有机发光二极管显示用正胶显影液编制说明.docx

1、CEMIA团体标准有机发光二极管显示用正胶显影液（征求意见稿）编制说明1工作简况1.1任务来源在有机发光二极管显示（下称OLED显示）关键生产步骤光刻工艺中，显影工艺为每一道光刻工艺的关键制程。显影工艺是否完美实现，不发生不显、过显或产生Mura,光刻胶残留等情况，是决定OLED显示最终良率的主要因素之一。当前光刻胶显影过程主要采用湿法化学工艺，该工艺中参与反应的关键组分为正胶显影液。在碱性显影液种类中，四甲基氢氧化铉（下称TMAH）显影液因其不含有金属离子，反应后组分易水洗易除去等优点，广泛使用于OLED显示的显影过程中。OLED显示面板产能的不断扩张，导致相关湿化学品，尤其是OLED用正胶

2、显影液的用量增加。然而国内尚未有针对该类显影液产品的相关标准存在，OLED用正胶显影液的质量考评和生产监测主要以具体应用客户的产线标准和生产厂商的生产条件为参考。行业内、企业间形成统一的产品标准迫在眉睫。根据中国电子材料行业协会于20I9年8月5日（中电材协2019第13号）文下达的2019年度CEMIA首批团体标准制修订计划（计划编号：CEMIA2019-1-002）,杭州格林达电子材料股份有限公司（以下简称杭州格林达）作为有机发光二极管显示用正胶显影液团体标准的牵头单位，承担J'本标准的起草和编制任务。参与标准起草的单位还有：无锡三开高纯化工有限公司和沧州信联化工有限公司等。本标准

3、由中国电子材料行业协会提出并归口。1.2目前已完成工作1.2.1调研杭州格林达于2019年1月开始收集国内外有机发光二极管显示用正胶显影液（下称OLED用正胶显影液）相关技术资料并进行对比分析，总结杭州格林达长期以来对电子化学品，尤其是四甲基氢氧化铉的实际技术和产品质量状况，了解国内外相关行业技术情况，为制定标准打卜了良好基础。2019年2月杭州格林达组织本公司相关技术、生产、质量及销售人员召开了本标准的启动会议，标准启动会上相关人员介绍了OLED用正胶显影液的国内外状况、行业发展动向，技术、质量和生产人员介绍了OLED用正胶显影液的产品质量指标及其一般检测方法等。会议最终确定了本标准中编写确

4、定的项目有：产品外观、化学成分、色度、颗粒数、甲醇、阴离子杂质和金属杂质含量等。1.2.3起草标准草案2019年6月，杭州格林达起草了本标准草案，并组织本单位及相关单位技术人员对标准草案进行了讨论。根据市场调研及实际情况分析，会议确定了本标准草案中编写的项目有OLED用正胶显影液的产品外观、化学成分、色度、颗粒数、甲醇、阴离子杂质和金属杂质含量等共计2()余项。1.2.4进行验证试验本标准工作组收集了行业内若干主要OLED用正胶显影液供应商在下游客户端的应用产品，采用本标准中所规定的方法进行该产品所有相关指标的验证。1.2.5标准讨论稿标准工作组于2019年10月完成标准讨论稿，2019年11

5、月中电材协组织相关技术人员对本标准内部讨论稿进行评审，评审确定本标准规定的范困、产品的具体技术要求及其具体检验方法、产品的检验规则，以及参考的国家标准和行业标准等内容。1.3后续工作计划标准工作组计划于2021年12月完成征求意见稿，2022年1月完成送审稿，2022年2月完成报批稿。1.4标准主要起草人及其所做的工作表1标准工作组姓名单位主要工作组长邢攸美杭州格林达电子材料股份有限公司组织协调标准工作、起草制定、联络意见征集组员李潇逸杭州格林达电子材料股份有限公司参与调研、收集、讨论、汇总，标准执笔李盈盈杭州格林达电子材料股份有限公司参与标准调研、讨论和技术支持胡涛杭州格林达电子材料股份有限

6、公司参与标准调研、讨论和技术支持陈海刚杭州格林达电子材料股份有限公司参与标准调研、讨论和技术支持顾峻无锡三开高纯化工有限公司参与标准调研、讨论和技术支持徐文干无锡三开高纯化工有限公司参与标准调研、讨论和技术支持孙炜沧州信联化工有限公司参与标准调研、讨论和技术支持刘新雨沧州信联化工有限公司参与标准调研、讨论和技术支持刘伟鑫中国电子材料行业协会参与标准调研、讨论和技术支持王小眉杭州格林达电子材料股份有限公司参与调研、讨论和实验验证施珂杭州格林达电子材料股份有限公司参与标准调研、讨论和技术支持倪芸岚杭州格林达电子材料股份有限公司参与调研、讨论和实验验证罗永利杭州格林达电子材料股份有限公司参与调研、讨

