6由温控仪控制加热,下槽的PT100检测槽液温度反馈给温控仪.PLC通过浸泡槽的PT100取得浸泡温度,与设定值比较,决定是对槽体加热还是降温.同时PLC对加热过程监控,若出现异常,在超过极限温度值后自动报警.PC上可设定温度值和上下偏差值,并显示实际的温度数值.789加热器加热器:ROTKAPPE:ROTKAPPE功率功率1600W1600W电压电压400V400V温控仪温控仪加热碱槽溶液加热碱槽溶液控制温度的起伏控制温度的起伏1011压缩机冷凝

3、器干燥过滤器膨胀阀蒸发器汽液分离器12故障一：冰水机常见故障分析故障一：冰水机常见故障分析 一般的，压缩机不工作时，高压表显示压力为：9kg左右 低压表显示压力为：3.6kg-4kg左右 压缩机正常工作时，高压表显示压力为：10kg左右 低压表显示压力为：2kg左右 当发现压力明显偏低时，冷水机可能发生了氟利昂泄漏，在检查泄漏处后，需要我们补充氟利昂 当发现压力已经基本为零时，说明氟利昂已基本漏光了，在我们排除完泄漏点故障后，由于压缩机中可能已经进入空气，会引起结冰，需要将压缩机及其管路抽真空，然后再补氟利昂（6.5kg）。13第一步：压缩机及其回路抽真空第二步：添加氟利昂1，首先把压缩机的高

4、压端调节螺丝顺时针拧到底后逆时针拧一圈，这样，高压端的两个口都畅通，将剩余氟利昂放出。2，然后拧开压缩机底部添加口的帽，将加压表两根管路分别连接到高压口及加液口。加压表的黄色管路接到真空泵上。（压缩机底部的这个添加口相当于低压端）3，逆时针打开加压表的两个调节阀，使所有气路畅通4，打开真空泵，抽真空1小时左右，直至两个压力表显示 -1kg 压力。1，抽真空完成后将加压表的调节阀关死，以防漏气。同时将压缩机高压口的调节螺丝顺时针锁死，接上接头。2，将原来接在真空泵上的黄色管子接到氟利昂罐上，同时准备好秤，将氟利昂罐子放在秤上。3，打开加压阀的调节阀门，给压缩机充氟利昂。我们的压缩机需要充6.5k

5、g左右的氟利昂。因此我们要注意秤上的读数。如果氟利昂加多了，工作时压缩机有可能结冰。144，加了4-5kg左右时，可能添加的速度明显放缓，这是氟利昂罐内和压缩机内压力差减小的原因。这是我们打开压缩机电源，让压缩机工作起来，这样将利于我们添加。5，添加完成后，拔掉压缩机添加口的管子，不用担心氟利昂会漏出来，因为这个口是单向的。6，拧开锁紧的高压端调节螺丝，让回路畅通。开机测试冷水机工作是否正常。 压缩机不工作时， 高压表显示压力为：9kg左右 低压表显示压力为：3.6kg-4kg左右 压缩机正常工作时，高压表显示压力为：10kg左右 低压表显示压力为：2kg左右15如果是氟利昂部分泄漏，则省去了

6、抽真空的步骤。从第二步开始直接补充氟利昂即可。需要注意的是，这个时候不需要再加6.5kg的氟利昂了，而是视压力降的多少来判定添加的量。添加完成后，开机测试工作是的压力是否正常。如果偏高较多则需要放掉部分氟利昂。使冷水机能正常工作。16故障二：循环泵浦异常运转故障二：循环泵浦异常运转 循环泵无法正常工作，检查发现循环泵压力太小，无法循环，更换新的泵。 原因: 发现里面叶轮与磁囊有卡的现象。叶轮上的轴承处留有润滑脂（新泵都有）和硅片在制绒槽的反应生成物氟硅酸，同时磁囊内也留有氟硅酸，用水清理后现正常.注意事项:1、交接班时，需用纯水进行清洗。具体方法如下： 排掉3号水洗槽的水，然后再次加纯水进去，

7、加到泵浦能正常开启的水位，运行十分钟排掉，再次进纯水。2、不允许在3、5、7槽未加满水位的情况下，打开泵浦或者让泵浦处于待机状态，使泵浦频繁的启动、停止。3、3#槽用水量的下降也是一个原因，氟硅酸不能被冲稀释掉.17故障三故障三温度异常高温报警高温报警低温报警低温报警检查温控仪数据是否异常检查温控仪数据是否异常加热器的绝缘加热器的绝缘更换加热器更换加热器测试加热的好坏测试加热的好坏PT100是否正常是否正常冰水机运行是否正常冰水机运行是否正常PLC控制线路是否异常控制线路是否异常一湿制一湿制程工序程工序( (单晶单晶) )电源PLC温控仪接触器固态继电器继电器加热部分空气开关PT100PT10