7、论和实验验证谢良槐杭州格林达电子材料股份有限公司参与调研、讨论和实验验证沈健杭州格林达电子材料股份有限公司参与调研、讨论和实验验证郑薪嘱杭州格林达电子材料股份有限公司参与标准调研、讨论和技术支持姚艺融无锡三开高纯化工有限公司参与标准调研、讨论和技术支持刘为波无锡三开高纯化工有限公司参与标准调研、讨论和技术支持翁雪平无锡三开高纯化工有限公司参与标准调研、讨论和技术支持2标准编制原则和确定标准主要内容2.1编制原则本标准严格遵照GB/T1.1-2020标准化工作导则第I部分：标准化文件的结构和起草规则，GB/T1.2-2020标准化工作导则第2部分：以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草

8、规则的有关规定起草。2.2标准主要内容本标准规定了有机发光二极管显示用正胶显影液的术语和定义、缩略语、分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全。2.2.2术语和定义（3）本文件没有需要界定的术语和定义。2.2.3缩略语（4）下列缩略语适用于本文件。HDPE：高密度聚乙烯；OLED用正胶显影液：有机发光二极管显示用正胶显影液；PFA：四氟乙烯一全氟烷氧基乙烯基酰共聚物，又称过氟烷基化物，可溶性聚四氟乙烯。2.2.4分类（5）按照四甲基氢氧化铉的含量进行分类，可分c-25（四甲基氢氧化铉含量为25.00%的OLED用正胶显影液），c-2.38（四甲基氢氧化铉含量为2.380%

9、的OLED用正胶显影液）。2.2.5外观及其检验（6.1）OLED用正胶显影液的外观将能够从直观角度对产品品质进行初步鉴定，根据客户应用指标及行业内生产厂家的生产实际，本标准规定OLED用正胶显影液的外观为无色透明液体，并采用于50mL具塞比色管中，加入样品，在自然光或日光灯下日测的方法进行外观检测。2.2.6主要化学成分及其检验（6.2）OLED用正胶显影液需要达到高纯试剂的基础要求，根据客户应用指标及行业内生产厂家的生产实际，本标准规定c-25中主要化学成分四甲基氢氧化铉的含量应控制在25.00±0.03%的范围内，c-2.38中主要化学成分四甲基氢氧化铉的含量应控制在2.380

10、±0.003%的范围内。本标准依据按SJ/T11636的规定进行检验OLED用正胶显影液中四甲基氢氧化铉的含量。2.2.7色度及其检验（6.3）根据客户应用指标及行业内生产厂家的生产实际，本标准规定OLED用正胶显影液的色度应不大于5Hazen单位（Pt-Co色号）。本标准依据GB/T3143检验OLED用正胶显影液的色度。2. 2.8颗粒数及其检验（6.4）根据客户应用指标及行业内生产厂家的生产实际，本标准规定OLED用正胶显影液c-25中颗粒直径N0.5pm的颗粒数应不大于30pcs/mL,颗粒直径20.3pm的颗粒数应不大于50pcs/niL；c-2.38中颗粒直径N0.5pm

11、的颗粒数应不大于10pcs/mL,颗粒直径N0.3pm的颗粒数应不大于30pcs/mL,其他颗粒数的管控指标可由供应商和客户协商决定。本标准依据SJ/T11638检验OLED用正胶显影液的颗粒数。2.2.9甲醇含量及其检测（6.5）根据客户应用指标及行业内生产厂家的生产实际，本标准规定OLED用正胶显影液c-25中甲醇含量40pg/g,c-2.38中甲醇含量lOpg/go本标准依据SJ/T11634检验OLED用正胶显影液的甲醇含量。2.2.10阴蔑子杂质含量及其检验（6.6）根据客户应用指标及行业内生产厂家的生产实际，本标准规定OLED用正胶显影液c-25中碳酸根含量W50pg/g,氯离子含

12、!：0.1|jg/g；c-2.38中碳酸根含量W20pg/g.氯离子含量0.1pg/go本标准碳酸根的检测方法依据SJ/T11635的规定进行，氯离子的检测方法根据GB/T34672的规定进行。2.2.11金属杂质含量及其检验（6.7）根据客户应用指标及行业内生产厂家的生产实际，本标准规定OLED用正胶显影液c-25中金属杂质含量应不大于1ng/g;c-2.38中金属杂质含量应不大于0.5ng/ga本标准依据SJ/T11511-2015中5.6的规定检验OLED用正胶显影液的金属杂质含电3主要试验（或验证）的分析、综述报告，技术经济论证、预期的经济效果3. 1主要试验（或验证）的分析、综述报告