8、0触摸屏19 加热的过程中是由温控仪控制固态继电器加热，再通过PT100将实际的温度数据反馈到温控仪。温控仪将做过比较后继续控制固态继电器加热。 在固态继电器后接一个接触器，是为了超温保护。 PLC通过PT100采集到实际的温度后做出正确的判断，如果温度过高将会断开接触器，从而停止加热。加热系统说明加热系统说明2021温控仪温控仪固态继电器固态继电器PT100PLC22加热管加热管检测低液位检测低液位检测正常液位检测正常液位制绒槽制绒槽材料材料:2mm 316L设有进液口、排液口、溢设有进液口、排液口、溢流口和溢流进水流口和溢流进水加热系统加热系统（）有液位控制加热，液位有液位控制加热，液位低

9、加热停止低加热停止23故障现象故障现象温度异常温度异常检查设定检查设定温度有无温度有无异常异常,如果如果有改正设有改正设定温度定温度检查接触器检查接触器是否吸合是否吸合检查接触器输出端检查接触器输出端相间电压和对地电相间电压和对地电压压,如果不正常如果不正常更换接触器更换接触器YES检查接触器检查接触器线圈电压线圈电压有电压有电压,更换接触器更换接触器YES无电压无电压,紧固接紧固接线线,检查检查接线接线NO检查热电偶是检查热电偶是否损坏否损坏更换温度传感器更换温度传感器YESNO信号是否能传送信号是否能传送到到PLC检测检测PLC有无损坏有无损坏YESNO更换信号线更换信号线第一第一 第二第

10、二 第三第三 第四第四NO将加热管拆卸下来将加热管拆卸下来进行更换进行更换第五第五关闭加热关闭加热(停止加热停止加热),取取下对应的熔断下对应的熔断体进行测量将体进行测量将损坏的熔断体损坏的熔断体更换更换高温异常处理低温异常处理首先检查二扩散二扩散工序工序温度控制的主要元器件有：温度控制的主要元器件有：PC机、温控仪、可控硅触发板、可控硅、加热丝、热电偶、变压器等机、温控仪、可控硅触发板、可控硅、加热丝、热电偶、变压器等25测炉体测炉体温度温度将测得炉体的将测得炉体的温度信号传输温度信号传输给温控仪给温控仪他们之间是通过他们之间是通过232-485转接口连转接口连接进行通讯接进行通讯将实际温度

11、和设定温度进行对将实际温度和设定温度进行对比根据温差输出触发电压比根据温差输出触发电压0-5V触发板根据温控仪触发板根据温控仪输出的触发电压值输出的触发电压值给出相应输出信号给出相应输出信号可控硅对加热电流可控硅对加热电流进行调节进行调节380V交流电通过交流电通过熔断体输入变压熔断体输入变压器初级端器初级端按下加热开按下加热开(按纽按纽)接触接触器吸合器吸合,输输入入380V交交流电给熔断流电给熔断体体根据触发信号控制变根据触发信号控制变压器输出的加热电流压器输出的加热电流输出给炉体输出给炉体变压器次级端变压器次级端输出给可控硅输出给可控硅蓝色为低蓝色为低压控制部分压控制部分工作原理分两部分

12、工作原理分两部分: : 1: 1:低压控制部分低压控制部分. . 2: 2:高压主电路部分高压主电路部分. .彩色为高压彩色为高压主电路部分主电路部分超温保护超温保护2627温控仪温控仪工控机工控机可控硅可控硅热电偶热电偶28TokyoWuxiLondonMunichWashingtonSan FranciscoSydney可控硅可控硅热电偶热电偶温控仪温控仪熔断体熔断体交流接触器交流接触器触发板触发板变压器变压器29故障现象一故障现象一某一管某一管,某一温区的某一温区的温度突然下降或者爬升缓慢温度突然下降或者爬升缓慢检查设定检查设定温度有无温度有无异常异常,如果如果有改正设有改正设定温度定温

13、度检查接触器检查接触器是否吸合是否吸合检查接触器输出端检查接触器输出端相间电压和对地电相间电压和对地电压压,分别是分别是380V和和220V,如果不正常如果不正常更换接触器更换接触器YES检查接触器检查接触器线圈电压线圈电压(正常正常220V)有电压有电压,更换接触器更换接触器YES无电压无电压,紧固接紧固接线线,检查检查接线接线NO用钳型表测量用钳型表测量炉体有无加热炉体有无加热电流电流有电流有电流,但是太小但是太小(不在不在75A-100A范围内范围内)调整电阻调整电阻,直至电流正常直至电流正常YESNO无电流无电流,测量温控测量温控仪仪,有无输有无输出电压出电压,(正正常常0-5V)更换

14、触发板更换触发板YESNO紧固温控仪紧固温控仪接线接线,问题仍问题仍存存,更换温控更换温控仪仪第一第一 第二第二 第三第三 第四第四NO按下加热关按下加热关(红色按纽红色按纽),取取下对应的熔断下对应的熔断体进行测量将体进行测量将损坏的熔断体损坏的熔断体更换更换,将炉体接线卸下将炉体接线卸下,测测量炉体内阻量炉体内阻,有断丝有断丝更新换炉体更新换炉体第五第五30故障现象二故障现象二某一管某一管,某一温区的某一温区的温度突然上升很快温度突然上升很快,不受控制不受控制.这类故障发生这类故障发生,通常为可控硅通常为可控硅击穿击穿,更换可控硅后正常更换可控硅后正常在拆卸前在拆卸前,先将加热关掉先将加热