13、本标准各项指标是根据市场供需情况总结出来的，并结合了从行业内各相关企业收集获得的技术资料，完全可以满足OLED用正胶显影液的应用要求。主要对OLED用正胶显影液的产品外观、化学成分、色度、颗粒数、甲醇、阴离子杂质和金属杂质含量等指标进行了试验。收集行业内主要OLED用正胶显影液供应商在下游客户端的应用产品，采用本标准中所规定的方法进行该产品所有相关指标的检验结果如下：表2OLED用正胶显影液样品的检验结果(c-25)项目指标#1#2#3#4#5#6#7#8四甲基氢氧化铉，co/(wt%)25.（X）±O.O324.9825.0225.0225.0125.0224.9925.0324.

14、98色度/Hazen单位(Pt-Co色号)<5<5<5<5<5<5<5<5<5颗粒（0.5pm）/（pcs/mL）<3020.411.626.615.928.46.829.317.6颗粒（0.3pm）/（pcs/mL）<5036.143.217.816.527.223.86.534.5甲醇（CH30H）,（0/（雄g）<400.928.9915.9333.3723.4616.6721.1939.76碳酸根（CO?2）,10/（曲/g）<5020.1329.4645.3716.3819.2334.6048.0245.3

15、2氯离子（cr）,co/（pg/g）<0.10.020.070.000.030.000.020.040.06银（Ag）,co/<ng/g）<10.140.590.980.360.860.620.180.68铝（Al）co/（ng/g）<10.470.990.730.840.730.260.540.11钙（Ca）,（o/（ng/g）<10.020.210.910.450.970.830.810.19镉（Cd）,to/（ng/g）<10.250.410.680.150.610.140.390.90钻（Co）9co/（ng/g）<10.190.940.190

16、.270.310.910.060.70铭（Cr）,©/（ng/g）<10.430.210.190.400.650.930.430.21铜（Cu）,co/（ng/g）<10.940.170.870.500.170.550.870.01铁（Fe）,co/（ng/g）<10.050.660.230.670.060.100.460.75钾（K）,co/（ng/g）<10.450.370.500.560.260.360.790.10锂（Li）,（o/（ng/g）<10.010.360.870.370.350.760.480.90镁(Mg),0)/(ng/g)<

17、;10.790.230.010.730.900.200.040.19镒(Mn),(o/(ng/g)<10.450.620.680.550.170.860.560.37铝(Mo),w/(ng/g)<10.650.590.900.220.950.451.000.54钠(Na),a)/(ng/g)<10.880.550.860.220.110.150.700.91镣(Ni),©/(ng/g)<10.840.980.930.080.180.950.010.39铅(Pb),(0/<ng/g)<10.790.510.150.210.480.810.250.90

18、锌(Zn),(o/(ng/g)<10.290.020.130.740.480.350.210.43从表2可知，本标准中的主要指标在行业内产品中处于平均水平，适合于行业内进行推广，并且符合产品在下游产业产线内的应用需求。3.2技术经济论证、预期的经济效果根据IHS最新统计数据，全球显示面板产能逐年提升，显示市场整体呈现稳步增长趋势；预计到2023年全球显示面板产能约达4.5亿平方米，其中OLED显示面板产能约达9千万平方米。近年来，中国大陆地区面板产能突飞猛进，2018年已赶超韩国，预计2023年，中国大陆地区的面板产能占比将达62%。OLED显示产业高度集中在亚洲的中口韩三国，2018年

19、中国大陆OLED占比10%,预计2()23年，中国大陆的OLED而板总产能占比将达46%。OLED的每一个制造环节都离不开相关的电子材料，其市场需求必将随之增加。电子化学品需求年均增长率19%。2019年起，据IHS统计，国产化学品厂家经过几年快速发展，已经成为国内显示面板(包括OLED显示)用电子化学品供应的重要力量，占到国内面板企业化学品采购额的30%以上：其中包括OLED显示所用在内的正胶显影液将在2021年达到9.3万吨左右，占所有湿化学品总量的15.31%。通过本标准的制定，以高标准引领高品质，有利于规范行业合理竞争，良性发展，促进生产企业提升产品质量及服务品质，提升客户满意度，将能够在之后较长一段时间的OLED制造技术发展中降低OLED显示行业中企业的生产风险，提高市场供需关系的相互协调和补偿能力，从而进一步推进下游OLED制造技术的发展，有利于国产化OLED显示行业制造水