15、关掉(按下按下加热关按纽加热关按纽),先卸下阻容板先卸下阻容板,再再拆下散热片拆下散热片,接着拆下可控硅接着拆下可控硅阻容板阻容板可控硅可控硅散热片散热片在安装可控硅时在安装可控硅时,注意夹板要注意夹板要夹紧夹紧,固定螺丝要拧紧固定螺丝要拧紧.在拆卸和安装时注意安在拆卸和安装时注意安全不要碰到带电电缆全不要碰到带电电缆.和和临管的带电元件临管的带电元件.三三PECVD工序工序1 1、PECVDPECVD工序工序PC机机温控仪温控仪热电偶热电偶超温保护继电器超温保护继电器加热丝加热丝32加热系统按加热丝类型可分成两部分：红外线加热加热系统按加热丝类型可分成两部分：红外线加热,普通电热丝普通电热丝

16、加热其中上料腔是红外线加热，工艺腔是普通电热丝加热加热其中上料腔是红外线加热，工艺腔是普通电热丝加热红外线加热丝红外线加热丝普通电热丝普通电热丝33温控仪温控仪可控硅可控硅加热丝加热丝温控仪是整个加热系统的控制单元，其通过热电偶采集温度，实时控制可控温控仪是整个加热系统的控制单元，其通过热电偶采集温度，实时控制可控硅，对加热丝进行通断式加热硅，对加热丝进行通断式加热超温保超温保护继电护继电器器机机接触器接触器电源电源热电偶热电偶热电偶热电偶34温控仪（正面）温控仪（正面）温控仪（背面）温控仪（背面）超温保护继电器超温保护继电器可控硅（红外）可控硅（红外）可控硅（普通）可控硅（普通）35可控硅部

17、分可控硅部分温控仪部分温控仪部分超温继电器部分超温继电器部分这部分电路在柜中这部分电路在柜中36电热丝加热系统电热丝加热系统电气接线电气接线可控硅部分可控硅部分温控仪部分温控仪部分超温继电器部分超温继电器部分这部分电路在柜中这部分电路在柜中37常见故障的处理常见故障的处理四四丝印丝印工序工序1 1、丝印工序、丝印工序工控机工控机CAN-BUS I/O热电偶热电偶温控仪温控仪39AC380VCAN-BUS I/O热电偶检测控制信号输出SSRPC40热电偶检测热电偶检测加热输出信号加热输出信号加热主电路加热主电路41超温保护超温保护42CAN-BUS I/OSSR温控仪温控仪43故障现象故障现象某

18、一温区的某一温区的温度下降或者升温缓慢温度下降或者升温缓慢检查设定检查设定温度有无温度有无异常异常,如果如果有改正设有改正设定温度定温度检查接触器检查接触器是否吸合是否吸合检查接触器输出端检查接触器输出端相间电压和对地电相间电压和对地电压压,分别是分别是380V和和220V,如果不正常如果不正常更换接触器更换接触器YES检查接触器检查接触器线圈电压线圈电压(正常正常220V)有电压有电压,更换接触器更换接触器YES无电压无电压,紧固接紧固接线线,检查检查接线和接线和加热信号加热信号NO第一第一 第二第二 第三第三第四第四NO将加热关闭将加热关闭,取取下对应的熔断下对应的熔断体进行测量将体进行测

19、量将损坏的熔断体损坏的熔断体更换更换前三步检查均无问题，前三步检查均无问题，则可判定为加热管损则可判定为加热管损坏坏,更新换新加热管更新换新加热管四四丝印丝印工序工序1 1、丝印工序（烧结炉）、丝印工序（烧结炉）工控机、工控机、REG97、CAN-BUS I/OPLC、SSR、热电偶、温控仪、热电偶、温控仪HTO区FF区45热电偶TMM温度信号采集器REG97PCCAN-busI/OSSR加热体Can-busSwitchPLC表示Ethernet表示Can-bus热电偶46 SSR 报警信号报警信号 SSR 控制信号控制信号47去去SSR控制加热丝控制加热丝48HTOHTO区区电热丝加热电热丝加热CAN-BUS I/O温度信号温度信号采集器采集器超温保护超温保护SSR49FFFF区区红外加热红外加热CAN-BUSI/O温度信号温度信号采集器采集器超温保护超温保护SSR50REG97Switch51故故障障现现象象一一设备进入设备进入正常，加正常，加热系统开热系统开始升温始升温报警灯报警灯红色闪烁，红色闪烁，显示器显示器上确认上确认并复位并复位报警信报警信息息复位超复位超温保护温保护继电器继电器超温继电器超温继电器Alarm红灯亮红灯亮蜂鸣器警报蜂鸣器警报52故障现象二故障现象二温度控制器超温报警第一第一第二第二第三第三检查检查REG97是否正常是否正常检查热电偶检查热电偶